Induktív csatolású plazmamaratási rendszer (ICP) Félvezető berendezés, Kína Induktív csatoló plazmamaratási rendszer (ICP) Félvezető berendezések gyártói, beszállítói, gyár

termékleírás

Induktív csatolású plazmamaratási (icp) rendszer

Induktív csatolású plazmamaratási rendszer (ICP) A félvezető berendezés részletei

Induktív csatolású plazmamaratási rendszer (ICP) félvezető berendezések szállítója

Induktív csatolású plazmamaratási rendszer (ICP) Félvezető berendezések gyára

Folyamat eredménye

Kvarc / szilícium / rács maratás

A BR maszk használatával kvarc vagy szilícium anyagok maratására a rácssor mintázata a legvékonyabb vonallal rendelkezik 300 nm-ig, és a minta oldalfalának meredeksége megközelíti a 89°-ot, ami alkalmazható 3D kijelzőre, mikrooptikai eszközökre, optoelektronikai kommunikációra, stb

Összetett / félvezető maratás

A minta felületi hőmérsékletének pontos szabályozásával jól szabályozható a GaN alapú, GaAs, InP és fém anyagok maratási morfológiája. Alkalmas kék LED-es eszközökhöz, lézerekhez, optikai kommunikációhoz és egyéb alkalmazásokhoz.

Induktív csatolású plazmamaratási rendszer (ICP) Félvezető berendezések gyártása

Szilikon alapú anyagmarás

alkalmas szilícium alapú anyagok, például Si, SiO2 és SiNx maratására. 50 nm feletti szilícium vonalmaratást és 100 um alatti mély lyukmaratást tud megvalósítani

Leírás

Projektkonfiguráció és gépszerkezeti diagram

Tétel	MD150S-ICP	MD200S-ICP	MD150CS-ICP	MD200CS-ICP	MD300C-ICP
Termék mérete	≤ 6 hüvelyk	≤ 8 hüvelyk	≤ 6 hüvelyk	≤ 8 hüvelyk	Egyedi≥12 hüvelyk
SRF áramforrás	0~1000W/2000W/3000W/5000WAdjustable,automatic matching\,13.56MHz/27MHz
BRF áramforrás	0~300W/0~500W/0~1000WAdjustable, automatic matching,2MHz/13.56MHz
Molekuláris szivattyú	Nem korrozív: 600 /1300 (L/s)/Egyedi			Korrózióvédelem: 600 /1300 (L./s)/Egyedi		600/1300 (L/s) /Egyedi
Foreline pumpa	Mechanikus szivattyú / száraz szivattyú			Korróziógátló száraz szivattyú		Mechanikus szivattyú / száraz szivattyú
Előszivattyúzás szivattyú	Mechanikus szivattyú / száraz szivattyú			Mechanikus szivattyú / száraz szivattyú
A folyamat nyomása	Szabályozatlan nyomás/0-0.1/1/10Torr szabályozott nyomás
Gáz típus	H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/NH3/C2F6/Custom (Akár 12 csatorna, nem korrozív és mérgező gáz)			H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/CHF3/ C4F8/NF3/NH3/C2F6/Cl2/BCl3/HBr/ Egyéni (akár 12 csatorna)
Gáztűzhely	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/1000sccm/Custom
LoadLock	Igen nem			Igen
Minta tem ellenőrzés	10°C ~ Szoba/ -30°C ~ 150°C /Egyedi			-30°C ~ 200°C/Egyedi
Hátsó hélium hűtés	Igen nem			Igen
A folyamat üreg bélése	Igen nem			Igen
Üreges fal hőmérséklet szabályozása	Nem/Szobahőmérséklet -60/120°C			Szobahőmérséklet ~60/120°C
Ellenőrzési rendszer	Automatikus/egyéni
Rézkarc anyag	Szilícium bázis: Si/SiO2/ SiNx/SiC..... Szerves anyagok: PR/Organic film......			Szilícium-bázis: Si/SiO2/SiNx/SiC III-V: InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI: CdTe...... Mágneses anyag/ötvözet anyag Fém anyagok: Ni/Cr/Al/Cu/Au... Szerves anyagok: PR/Organic film...... Szilikon mélymarás

Csomagolás és szállítás

Company Profile

16 éves tapasztalattal rendelkezünk berendezések értékesítésében. Kínából professzionális megoldást kínálunk Önnek egyablakos félvezető előlapi és hátoldali csomagsoros berendezésekhez.