Projekt
|
Tartalom
|
Termék típusa
|
6", 8", 12" keretű wafer
|
2D vizsgálati elemek
|
Idegen anyag, maradék klé, részecskék, csúszások, törések, befeltétel, CP elterjedés, túlzott terület stb.
Vágócsatorna elterjedés és cserélődés |
Vágási útvonal ellenőrzési elemek
|
6", 8", 12" keret kassétta
|
Lencse és Felbontás
|
2x (2,75 µm) / 3,5x (1,57 µm) /
5x (1,1 µm) / 7,5x (0,73 µm) / 10x (0,55 µm) |
Pontosság
|
0,55 µm/pixel
|
Opcionális és Testreszabott
|
Tinta modul, infravörös modul
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved