Vakuumplazma főegység (150) |
||
Eszköz mérete |
H 1100×Sz 940×M 1755mm |
|
Súly |
600kg |
|
Kért áramforrás |
AC380V, 50/60Hz, 5 vonal, 25A (összes nyitott típus felett C) |
|
Plazmagenerátor specifikáció |
||
Teljesítmény |
rádiógyakoriság |
középfrekvencia |
0~1000W |
0-2000W |
|
forgalmi frekvencia |
13,56 MHz |
40 K Hz |
Vákuumrendszer |
||
vákuum szivattyú |
Leap monopole pump VSV 65 + Bowse Lots Pump BSJ 70 |
|
vakuumcsövvezeték |
Egész élesztővasból készült vonal, valamint magerősségű vakuum guba |
|
Anyagminőség |
alufer |
|
Vastagság |
25mm |
|
szorongás |
Hadsereg-szintű vízszivattyú zár |
|
A komor tér belső méretei |
500*500*600mm (Szélesség* magasság * mélység) |
|
Elektromos pléka hatékony mérete |
372(W) X 451(D)mm |
|
Elérhető térköz |
24mm |
|
Elektromos bevonat elrendezése |
Vízszintes elektromos pléta |
|
tálak |
Szabványos készlet, anyag választani lehetséges (alumínium, acél háló) |
|
munkaterület |
8 réteg |
|
Folyamatgáz |
||
Áramlási tartomány |
0~300SCCM |
|
Feldolgozó gáz gázkörút |
Két út standard, testreszabható. A feldolgozó gázvezeték ferrofllonból készül |
|
Vezérlőrendszer |
||
A sz. |
PC ellenőrzés |
|
interaktív mód |
Windows felület |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved