Vakuum plazma főegység (150) |
||||
Eszköz mérete |
H 1100×Sz 940×M 1755mm |
|||
súly |
600kg |
|||
Kért áramforrás |
AC380V, 50/60Hz, 5 vonal, 25A (összes nyitott típus felett C) |
|||
Plazmagenerátor specifikáció |
||||
teljesítmény |
rádiógyakoriság |
középfrekvencia |
||
0~1000W |
0-2000W |
|||
forgalmi frekvencia |
13,56 MHz |
40 K Hz |
||
Vákuumrendszer |
||||
vákuum szivattyú |
Leap monopole pump VSV 65 + Bowse Lots Pump BSJ 70 |
|||
vakuumcsövvezeték |
Egész élesztővasból készült vonal, valamint magerősségű vakuum guba |
|||
anyagminőség |
alufer |
|||
vastagság |
25mm |
|||
szorongás |
Hadsereg-szintű vízszivattyú zár |
|||
A komor tér belső méretei |
500*500*600mm (Szélesség* magasság * mélység) |
|||
Elektromos pléka hatékony mérete |
372(W) X 451(D)mm |
|||
Elérhető térköz |
24mm |
|||
Elektromos bevonat elrendezése |
Vízszintes elektromos pléta |
|||
tálak |
Szabványos készlet, anyag választani lehetséges (alumínium, acél háló) |
|||
munkaterület |
8 réteg |
|||
Folyamatgáz |
||||
Áramlási tartomány |
0~300SCCM |
|||
Feldolgozó gáz gázkörút |
Két út standard, testreszabható. A feldolgozó gázvezeték ferrofllonból készül |
|||
Vezérlőrendszer |
||||
A sz. |
PC ellenőrzés |
|||
interaktív mód |
Windows felület |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved