Vákuumos plazmagazda(200) |
||
A berendezés mérete |
1050× 1700 × 1050 mm (szélesség, magasság és mélység) |
|
súly |
800Kg |
|
erőt igényel |
AC380V,50/60Hz,5wires, 30A |
|
A plazmagenerátor műszaki adatai |
||
hálózati tápellátás |
rádiófrekvenciás |
IF |
0 ~ 1000W |
0-2000W |
|
Tápfrekvencia |
13.56MHz |
40 KHz |
Vákuumrendszer |
||
Vákuumszivattyú |
Feiyue unipoláris szivattyú VSV100+Both Roots BSJ70 |
|
vákuum vonal |
Minden rozsdamentes acél cső és nagy szilárdságú vákuum harmonika |
|
anyag |
Alumínium ötvözet |
|
vastagság |
25mm |
|
feszülés |
Katonai minőségű hegesztett tömítés |
|
Az üreg belső méretei |
600 × 600 × 600 mm (Sz × Ma × Mé) |
|
Az elektródalemez effektív mérete |
472 x 451 mm (Sz × M) |
|
rendelkezésre álló hely |
35mm |
|
Elektródalemez elrendezés |
Vízszintes elektródalap |
|
munkatálca |
Az egyik készlet szabványos, az anyag pedig opcionális (alumínium, acélháló) |
|
Munkaterület |
8 padlók |
|
Folyamatgáz |
||
Átfolyási tartomány |
0-300SCCM |
|
Folyamat gázkör |
O2, Ar, N2 háromutas gázzal szerelve |
|
Ellenőrzési rendszer |
||
rendszervezérlés |
PC vezérlés |
|
interaktív mód |
Windows interfész |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Minden jog fenntartva