Vákuumos plazmagazda (200) | ||||
A berendezés mérete | 1050 × 1700 × 1050 mm (szélesség, magasság és mélység) | |||
súly | 800Kg | |||
erőt igényel | AC380V,50/60Hz,5wires, 30A | |||
A plazmagenerátor műszaki adatai | ||||
hálózati tápellátás | rádiófrekvenciás | IF | ||
0 ~ 1000W | 0-2000W | |||
Tápfrekvencia | 13.56MHz | 40 KHz | ||
Vákuumrendszer | ||||
Vákuumszivattyú | Feiyue unipoláris szivattyú VSV100+Both Roots BSJ70 | |||
vákuum vonal | Minden rozsdamentes acél cső és nagy szilárdságú vákuum harmonika | |||
anyag | Alumínium ötvözet | |||
vastagság | 25mm | |||
feszülés | Katonai minőségű hegesztett tömítés | |||
Az üreg belső méretei | 600 × 600 × 600 mm (Sz × Ma × Mé) | |||
Az elektródalemez effektív mérete | 472 x 451 mm (Sz × M) | |||
rendelkezésre álló hely | 35mm | |||
Elektródalemez elrendezés | Vízszintes elektródalap | |||
munkatálca | Az egyik készlet szabványos, az anyag pedig opcionális (alumínium, acélháló) | |||
Munkaterület | 8 padlók | |||
Folyamatgáz | ||||
Átfolyási tartomány | 0-300SCCM | |||
Folyamat gázkör | O2, Ar, N2 háromutas gázzal szerelve | |||
Ellenőrzési rendszer | ||||
rendszervezérlés | PC vezérlés | |||
interaktív mód | Windows interfész |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Minden jog fenntartva