Vakuumplazma főegység (60) |
||||
Eszköz mérete |
H 950×Sz 900×M 1650mm |
|||
súly |
350kg |
|||
Kért áramforrás |
AC380V, 50/60Hz, 5 vezeték, 16A (C felett teljes nyitott típus) |
|||
Plazmagenerátor specifikáció |
||||
teljesítmény |
rádiógyakoriság |
középfrekvencia |
||
0~600W |
0-1000W |
|||
forgalmi frekvencia |
13,56 MHz |
40 K Hz |
||
Vákuumrendszer |
||||
vákuum szivattyú |
Kétosztályú forgópumpa (olajpumpa): 40m3/h |
|||
vakuumcsövvezeték |
Egész élesztővasból készült vonal, valamint magerősségű vakuum guba |
|||
anyagminőség |
Alumínium-liga (testreszabható élesztővasos komor tér) |
|||
vastagság |
25mm |
|||
szorongás |
Hadsereg-szintű vízszivattyú zár |
|||
A komor tér belső méretei |
375*375*430mm(Szélesség* magasság * mélység) |
|||
Elektromos pléka hatékony mérete |
247*281 mm (szélesség* mélység) |
|||
Elérhető térköz |
22 mm |
|||
Elektromos bevonat elrendezése |
Vízszintes elrendezés, lehet aktív kivonás |
|||
tálak |
Szabványos készlet, anyag választani lehetséges (alumínium, acél háló) |
|||
munkaterület |
6 réteg |
|||
folyamatgáz |
||||
Áramlási tartomány |
0~300SCCM |
|||
Feldolgozó gáz gázkörút |
Két út standard, testreszabható. A feldolgozó gázvezeték ferrofllonból készül |
|||
navar |
||||
A sz. |
PLC |
|||
interaktív mód |
7-inch érintőképernyő |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved