MDICP-5000F teljesen automatikus ICP maratógép / félvezető berendezés Induktív csatolású plazma , Kína MDICP-5000F teljesen automatikus ICP maratógép / félvezető berendezések Induktív csatolású plazmagyártók, beszállítók, gyár

termékleírás

MDICP-5000F Teljesen automatikus ICP maratógép

Vezetői összefoglaló

A berendezés kétkamrás vákuumrendszer. Az egyik kamra az injekciós mintavevő kamra, a másik pedig a marató kamra. Az injekciós mintavevő kamra és a marató kamra közé vákuumzár van beépítve, és az injekciós mintavételt manipulátor szállítja.
A berendezés főként vákuumrendszerből, gázáramköri rendszerből, elektromos rendszerből, vezérlőrendszerből, hűtőrendszerből, filmadagoló és -vevő mechanizmusból, riasztórendszerből stb.

Vákuumrendszer

A rendszer egy molekuláris szivattyúból áll, amelynek szivattyúzási sebessége 600 L / S + egy importált vákuum-száraz szivattyúból, amelynek szivattyúzási sebessége L / s a maratókamra nagyvákuumba szivattyúzásához. A molekulaszivattyú és a maratókamra közé elektromos dinamikus nyomásszabályozó szelep van felszerelve. Az importált szárazszivattyú a maratókamra előszivattyúzó szivattyúja és a molekuláris szivattyú első fokozatú szivattyúja. Használjon másik mechanikus szivattyút L/s szivattyúzási sebességgel a mintakamra vákuumozására. A mechanikus szivattyú és a vákuumkamra, valamint a molekuláris szivattyú összekapcsolására rozsdamentes acél csőmembránt használnak, valamint elektromágneses pneumatikus blokkszelepet szerelnek fel.

Állandó nyomásszabályozó rendszer

A berendezés alsó áramlási állandó nyomásszabályozó rendszerrel van felszerelve, a légelszívó csővezetékbe elektromosan állítható szelep került beépítésre. A fóliamérő (importált részek) mérésén keresztül az állítható szelepet úgy vezérlik, hogy a vákuumkamra állandó nyomást érjen el, így javítva a folyamat stabilitását.

Állandó nyomásszabályozó rendszer

Gázköri rendszer

Két RF tápegység automatikus illesztéssel.

Riasztó

A berendezések biztonsági követelményei.

Leírás

Név	Spc	Márka	No./Set	Megjegyzések
Maratókamra, levegőelszívó csővezeték, megfigyelőablak, fenntartott interfész stb	Standard	JSWN	1	Rozsdamentes
Keret, elektromos szekrény, tömítések, szabványos alkatrészek stb	Standard	JSWN	1
A maratókamra fedelét emelő rendszer	Standard	JSWN	1	Rozsdamentes
Maratóelektróda és hűtőrendszer	Standard	JSWN	1	Rozsdamentes
Molekuláris szivattyú (szivattyúzási sebesség 600 L / s)	Final Fantasy 620/150	KYKY	1	Rozsdamentes
Száraz bemeneti szivattyú (szivattyúzási sebesség 9 l/s)	XDS-35I	EDWARDS	1	Rozsdamentes
Mechanikus szivattyú (szivattyúzási sebesség 9 l/s)	TRP-36	BWVAC	1
Elektromos szabályozó tolózár	DCQ-150	JSWN	1	Rozsdamentes
Pneumatikus harmonika elzáró szelep	KF40	JSWN	3	Rozsdamentes
Filmmérő	KF16	INFIKON	1	Rozsdamentes
Tömegáram-szabályozó	D07	Sevenstar	4	Rozsdamentes
Pneumatikus membránszelep	1/4″ videomagnó	-	4	Rozsdamentes
Rozsdamentes acél cső, csőkötés stb	1/4″ videomagnó	-	4	Rozsdamentes
RF tápegység / automatikus illesztő	-	Kína (opcionális CROWN1310)	1
RF tápegység / automatikus illesztő	-	Kína (opcionális CROWN1310)	1
Kompozit vákuummérő	ZDF	RB	1
IPC	2U	Kína	1
LCD érintőképernyő	17inch	Kína	1
PLC vezérlőrendszer	S7-200	Siemens	1
Elektromos hajtásvezérlő rendszer	Standard	JSWN	1
Hűtővíz érzékelő és csővezeték rendszer	Standard	JSWN	1
Sűrített levegő érzékelő és csővezeték rendszer	Standard	JSWN	1
Hűtő keringető víz gép	HX	Kína	1
Maratási injekciós kamra	Standard	JSWN	1
Vákuumos zár	SMC	SMC	1
Manipulátor vezérlőrendszer	SMC	SMC	1

Levelezési műszaki paraméter

1. Vákuum határértéke: Maratókamra 9.0×10-5Pa (beltéri páratartalom≤55%)
Injekciós mintavevő kamra 6.0×10-1Pa
2. Maratási anyag: Ⅲ、Ⅴ Anyag, Si, SiO2 stb.
3. Maratási sebesség: ~ 1μ/perc
4. Maratási egyenletesség: ≤±5％ (φ125 mm-es tartomány)
6. Elektróda mérete: φ200mm

Csomagolás és szállítás

Az áru biztonságának jobb biztosítása érdekében professzionális, környezetbarát, kényelmes és hatékony csomagolási szolgáltatásokat nyújtunk.

Company Profile

16 éves tapasztalattal rendelkezünk berendezések értékesítésében. Kínából professzionális megoldást kínálunk Önnek egyablakos félvezető előlapi és hátoldali csomagsoros berendezésekhez.