MDPS-560 Pyriform kétkamrás porlasztórendszer / Félvezető ipari berendezések , Kína MDPS-560 Pyriform kétkamrás porlasztórendszer / Félvezető ipari berendezések Gyártók, beszállítók, gyár

termékleírás

MDPS-560 Pyriform kétkamrás porlasztórendszer

Egy-/többrétegű funkcionális nanofilmek készítésére használják, beleértve a különféle kemény, fémes, félvezető és dielektromos filmeket egyetemek és tudományos intézmények számára.

Porlasztó vákuumkamra, magnetronos porlasztó célpont, vízhűtő szubsztrát fűtő forgótányér, minta befecskendező kamra, mintakamra, lágyító, visszaöblítő cél, mágneses mintaküldő mechanizmus, gázkör, szivattyúrendszer, vákuummérő rendszer, elektromos vezérlőrendszer és rögzítőaljzat.

Leírás

típus			MDPS-560 II
Fő porlasztókamra			Pyriform vákuumkamra, mérete:Φ560×350mm
Minta befecskendező kamra			hengeres és vízszintes típus, mérete: Φ250mm×420mm
Szivattyúrendszer			független összetett molekuláris szivattyú és mechanikus szivattyúkészlet a fő porlasztókamrához és a mintainjektáló kamrához.
Végső vákuum	Fő porlasztókamra	≤6.67 × 10-6 Pa (sütés és gáztalanítás után)
Végső vákuum		Minta befecskendező kamra	≤6.67 × 10-4 Pa (sütés és gáztalanítás után)
Vákuumidő visszanyerése	Fő porlasztókamra	6.6×10-4Pa 40 perc után (szivattyúzás rövid ideig levegőnek kitéve és száraz nitrogénnel feltöltve)
Vákuumidő visszanyerése		Minta befecskendező kamra	6.6×10-3Pa 40 perc után (szivattyúzás rövid ideig levegőnek kitéve és száraz nitrogénnel feltöltve)
Magnetron célmodul			5 állandó mágneses célpont; mérete Φ60 mm (az egyik célpont ferromágneses anyagot tud porlasztással). Az összes célpont RF porlasztást és egyenáramú porlasztással kompatibilis; és a céltárgy és a minta közötti távolság 40 mm és 80 mm között állítható.
Vízhűtéses szubsztrát fűtési fordulatszám táblázat	Aljzatszerkezet	Hat állomás, egy állomáson beépített fűtőkemencés, a többi vízhűtő szubsztrát állomás.
		Méret	Φ30mm, hat kép.
		Mozgásmód	0-360°, viszonzás.
		Fűtés	Max. Hőmérséklet 600℃±1℃
		Szubsztrát negatív torzítás	-200V
Gázköri rendszer			2-utas tömegáram-szabályozó (MFC)
Minta befecskendező kamra	Mintakamra	Hat egyszerű egyszer
		Annealer	Max. fűtési hőmérséklet 800℃±1℃
		Resputtering Target Modul	Híres takarítás
Mágnesminta küldő rendszer			A porlasztókamra és a mintainjektáló kamra közötti mintaszállításra szolgál.
Számítógépes vezérlőrendszer			Mintaforgatás, terelőlemez nyitása és zárása, valamint célpozíció vezérlése
Emelet foglalt	Fő készlet	2600 × 900mm2
Emelet foglalt		Elektromos szekrény	700×700mm2 (két készlet)

Csomagolás és szállítás

MDPS-560 Pyriform kétkamrás porlasztórendszer / Félvezető ipari berendezések gyára

Company Profile

16 éves tapasztalattal rendelkezünk berendezések értékesítésében. Kínából professzionális megoldást kínálunk Önnek egyablakos félvezető előlapi és hátoldali csomagsoros berendezésekhez.