Ez a berendezés egy pontossági lítográfiabeli gép, amelyet cégünk fejlesztett ki különböző egyetemek és kutatóintézetek lítográfiabeli gépek használati jellemzőire gondolva. Főként használják kis és közepes méretű integrált áramkörök, halványvezetékes komponensek, fényelektronikai eszközök és felületi hanghullámú eszközök fejlesztésére és gyártására. Az eszköz eredeti fő technikai mutatóinak megőrzésének feltételéül, optimalizáltuk az eszköz néhány szerkezetét és komponensét, csökkentük bizonyos nem szükséges mechanikus műveleteket, és biztosítjuk, hogy az eszköz hibapontjai minél inkább minimalizálva legyenek, valamint az eszköz működése is nagyon stabil és megbízható.
Specifikáció
Fő műszaki paraméterek
1. Kitetés típusa: egyoldalú. 2. Kitetési terület: 110×110 mm. 3. Kitetési fényerő egyenlítetlensége: ≤±3%. 4. Kitetési intenzitás: 0-30mw/cm2 igérhető. 5. UV sugárzás szöge: ≤3°. 6. UV sugárzás középponti hullámhossza: 365nm. 7. UV fényforrás élettartama: ≥500 óra. 8. Elektronikus szennyrékpótoló használata. 9. Kitetési felbontás: 1 μm; 10.Mikroszkópikus skennelési tartomány: X: ±15mm Y: ±15mm; 11.Igazítási tartomány: X,Y igazítás ±4mm; Q-irány igazítása ±3°; 12.Gravírozási pontosság: 1 μ A felhasználó "verzió" és "cipp" pontossága meg kell hogy feleljen a nemzeti szabályozásoknak, és a környezet, hőmérséklet, páratartalom, és por szigorúan ellenőrizhető. Importált pozitív fotoreziszt használatos, és a reziszt egyenletes vastagsága szigorúan ellenőrizhető, emellett a front és háttér folyamatok haladottak; 13.Távolság elválasztása; 0~50 μm között állítható; 14.Kitérés módszere: közel kitérés, amely képes hard contact, soft contact és micro force contact kitérésre; 15.Négyzet keresési módszer: levegő
Csomagolás & Szállítás
Vállalati profil
Tizenhat éves tapasztalatunk van az eszközök értékesítésében. Önnek Kínából egyállományos, professionális megoldást tudunk nyújtani a haladó és hátsó szemiconductortöltési sorozatokhoz.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
