MDXN-25D4 nagy pontosságú maszkbeigazító, Kína MDXN-25D4 nagy pontosságú maszkbeállító gyártók, beszállítók, gyár

termékleírás

Ezt a berendezést elsősorban kis és közepes méretű integrált áramkörök, félvezető alkatrészek és felületi akusztikus hullámeszközök fejlesztésére és gyártására használják. A fejlett szintezőmechanizmusnak és az alacsony szintezőerőnek köszönhetően ez a gép nemcsak különféle típusú aljzatok megvilágítására alkalmas, hanem könnyen töredező aljzatok, például kálium-arzenid és foszfátacél, valamint nem kör alakú és kisméretű aljzatok.

MDXN-25D4 nagy pontosságú maszkbeigazító gyártás

Leírás

Főbb műszaki paraméterek

1. Expozíció típusa: egyoldali expozíció
2. Expozíciós terület: 110X110mm;
3. Az expozíció egyenletessége: ≥ 97%;
4. Expozíciós intenzitás: 0-30mw/cm2 állítható;
5. UV sugárzási szög: ≤ 3 °
6. Ultraibolya fény központi hullámhossza: 365 nm;
7. UV fényforrás élettartama: ≥ 20000 óra; (2 év garancia)
8. Elektronikus redőny alkalmazása;
9. Expozíciós felbontás: 1 μM
10.Camara látótávolsága: ± 15mm Y: ± 15mm
11. Igazítási tartomány: x: ± 4mm Y: ± 4mm Q：±3°.
12. Igazítási pontosság: 1 um (jó környezeti feltételek mellett)
13. Elválasztási távolság tartomány: 0-50um állítható.
14. Expozíciós módszer: érintkezési expozíció. (kemény/lágy/mikro érintés)
15. Kiegyensúlyozási módszer: Levegős flotáció.
16. Mikroszkópos rendszer: kettős látómezős CCD rendszer, objektívlencse 1.6X~10X, számítógépes képfeldolgozó rendszer, 19"-os LCD monitor; Teljes nagyítás 91-570x. Az objektív távolsága: 50-120 mm.
17. Maszk mérete: 127*127mm;102*102mm
18. Alapfelület mérete: Φ102mm；Φ76mm
19. Aljzat vastagsága: ≤1mm
20. Expozíciós idő: 0-999.9 másodperc állítható.
21.Tápellátás: 220V 50Hz 1.5kw.
22.levegőforrás?0.4Mpa
23.Vákuumfok: -0.07MPa~-0.09Mpa

Csomagolás és szállítás

MDXN-25D4 nagy pontosságú maszkbeigazító részletei

MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner gyár

Company Profile

16 éves tapasztalattal rendelkezünk berendezések értékesítésében. Kínából professzionális megoldást kínálunk Önnek egyablakos félvezető előlapi és hátsó csomagsoros berendezésekhez.