MDXN-25X Magas Pontosságú Egyoldalas Litográfiai Gép , China MDXN-25X Magas Pontosságú Egyoldalas Litográfiai Gép Manufacturers, Suppliers, Factory

Termékleírás

Ez a berendezés egy pontossági litográfiai gép, amelyet cégünk fejlesztett ki különböző főiskolák és kutatóintézetek litográfiai gépek használati jellemzőire gondolva. Főként használják kis és közepes méretű integrált áramkörök, haloványvezetékes komponensek, optoelektronikai eszközök és felületi hanghullám-eszközök fejlesztésére és gyártására.

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine factory

Specifikáció

Fő műszaki paraméterek

1. Az eszköz képes 5"x5" négyzetes maszkot húzni vakuummal, nincs különösen megadott vastagsági követelmény a lapra (1-3 mm között).
2. Az eszközt ф 100mm sugarú kör alapanyagra lehet alkalmazni;
3. Lapvastagság ≤ 5mm;
4. Világítás:
Világforrás: GCQ350Z ultra-magasan nyomású mercur direktdarabos mercurlámpa használatos.
Világítási terület: ≤ ф 117mm Fényterület: ф 100mm
ф 100mm sugarú tartományon belül a fényeloszlás egyenlőtlensége ≤ ± 3%, és a fényerő ≥ 6mW/cm² (ez az index UV fényforrás I-sor 365nm mérésével történik).
5. Az eszköz importált időtartam-relével rendelkezik a pneumatikus rögzítés szabályozásához, amely biztosítja a pontos és megbízható működést.
6. Ez a gép egy kapcsolati kitettség-gép, amely elérheti:
7. Szigorú kapcsolati kitettség: Csináljon folyosóvakuumot magas vakuumkapcsolat érdekében, vakuum ≤ -0,05MPa
8. Lágy kontakt expozíció: A kontakt nyomás emelheti a vakuumot -0,02MPa és -0,05MPa között.
9. Mikro kontakt expozíció: kevesebb, mint a lágy kontakt, vakuum ≥ -0,02MPa.
10. Expozíciós felbontás: Ezen eszköz lágy kapcsolati expozíciója elérheti 1 μm feletti felbontást (a felhasználó 'lemeze' és 'cipseje' pontosan meg kell feleljen a nemzeti szabványoknak, az üzemeltetési környezet, a hőmérséklet, a páratartalom és a por szigorúan ellenőrizhető. Importált pozitív fotoreziszt használatos, és a fotoreziszt egyenletes vastagsága szigorúan ellenőrizhető. Emellett a korábbi és későbbi folyamatok is haladóak).
11. Igazítás: Az megfigyelő rendszer két CCD-kamerából áll, amelyek két egyedüli csöves mikroszkópba építve vannak, és videóvezetéken keresztül csatlakoztatva vannak a monitorhoz.

Csomagolás & Szállítás

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine supplier

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine details

Vállalati profil

Tizenhat éves tapasztalatunk van az eszközök értékesítésében. Önnek Kínából egyállományos, professionális megoldást tudunk nyújtani a haladó és hátsó szemiconductortöltési sorozatokhoz.