Ezt a berendezést elsősorban kis és közepes méretű integrált áramkörök, félvezető alkatrészek és felületi akusztikus hullámeszközök fejlesztésére és gyártására használják. A fejlett szintezőmechanizmusnak és az alacsony szintezőerőnek köszönhetően ez a gép nemcsak különféle típusú aljzatok megvilágítására alkalmas, hanem könnyen töredező aljzatok, például kálium-arzenid és foszfátacél, valamint nem kör alakú és kisméretű aljzatok.
Leírás
Főbb műszaki paraméterek
1. Expozíció típusa: érintkező típus, lemezigazítás, kétoldalas egy expozíció 2. Expozíciós terület: 110X110mm; 3. Az expozíció egyenletessége: ≥ 97%; 4. Expozíciós intenzitás: 0-30mw/cm2 állítható; 5. UV sugárzási szög: ≤ 3 ° 6. Ultraibolya fény központi hullámhossza: 365 nm; 7. UV fényforrás élettartama: ≥ 20000 óra;; 8. Munkafelület hőmérséklete: ≤ 30 ℃ 9. Elektronikus redőny alkalmazása; 10. Expozíciós felbontás: 1 μM (az expozíciós mélység körülbelül 10-szerese a vonalszélességnek) 11. Expozíciós mód: Kétoldalas egyidejű expozíció 12. Igazítási tartomány: x: ± 5mm Y: ± 5mm 13. Lemezbeállítási pontosság: 2 μm 14. Forgatási tartomány: Q-irányú forgásbeállítás ≤ ± 5 ° 15. Mikroszkópos rendszer: kettős látómezős CCD rendszer, objektív 1.6X~10X, számítógépes képfeldolgozó rendszer, 19"-os LCD monitor; Teljes nagyítás 91-570x 16. Maszk mérete: 5"-es négyzet alakú maszkok vákuum elnyelésére alkalmas, a maszk vastagságára vonatkozó különleges követelmények nélkül (1 és 3 mm között). 17. Aljzat mérete: 4"-os aljzatokhoz alkalmas, 0.1 és 2 mm közötti vastagságú aljzathoz. 18. Rendeléskor nincs különleges követelmény, és az 5 "X5-ös polc az alapfelszereltség, az 5" X5-ös polcokat személyre szabhatja:
Csomagolás és szállítás
Company Profile
16 éves tapasztalattal rendelkezünk berendezések értékesítésében. Kínából professzionális megoldást kínálunk Önnek egyablakos félvezető előlapi és hátsó csomagsoros berendezésekhez.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NEM
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
