1. Feltérítési típus: kapcsolati típus, lapos igazítás, kétoldalas egyoldalas feltérítés
2. Vizsgálati terület: 110X110mm;
3. Vizsgálati egyenleteség: ≥ 97%;
4. Vizsgálati intenzitás: 0-30mw/cm2 állítható;
5. UV sugárzás szöge: ≤ 3 °
6. UV sugárzás közép hullámhossza: 365nm;
7. UV fényforrás élettartama: ≥ 20000 óra;
8. Munkafelületi hőmérséklet: ≤ 30 ℃
9. Elektronikus szempuff használata;
10. Vizsgálati felbontás: 1 μ M (a vizsgálati mélység kb. 10-szerese a vonal szélességének).
11. Vizsgálati mód: Kétoldali egyszerre történő vizsgálat.
12. Igazítási tartomány: x: ± 5mm Y: ± 5mm
13. Lap igazítási pontosság: 2 μ m
14. Forgástartomány: Q-irányú forgatás beállítása ≤ ± 5 °
15. Mikroszkóp rendszer: két mezős látóterű CCD rendszer, objektív lencse 1.6X~10X, számítógépes képfeldolgozó rendszer, 19 "LCD kijelző; Összesített nagyítás 91-570x
16. Mask méret: Képes vakuummal 5 "négyszögletes maszkokat felvenni, nincs külön követelmény a maszk vastagságára (1-től 3mm-ig terjedő).
17. Alapanyag méret: alkalmas 4 "alapanyagokra, az alapanyag vastagsága 0.1-től 2mm-ig változhat.
18. Rendeléskor nincsenek külön követelmények, és egy 5" X5 polc standard; lehetővé teszi az 5" X5-nél kisebb polcok testreszabását: