PECVD Plazmával javított kémiai gőzleválasztó berendezés / Magas hőmérsékletű PECVD eljárás , Kína PECVD Plazmával javított kémiai gőzleválasztási berendezés / Magas hőmérsékletű PECVD eljárás Gyártók, beszállítók, gyár

termékleírás

PECVD Plazmával javított vegyi gőzleválasztó berendezés

◆ A folyamatidő, a hőmérséklet, a gázáramlás, a szelep működése és a reakciókamra nyomása teljesen automatikus szabályozása
ipari számítógép.
◆ Importált nyomásszabályozó rendszert és zárt hurkú rendszert fogadnak el, nagy stabilitással.
◆ A gázkör légtömörségének biztosítására importált korrózióálló rozsdamentes acél csőszerelvényeket és szelepeket használnak.
◆ Tökéletes riasztó funkcióval és biztonsági reteszeléssel rendelkezik.
◆ Rendelkezik ultramagas hőmérséklet riasztással és alacsony hőmérséklet riasztással, MFC riasztással, reakciókamra nyomás riasztással, RF riasztással, alacsony sűrített levegő nyomás riasztással, alacsony N2 nyomás riasztással és alacsony hűtővíz áramlási riasztással.
◆ A meglévő PECVD-nek az a funkciója, hogy a frissítés után SiO2 filmet növeszt, ami megoldja az akkumulátor modul PID problémáját. A SiNxOy fólia növeszthető (vissza passzivációs folyamat), ami nagymértékben javíthatja az akkumulátor átalakítási hatékonyságát.

PECVD Plazmával javított kémiai gőzleválasztó berendezés / Magas hőmérsékletű PECVD folyamat szállítója

PECVD Plazmával javított kémiai gőzleválasztó berendezés / Magas hőmérsékletű PECVD folyamat részletei

PECVD Plazmával javított kémiai gőzleválasztó berendezés / Magas hőmérsékletű PECVD-eljárási gyár

típus

◆ Rakodási mennyiség: 384 db/csónak (125 * 125); 336 darab/csónak (156 * 156)
◆ A tisztítási táblázat tisztasága: 100-as fokozat (10000-es osztályú növény)
◆ Automatizálási fokozat: a hőmérséklet és a folyamat automatikus szabályozása.
◆ Forgácsküldési és -vételi mód: lágy landolás típusú, stabil és megbízható jellemzőkkel, nem kúszik, pontos pozicionálás, nagy teherbírás és hosszú élettartam.

Leírás

Maximális terhelés csövönként	384 db/csónak (125125) 336 db/csónak (156156)
Folyamat index	± 3% tablettában, ± 3% a tabletták között, ± 3% a tételek között
üzemhőmérséklet	200 500 ℃ ~
A hőmérsékleti zóna pontossága és hossza (statikus zárt csöves teszt)	1200mm±1℃
A gázáramlás pontossága	± 1% FS
A légköri rendszer légtömörsége	1×10-7Pa.m³/S
ellenőrzés	Teljesen importált automatikus, zárt hurkú nyomásszabályozó rendszer, a reakcióvákuum pontos szabályozása; 40KHz nagyfrekvenciás teljesítmény kínálat; Kézműves hajó lágy landolás; Teljes digitális vezérlés, tökéletes és biztonságos folyamatvezérlés védelem.
1 cső, 2 cső, 3 cső és 4 cső nem kötelező; Az automatikus rakodási manipulátor opcionális, és a berendezés teljesítménye és a folyamat teljesítménye összevethető a világ legjobb hasonló berendezéseivel.

Csomagolás és szállítás

PECVD Plazmával javított kémiai gőzleválasztó berendezés / Magas hőmérsékletű PECVD eljárás gyártása

Az áru biztonságának jobb biztosítása érdekében professzionális, környezetbarát, kényelmes és hatékony csomagolási szolgáltatásokat nyújtunk.

Company Profile

16 éves tapasztalattal rendelkezünk berendezések értékesítésében. Kínából professzionális megoldást kínálunk Önnek egyablakos félvezető előlapi és hátoldali csomagsoros berendezésekhez.