Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.

Főoldal
Rólunk
MH berendezések
Megoldás
Tengerentúli felhasználók
Videó
Kapcsolat
Főoldal> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • Reaktív ion maratási rendszer RIE gép RIE Hibaelemzés
  • Reaktív ion maratási rendszer RIE gép RIE Hibaelemzés
  • Reaktív ion maratási rendszer RIE gép RIE Hibaelemzés
  • Reaktív ion maratási rendszer RIE gép RIE Hibaelemzés
  • Reaktív ion maratási rendszer RIE gép RIE Hibaelemzés
  • Reaktív ion maratási rendszer RIE gép RIE Hibaelemzés
  • Reaktív ion maratási rendszer RIE gép RIE Hibaelemzés
  • Reaktív ion maratási rendszer RIE gép RIE Hibaelemzés
  • Reaktív ion maratási rendszer RIE gép RIE Hibaelemzés
  • Reaktív ion maratási rendszer RIE gép RIE Hibaelemzés
  • Reaktív ion maratási rendszer RIE gép RIE Hibaelemzés
  • Reaktív ion maratási rendszer RIE gép RIE Hibaelemzés

Reaktív ion maratási rendszer RIE gép RIE Hibaelemzés Magyarország

termékleírás 
Reaktív ion marató rendszer
Reaktív ion maratási rendszer RIE gép RIE Hibaelemző szállító
Alkalmazás
Passziváló réteg: SiO2, SiNx
Hátszilícium
Ragasztóréteg: TaN
Átmenő lyuk: W
Funkció
1. passziváló réteg maratása furatokkal vagy anélkül;  
2. Ragasztóréteg maratása;  
3. Hátsó szilikon maratással
Leírás
Projektkonfiguráció és gépszerkezeti diagram
Tétel
MD150-RIE
MD200-RIE
MD200C-RIE


Termék mérete
≤ 6 hüvelyk
≤ 8 hüvelyk
≤ 8 hüvelyk


RF áramforrás
0-300W/500W/1000W Állítható, automatikus illesztés


Molekuláris szivattyú
-/620(L/s)/1300(L/s)/Egyedi

Antiszeptikus 620(L/s)/1300(L/s)/Egyedi

Foreline pumpa
Mechanikus szivattyú/száraz szivattyú

Száraz szivattyú

A folyamat nyomása
Szabályozatlan nyomás/0-1Torr szabályozott nyomás


Gáz típus
H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/
CHF3/C4F8/NF3/Egyedi
(Akár 9 csatorna, nem korrozív és mérgező gáz) 

H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) 

Gáztűzhely
0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom


LoadLock
Igen nem

Igen

Minta tem ellenőrzés
10°C~ Szobahőmérséklet/-30°C~100°C/Egyedi

-30°C ~ 100°C /Egyedi

Hátsó hélium hűtés
Igen nem

Igen

A folyamat üreg bélése
Igen nem

Igen

Üreges fal hőmérséklet szabályozása
Nem/Szobahőmérséklet ~60/120°C

Szobahőmérséklet -60/120°C

Ellenőrzési rendszer
Automatikus/egyéni


Rézkarc anyag
Szilícium alapú: Si/SiO2/SiNx. 
IV-IV: SiC
Mágneses anyagok/ötvözet anyagok
Fémes anyag: Ni/Cr/Al/Au. 
Szerves anyag: PR/PMMA/HDMS/Organic film. 

Szilícium alapú: Si/SiO2/SiNx. 
III-V(注3): InP/GaAs/GaN. 
IV-IV: SiC
II-VI (注3): CdTe. 
Mágneses anyagok/ötvözet anyagok
Fém anyag: Ni/Cr/A1/Au. 
Szerves anyag: PR/PMMA/HDMS/szerves film. 

1. Akadályozza meg, hogy a chipek elrepüljenek
2. Minimális feldolgozható csomópont: 14 nm:
3. SiO2/SiNx maratási sebesség: 50-150 nm/perc;
4. Maratott felületi érdesség:5. Támogassa a passzivációs réteget, a tapadóréteget és a hátsó szilikon maratást;
6. Cu/Al kiválasztás aránya:>50
7. All-in-one gép HxSzxM: 1300mmX750mmX950mm
8. Támogatja az egykattintásos végrehajtást
A folyamat eredménye

Szilikon alapú anyagmarás

Szilícium alapú anyagok, nano-lenyomat minták, tömb
minták és lencseminta maratása
Reaktív ion maratási rendszer RIE gép RIE Hibaelemző gyár

InP normál hőmérsékletű maratás

Az optikai kommunikációban használt InP alapú eszközök mintamaratása, beleértve a hullámvezető szerkezetet, a rezonáns üregszerkezetet.
Reaktív ion maratási rendszer RIE gép RIE Hibaelemző szállító

SiC anyag maratása

Alkalmas mikrohullámú készülékekhez, tápegységekhez stb.


Reaktív ion maratási rendszer RIE gép RIE Hibaelemzés részletei

Fizikai porlasztás, maratás Szerves anyagok tching

Nehezen maratható anyagok, például egyes fémek (például Ni/Cr) és kerámiák maratására alkalmazzák, és
mintás viszketés.
Szerves vegyületek, például fotoreziszt (PR)/PMMA/HDMS/polimer maratására és eltávolítására szolgál.
Reaktív ion maratási rendszer RIE gép RIE Hibaelemző gyár
A hibaelemzés eredményeinek megjelenítése
Reaktív ion maratási rendszer RIE gép RIE Hibaelemző gyártás
Termék leírás 
Reaktív ion maratási rendszer RIE gép RIE Hibaelemzés részletei
Reaktív ion maratási rendszer RIE gép RIE Hibaelemző gyártás
Reaktív ion maratási rendszer RIE gép RIE Hibaelemző szállító
Reaktív ion maratási rendszer RIE gép RIE Hibaelemző gyár
Reaktív ion maratási rendszer RIE gép RIE Hibaelemző gyártás
Reaktív ion maratási rendszer RIE gép RIE Hibaelemző gyár
Csomagolás és szállítás 
Reaktív ion maratási rendszer RIE gép RIE Hibaelemző gyár
Reaktív ion maratási rendszer RIE gép RIE Hibaelemzés részletei
forrasztógép
Company Profile

A Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE) gép a legmodernebb technológia, amely hihetetlen pontossággal képes maratni és elemezni különféle típusú anyagokat. Ezt a gépet különféle iparágakban történő használatra tervezték, ahol rendszeresen szükség van mikrogyártásra vagy maratásra. Kiváló minőségű anyagokból készült, amelyek tartóssá, megbízhatóvá és kiváló eredményeket nyújtanak. 

 

RF plazmagenerátorral felszerelt hatékony. A RIE rendszer induktív csatolást használ, hogy plazmát hozzon létre a betáplált benzinből. Ez a technika nagy sűrűségű plazmát hoz létre, amely növeli a termékhez tartozó marási sebességet. A RIE gép maratási folyamata hatékony, pontos és nagymértékben ellenőrizhető, lehetővé téve az adott mélység elérését. Ez a funkció egyedülálló, kiváló választás kutatási vagy ipari munkákhoz. 

 

A gép széles választékkal rendelkezik, beleértve a mikroelektronikát, a MEMS-gyártást és a félvezetőgyártást. Ez a gép fontos szerepet játszik az olyan félvezető anyagok maratásában és mikromegmunkálásában, mint a szilícium, gallium-arzenid és germánium a félvezetőiparban. A Minder-High-tech RIE eszközt ezenkívül a MEMS-iparban hozták létre lágy és kemény anyagok, például poliimid, szilícium-dioxid és szilícium-nitrid előállítására. Ezenkívül elérhető hibaelemzés céljából az elektronikus szolgáltatásokkal és termékekkel kapcsolatos iparágakban. 

 

Különböző funkciókat tartalmaz, amelyek megkönnyítik a használatát. Ez egy felhasználóbarát szoftver, amely biztosítja a kezelő számára a készülékben használt maratási paraméterek teljes ellenőrzését. A gép beállításai a belső memóriájába kerülnek, több mint 100 beállításkészletet tud tárolni. Egy érintéssel rendelkezik a képernyő, amely lehetővé teszi a kezelő számára olyan paraméterek beállítását, mint a gázmozgás, a teljesítmény vastagsága és a nyomás. A Minder-High-tech RIE gép hőmérsékletszabályzó funkcióval is rendelkezik, amely biztosítja, hogy az anyagok megfelelő hőmérsékleten marathatók legyenek, és megakadályozza a károsodást. 

 

Tökéletes olyan vállalatok számára, amelyek megbízható és hatékony gépet igényelnek, és pontos és precíz eredményeket biztosítanak. Ezt az eszközt csúcstechnológiával tervezték, és a szint nagyon sok. Sokoldalúsága és felhasználóbarát tulajdonságai miatt nagyon jó választás lehet kutatási és ipari alkalmazásokhoz a különböző ágazatokban. 

 

Hatékony hibaelemző rendszerrel is rendelkezik, amely lehetővé teszi a gép számára a mechanikai problémák mielőbbi észlelését és kijavítását. Ez a rendszer biztosítja, hogy a RIE gép magas minőséget és megbízhatóságot tartson fenn teljes életciklusa során. Minden olyan iparág számára, amely precíz és hatékony maratást vagy mikrogyártást igényel, a Minder-High-tech RIE gép a tökéletes megoldás.


Vizsgálat

Vizsgálat E-mail WhatsApp WeChat
felső
×

Vegye fel velünk a kapcsolatot!