Tétel | MD150-RIE | MD200-RIE | MD200C-RIE | ||
Termék mérete | ≤ 6 hüvelyk | ≤ 8 hüvelyk | ≤ 8 hüvelyk | ||
RF áramforrás | 0-300W/500W/1000W Állítható, automatikus illesztés | ||||
Molekuláris szivattyú | -/620(L/s)/1300(L/s)/Egyedi | Antiszeptikus 620(L/s)/1300(L/s)/Egyedi | |||
Foreline pumpa | Mechanikus szivattyú/száraz szivattyú | Száraz szivattyú | |||
A folyamat nyomása | Szabályozatlan nyomás/0-1Torr szabályozott nyomás | ||||
Gáz típus | H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Egyedi (Akár 9 csatorna, nem korrozív és mérgező gáz) | H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) | |||
Gáztűzhely | 0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom | ||||
LoadLock | Igen nem | Igen | |||
Minta tem ellenőrzés | 10°C~ Szobahőmérséklet/-30°C~100°C/Egyedi | -30°C ~ 100°C /Egyedi | |||
Hátsó hélium hűtés | Igen nem | Igen | |||
A folyamat üreg bélése | Igen nem | Igen | |||
Üreges fal hőmérséklet szabályozása | Nem/Szobahőmérséklet ~60/120°C | Szobahőmérséklet -60/120°C | |||
Ellenőrzési rendszer | Automatikus/egyéni | ||||
Rézkarc anyag | Szilícium alapú: Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Mágneses anyagok/ötvözet anyagok Fémes anyag: Ni/Cr/Al/Au. Szerves anyag: PR/PMMA/HDMS/Organic film. | Szilícium alapú: Si/SiO2/SiNx. III-V(注3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (注3): CdTe. Mágneses anyagok/ötvözet anyagok Fém anyag: Ni/Cr/A1/Au. Szerves anyag: PR/PMMA/HDMS/szerves film. |
Alkalmas mikrohullámú készülékekhez, tápegységekhez stb.
A Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE) gép a legmodernebb technológia, amely hihetetlen pontossággal képes maratni és elemezni különféle típusú anyagokat. Ezt a gépet különféle iparágakban történő használatra tervezték, ahol rendszeresen szükség van mikrogyártásra vagy maratásra. Kiváló minőségű anyagokból készült, amelyek tartóssá, megbízhatóvá és kiváló eredményeket nyújtanak.
RF plazmagenerátorral felszerelt hatékony. A RIE rendszer induktív csatolást használ, hogy plazmát hozzon létre a betáplált benzinből. Ez a technika nagy sűrűségű plazmát hoz létre, amely növeli a termékhez tartozó marási sebességet. A RIE gép maratási folyamata hatékony, pontos és nagymértékben ellenőrizhető, lehetővé téve az adott mélység elérését. Ez a funkció egyedülálló, kiváló választás kutatási vagy ipari munkákhoz.
A gép széles választékkal rendelkezik, beleértve a mikroelektronikát, a MEMS-gyártást és a félvezetőgyártást. Ez a gép fontos szerepet játszik az olyan félvezető anyagok maratásában és mikromegmunkálásában, mint a szilícium, gallium-arzenid és germánium a félvezetőiparban. A Minder-High-tech RIE eszközt ezenkívül a MEMS-iparban hozták létre lágy és kemény anyagok, például poliimid, szilícium-dioxid és szilícium-nitrid előállítására. Ezenkívül elérhető hibaelemzés céljából az elektronikus szolgáltatásokkal és termékekkel kapcsolatos iparágakban.
Különböző funkciókat tartalmaz, amelyek megkönnyítik a használatát. Ez egy felhasználóbarát szoftver, amely biztosítja a kezelő számára a készülékben használt maratási paraméterek teljes ellenőrzését. A gép beállításai a belső memóriájába kerülnek, több mint 100 beállításkészletet tud tárolni. Egy érintéssel rendelkezik a képernyő, amely lehetővé teszi a kezelő számára olyan paraméterek beállítását, mint a gázmozgás, a teljesítmény vastagsága és a nyomás. A Minder-High-tech RIE gép hőmérsékletszabályzó funkcióval is rendelkezik, amely biztosítja, hogy az anyagok megfelelő hőmérsékleten marathatók legyenek, és megakadályozza a károsodást.
Tökéletes olyan vállalatok számára, amelyek megbízható és hatékony gépet igényelnek, és pontos és precíz eredményeket biztosítanak. Ezt az eszközt csúcstechnológiával tervezték, és a szint nagyon sok. Sokoldalúsága és felhasználóbarát tulajdonságai miatt nagyon jó választás lehet kutatási és ipari alkalmazásokhoz a különböző ágazatokban.
Hatékony hibaelemző rendszerrel is rendelkezik, amely lehetővé teszi a gép számára a mechanikai problémák mielőbbi észlelését és kijavítását. Ez a rendszer biztosítja, hogy a RIE gép magas minőséget és megbízhatóságot tartson fenn teljes életciklusa során. Minden olyan iparág számára, amely precíz és hatékony maratást vagy mikrogyártást igényel, a Minder-High-tech RIE gép a tökéletes megoldás.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Minden jog fenntartva