Tétel |
MD150-RIE |
MD200-RIE |
MD200C-RIE |
||
Termék mérete |
≤6 hüvelyk |
≤8 hüvelyk |
≤8 hüvelyk |
||
RF hajtómű |
0-300W/500W/1000W Állítható, automatikus párosítás |
||||
Molekuláris pumpa |
-620(L/s)/1300(L/s)/Egyéni |
Antiszepitikus620(L/s)/1300(L/s)/Egyéni |
|||
Foreline pumpa |
Gépi pumpa/száraz pumpa |
Száraz szivattyú |
|||
Folyamatnyomás |
Nem szabályozott nyomás/0-1Torr szabályozott nyomás |
||||
Gáz típusa |
H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Egyéni (Legfeljebb 9 csatorna, nincs rostaléktól és mérgező gáz) |
H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Legfeljebb 9 csatorna) |
|||
gáztartomány |
0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/egyéni |
||||
Betöltési zár |
Igen/Nem |
Igen |
|||
Minta hőszabályzás |
10°C~Szobahő/-30°C~100°C/Egyéni |
-30°C~100°C/Egyéni |
|||
Hátsó heliumhűtés |
Igen/Nem |
Igen |
|||
Feldolgozási kavarvonalak |
Igen/Nem |
Igen |
|||
Kavarfal hőszabályzás |
Nem/Szobahő~60/120°C |
Szobahő-60/120°C |
|||
Vezérlőrendszer |
Automatikus/egyéni |
||||
Etching anyag |
Silícium-alapú: Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Mágneses anyagok/legerőanyagok Fém anyag: Ni/Cr/Al/Au. Szerves anyag: PR/PMMA/HDMS/Szerves filám. |
Silícium-alapú: Si/SiO2/SiNx. III-V (megjegyzés 3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (megjegyzés 3): CdTe. Mágneses anyagok/legerőanyagok Fém anyag: Ni/Cr/Al/Au. Szerves anyag: PR/PMMA/HDMS /szerves filém. |
Alkalmazható mikrohullám-eszközökhöz, erőeszközökhöz stb.
Az Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE) gép egy úttörő technológia, amely képes hihetetlen pontossággal mátrakolni és elemződni különböző típusú anyagokat. A gép olyan iparágokban használható, ahol rendszeresen szükség van mikrofabrikációra vagy mátrakásra. Magas minőségű anyagokból készült, ami tűrékenyessé, megbízhatóságra és kitartó jellegű kiváló eredményekre teszi képes.
RF plazmaversenyes generátorral ellátva hatékony. Az RIE rendszer induktív kapcsolást használ a plazma létrehozásához az üzemanyag forrásából. Ez a technika magas sűrűségű plazmát hoz létre, amely növeli a termékkel kapcsolatos mátrakási sebességet. Az RIE-gép mátrakási folyamata hatékony, pontos és nagyon irányítható, lehetővé téve egy adott mélység elérését. Ez a jellemző teszi egyedi és kiváló választásnak a kutatási vagy ipari munkák számára.
A gép széles körű alkalmazási területet fed le, beleértve a mikroelektronikát, a MEMS gyártást és a halványtestes gyártást. A gép fontos szerepet játszik a halványtest anyagok, például a szilícium, gallium arsenid és germán gyökérészetben és mikrogépészeti feldolgozásában a halványtest iparágban. A Minder-High-tech RIE eszköz továbbá be is gyökeresült a MEMS iparágban a lágy és merev anyagok, mint a poliimid, szilícium-dioxid és szilícium-nitrid gyártásához. Emellett elérhető hibaelhárítási elemzésre is az elektronikai termékek és szolgáltatásokkal kapcsolatos iparágakban.
Funkciókat tartalmaz, amelyek változatosak és könnyű használni. A szoftver felhasználóbarát, teljes ellenőrzést biztosít az operátor számára az etching paraméterek felett, amelyeket a berendezésben használnak. A gép beállításai el vannak mentve a belső memóriába, és több mint 100 beállításcsoportot tárolhatnak. Van érintőképernyője, amely lehetővé teszi az operátornak a paraméterek beállítását, például a gáz áramlását, a teljesítmény sűrűségét és a nyomást. Az Minder-High-tech RIE gép egy hővezérlési funkcióval is rendelkezik, amely biztosítja, hogy a anyagokat a megfelelő hőmérsékleten etcheljék, és megakadályozza az okozható kártyaikat.
Tökéletes olyan vállalatok számára, amelyek megbízható és hatékony gépet igényelnek, amely pontos és precíz eredményeket tud szolgáltatni. Ezen eszköz fejlesztésére csúcsos technológiát használtak, és nagyon magas szintű. A versenyképessége és a felhasználóbarát funkciói miatt ez egy nagyon jó választás a kutatási és ipari alkalmazások széles körében.
Ezenkívül rendelkezik hatékony hibatömegvizsgálati rendszerrel, amely lehetővé teszi a gépnek a mechanikai problémák észlelését és javítását a lehetséges leggyorsabban. Ez a rendszer biztosítja, hogy az RIE gép magas minőséget és megbízhatóságot fenntartson egész élettartamán át. Minden olyan iparág számára, amely pontos és hatékony etcholást vagy mikroszerkezet-tervezést igényel, a Minder-High-tech RIE gép a tökéletes megoldás.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved