Félautomatikus RTP Gyors Hőfeldolgozás lemelek számítógépes szemiconduktorokhoz SlC LED MEMS , China Félautomatikus RTP Gyors Hőfeldolgozás lemelek számítógépes szemiconduktorokhoz SlC LED MEMS Manufacturers, Suppliers, Factory

Termékleírás

Gyors Hőmérsékleti Feldolgozás

Megbízható RTP eszközök biztosítása összetett halványelemeihez, SlC-hez, LED-hez és MEMS-hez

Funkció

* Infravörös halogén lámpafüggönyos fűtés, hűtés levegőhűtéssel;
* PlD hőmérséklet-ellenőrzés a lámpa teljesítményére, amely pontosan ellenőrzi a hőmérséklet növekedését, biztosítva a jó reprodukálhatóságot és a hőegységességet;
* A anyag belépési helye a WAFER felületén van beállítva, hogy elkerülje a hideg pontok kialakulását az annealing folyamat során, és biztosítja a termék jó hőegységességét;
* Mind a légkörbeli, mind a vakuum kezelési módszerek kiválaszthatók, törzs előkezeléssel és tisztítással;
* Két folyamatgáz-sorozat szabványos, bővíthető legfeljebb 6 folyamatgáz-sorozatra;
* A mérhető egyetlen kristályos síkfűrészem maximális mérete 12inches(300x300MM);
* A három biztonsági intézkedés: biztonságos hőmérséklet nyitási védelem, hőmérséklet-ellenőrzési nyitási engedélyezési védelem és berendezési sürgős leállítási biztonsági védelem teljes körűen végrehajtott, hogy biztosítsa az eszköz biztonságát;

Tesztjelentés

20 fokos görbék egybeesése

850 ℃-nál történő hővezérlés 20 görbéje

20 átlagos hőmérsékleti görbék egybeesése

1250 ℃ hővezérlés

RTP hővezérlési folyamat 1000 ℃-nál

960 ℃ folyamat, infrav pirométerrel vezérelve

LED folyamatadatok

Az RTD Wafer egy hőérzékelő, amely speciális feldolgozási technikákat használ annak érdekében, hogy hőérzékelőket (RTD-kat) bizonyos helyeken helyezzen el egy csigaterű felületén, lehetővé téve a csigaterű felszínének valós idejű hőmérséklet-méréseit.

A csigaterű adott helyeinek valósgyakorlati hőmérséklet-értelmezése és a csigaterű teljes hőeloszlása az RTD Wafer segítségével szerezhetőek be; Emellett használható folyamatos figyelésre a csigaterűk átmeneti hőváltozásainak meghatározására a melegítési folyamat során.

Specifikáció

Csomagolás & Szállítás

Vállalati profil

16 éves tapasztalattal rendelkezünk berendezés-értékesítés terén. Kínálhatjuk Önnek az egyik állomásból a másikig vezető kínai Semi传导or eleje és végcsomagoló Szerkezeti Berendezések megoldást!