PLASMA forrás
|
RF
|
||
Teljesítmény
|
ICP
|
_
|
|
BIAS
|
1000W(opció)
|
||
Alkalmazási kör
|
4~8 inch
|
||
Egyetlen feldolgozási szelet száma
|
1
|
||
Kijelentkezési méretek
|
850mmx900mmx1850mm
|
||
Rendszervezérlés
|
PLC
|
||
Automatizációs szint
|
Kézi
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved