Félvezető ipari berendezések MDLB-MC200 fotómaszk tisztító , Kína Félvezető ipari berendezések MDLB-MC200 fotómaszk tisztító Gyártók, beszállítók, gyár

MDLB-MC200

Fotómaszk tisztító

Tisztító egység:

A tisztítókamra korrózióálló anyagokkal van megmunkálva, amelyek sima felületűek és könnyen tisztíthatók. A belső üreg alján van egy hulladéklevezető nyílás, amely a gravitációt kihasználva lehetővé teszi a hulladékfolyadék kiürítését a gyári hulladékleadó csővezetékbe. Az üreg belsejében van egy szívónyílás, amely időben eltávolítja a légkört az üregből. 3 automatikus lengőkarral felszerelve, automatikus tisztítást érhet el.

Konfigurációs paraméter táblázat:

Nem.	NetPoulSafe projekt	Műszaki adatok	Megjegyzések
1	Berendezés áttekintése	Eszköz neve: Photomask Cleaner
		Berendezés modell: MDLB-MC200
		Teljes méretek (körülbelül): 1300 mm (Sz) * 1000 mm (M) * 1950 mm (Ma)
		A gép teljes tömege (kb.): 300 kg
		Kezelőasztal magassága: 900 ± 50mm
		Aljzatméretre vonatkozó előírások: 2/4/5/6/8 hüvelykes négyzet alakú maszklemezekhez alkalmas
		Folyamatfolyamat: kézi ostyabehelyezés → tisztítás (kefe, tisztítóoldat → nagynyomású víz → megasonic víz → ioncserélt víz → nitrogéngázos szárítás) → kézi ostyaeltávolítás
		Berendezés típusa: félautomata, kézi be- és kirakodás
2	Berendezés építés	Ház: rozsdamentes acél, sima, korrózióálló, könnyen tisztítható
		Tisztítókamra: PP, sima, korrózióálló, könnyen tisztítható
		Csővezeték: PU/PFA megfelelő csővezetéket használnak
		Munkavilágítás: korróziógátló sárga fényű világítás
		Ajtónyitási stílus: Dupla ajtó ajtónyitás riasztó funkcióval
		Érintőképernyő: 10 hüvelykes színes érintőképernyő * 1
		FFU: 100. osztály
		Szivárgásmentes alsó támaszték: elérhető
3	Nagy pontosságú szervo motor	Mennyiség: 1
		Sebesség: -3000-3000 ford	Üres rakomány
		Az orsó forgásának maximális gyorsulása: 3000 ford./perc	Üres rakomány
		Fordulatszám-pontosság: ± 1 ford./perc (50-3000 ford./perc)
		Sebességfelbontás: 1 ford./perc
4	Automata lengőkar	Mennyiség: 3
4	Automata lengőkar	Lengőkar sebessége: 1-30 °/S
5	Tisztító egység	Tisztító lengőkar: 1 csatorna ionmentesített víz, 1 csatorna nitrogéngáz Megasonic kar: 1 Megasonic, 1 nagynyomású víz Kefekar: 1 kefe, 1 víz, 1 tisztítóoldat
		Tisztítási mód: automatikus tisztítás
		Ionmentesített víz elszívó funkció: elérhető
		Visszamosás (ionmentesített víz): 1 út
		Szállítási mód: Tisztítóoldat: Membránszivattyú Ionmentesített víz: közvetlenül a gyár szállítja
		Nyomástartály folyadékszint-érzékelővel
6	Brush ecset	Mennyiség: 1 (öntisztító funkcióval)
		Fordulatszám: 1000 ford./percig, állítható fordulatszám
		Magassága manuálisan állítható
7	Töltse be a tálcát	Mennyiség: 5
		Anyaga: PPS+rozsdamentes acél
		Méret: 2/4/5/6/8 hüvelykes négyzet alakú maszklemezekhez alkalmas
		Aljzatrögzítés módja: Karmos rögzítési módszer
8	Ellenőrzési rendszer	Vezérlőrendszer: PLC vezérléssel
		Program: 100 csoport, mindegyik csoport 100 lépésből áll, egy lépés maximális időtartama 3000.0 másodperc Felbontás: 0.1S
		A program menthető, hívható, módosítható és törölhető
		Titkosítási engedélyek beállítása: eszközüzemeltetők, technikusok, rendszergazdák és gyártók számára
		Jelzőtorony típusa: piros, sárga, zöld 3 színben