Félvezetőipari ICP PLASMA PR eltávolító gép Photoresist Residual Removal , Kína Félvezető ipar ICP PLASMA PR eltávolító gép Photoresist maradékeltávolító gyártók, beszállítók, gyár

termékleírás

ICP PLASMA fotoreziszt eltávolító

HAMUTÁS
Polimer eltávolítás
A kemény maszkréteg száraz eltávolítása
Fotorezisztencia eltávolítása ionbeültetés után
Fotorezisztencia eltávolítása BAW/SAW eljárással
Reflexiós filmréteg vegytisztítása
Felületi maradványok eltávolítása
Felülettisztítás maratás után
DESCUM

Félvezető ipari ICP PLASMA PR eltávolító gép Photoresist Residual Removal gyártás

folyamat

Félvezető ipari ICP PLASMA PR eltávolító gép Photoresist Residual Removal gyár

Előny:

Alapvető előny

Magas gyantamentesítési sebesség: Nagy sűrűségű plazma, gyors gyantamentesítési sebesség
Stabilitás: Plazmakezelés után nagy reprodukálhatóság
Távoli plazma: Távoli plazma, alacsony ionos károsodás az ostyában
Kiemelt szoftverek: független szoftver kutatás és fejlesztés, intuitív folyamatanimáció, részletes adatok és rekordok
Egyenletesség: A plazma pillangószelepen keresztül tudja szabályozni a nyomást és a hőmérsékletet
Biztonsági tényező: Az alacsony plazmaszint csökkenti a termékkibocsátás károsodását.
Értékesítés utáni szolgáltatás: Gyors reagálás és elegendő készlet
Porvédelem: Megfelel a vevői igényeknek.
Alapvető technológia: a K+F csapat tagjainak közel 40%-ával

Kazettás platform (MD-ST 6100/620)

1. 4 ostyahordozó
2. Magas kompatibilitás: az ostyaméret kiválasztásának rugalmassága magas költségeket és megoldási hatékonyságot eredményez
3. Nagy stabilitású vákuum-átvivő kamra:
A kiforrott és stabil vákuumátviteli kialakítást már évek óta éretten alkalmazzák a piacon, és az ügyfelek jól ismerik.
Lemezjátszó kialakítás, kompakt hely, jelentősen csökkentve a PARTICAL kockázatát
4. Humanizált szoftver kezelési felület:
Intuitív, humanizált szoftverkezelési felület, a futó gép állapotának valós idejű monitorozása;
Átfogó riasztó és bolondbiztos funkciók a hibás működés elkerülése érdekében.
Hatékony adatexportálási funkció, különféle folyamatparaméterek rögzítése és termékgyártási rekordok exportálása.

Félvezető ipari ICP PLASMA PR eltávolító gép Photoresist Residual Removal szállító

Félvezetőipari ICP PLASMA PR eltávolító gép Photoresist Residual Removal részletek

Robot

1. Egyszeri kettős ostyakiszedő és helykialakítás magas termelékenységet biztosít
2. A térhatékonyság javítása.

Fűtőlap

1. Nagy pontosságú hőmérséklet-szabályozó ostyalemez
Wafer fűtőlap szobahőmérsékletről 250°C-ra, hőmérséklet szabályozási pontosság ±1°C
Az ostya fűtőlemez professzionális műszerekkel lett kalibrálva, és az egyenletesség. ±3°C-on belül biztosítsa a ragasztó eltávolításának egyenletességét
2. Egykamrás kétlapos feldolgozás
Egykamrás, kétlapos kivitel;
Független teljesítménykisülési kialakítás minden ostyához, biztosítva, hogy minden ostya. Kerek PR eltávolító hatás;
Az UPH hatékonyságának biztosítása mellett csökkentse a termékköltséget. Erős kompatibilitás
3. Gyártási kapacitás: kétrészes kialakítású reakciókamra, magas gyártási hatékonyság.

Leírás

VÉRPLAZMA			RF	RF
Power	ICP	1000w	1000w
Power		ELFOGULTSÁG	600 W (opcionális)	600 W (opcionális)
Alkalmazható hatókör			4 ~ 8 hüvelyk	4 ~ 8 hüvelyk
Egyetlen feldolgozott szeletek száma			1	2
Megjelenési méretek			1080x1840x1800mm	1340x2050x1800mm
Rendszervezérlés			Ipari irányító rendszer	Ipari irányító rendszer
Automatizálási szint			automatikus	automatikus

Hardver képesség
Üzemidő/Rendelkezésre álló idő	≧ 95%
Átlagos tisztítási idő (MTTC)	≦ 6 óra
Átlagos javítási idő (MTTR)	≦ 4 óra
A hibák közötti átlagos idő (MTBF)	≧ 350 óra
Átlagos idő az asszisztensek között (MTBA)	≧ 24 óra
Átlagos ostya törött (MWBB) között	≦ 1 a 10,000 XNUMX ostyából
Fűtőlap vezérlés	50-250 °

Vizsgálati jelentés

Gyári nézet

Csomagolás és szállítás

Company Profile

16 éves tapasztalattal rendelkezünk berendezések értékesítésében. Kínából egyablakos Semiconductor frontend és back end Package Line Equipments megoldást tudunk biztosítani Önnek!