Technikai paraméter |
Mérés módja |
PSI/VSI/szuper mélyfokusz/bright field |
Egyetlen mérési mező (20× objektív lencse) |
500*350μm (automatikus összefűzés) |
|
Szögbeállítás |
±12° kézi |
|
Z-tengely beállítása |
20mm elektrikus + 50mm kézi (finom és átfogó igazítási mechanizmus) |
|
Hosszúsági skennelési tartomány |
0-10mm |
|
Hosszirányú felbontás |
<0.2nm |
|
Hosszirányú burkoltság-mérés ismétlődősége |
0.01nm (PSI mód) |
|
lépcsős magasság jelölési hiba mérés |
<0.75% (VSI mód) |
|
Oldalirányú felbontás: @550nm |
0.69μm (20× objektív lencse) |
|
Mérhető minta visszaverődés |
0.1%-100% |
|
Mérési idő |
<5s (PSI mód) |
|
Elemző funkció |
Elemző funkció |
3D magasság mérés, 3D aszperitás elemzés, 2D méret mérés |
3D adatkiírás |
3D pontfelhő adat, szürkeárnyalatos képadat, testreszabott jelentés |
Objektív nagyítás |
2.5X |
5x |
10x |
20x |
50x |
100x |
Numerikus rekesznyílás |
0.075 |
0.13 |
0.3 |
0.4 |
0.55 |
0.7 |
Optikai felbontás @550nm (μm) |
3.7 |
2.1 |
0.92 |
0.69 |
0.5 |
0.4 |
Fókusztavolság (μm) |
48.7 |
16.2 |
3.04 |
1.71 |
0.9 |
0.56 |
Működési távolság (mm) |
10.3 |
9.3 |
7.4 |
4.7 |
3.4 |
2.0 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved