Műszaki paraméterek | Mérési mód | PSI/VSI/szuper mélységélesség/világos mező |
Egyszeres mérési látómező (20× objektív) | 500*350μm (automatikus varrás) | |
Szögbeállítás | ±12° kézi | |
Z-tengely beállítás | 20mm elektromos + 50mm kézi (durva és finombeállító mechanizmus) | |
Hosszanti szkennelési tartomány | 0-10mm | |
Longitudinális felbontás | <0.2 nm | |
A hosszanti érdességmérés megismételhetősége | 0.01 nm (PSI mód) | |
lépésmagasság kijelzési hibája mérés | <0.75% (VSI mód) | |
Oldalfelbontás: @550nm | 0.69 μm (20× objektív) | |
Mérhető minta visszaverő képessége | 0.1%-100% | |
Mérési idő | <5 s (PSI mód) | |
Elemző funkció | Elemző funkció | 3D magasságmérés, 3D érdességelemzés, 2D méretmérés |
3D adatkimenet | 3D pontfelhő adatok, szürkeárnyalatos képadatok, testreszabott jelentés |
Objektív nagyítás | 2.5x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
Numerikus rekesznyílás | 0.075 | 0.13 | 0.3 | 0.4 | 0.55 | 0.7 |
Optikai felbontás @ 550 nm (μm) | 3.7 | 2.1 | 0.92 | 0.69 | 0.5 | 0.4 |
Fókusz mélysége (μm) | 48.7 | 16.2 | 3.04 | 1.71 | 0.9 | 0.56 |
Működési távolság (mm) | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Minden jog fenntartva