Հայաստան

Minder-Hightech-ը կիսահաղորդիչների արտադրող է: Կիսահաղորդիչները կարևոր բաղադրիչներն են այն ամենի համար, ինչը կերտում է ժամանակակից կյանքը, ինչպիսիք են բջջային հեռախոսները և համակարգիչները: Այժմ կիսահաղորդիչների ստեղծման մի քանի քայլ կա, բայց առաջին քայլը հարթ մակերևույթի վրա նախշ ստեղծելն է, որը հայտնի է որպես վաֆլի:

Այս նախշը պատրաստելու համար վաֆլի վրա հատուկ նյութ ենք դնում։ Այս նյութը հայտնի է որպես ֆոտոռեզիստ: Երբ մենք վայր ենք դնում ֆոտոռեզիստը, այն բացահայտում ենք լույսի ներքո: Լույսի ներքո ֆոտոռեսիստի տարածքը կարծրանում և ամրացվում է: Ստվերում գտնվող տարածքները մնում են փափուկ և կարող են ջնջվել:

Վաֆլի վրա ցանկալի նախշը ստանալուց հետո ֆոտոռեզիստը պետք է հանվի այն հատվածներից, որտեղ մենք կկատարենք հետագա մշակումը: Ահա թե որտեղ Պլազմայի մաքրող միջոց խաղում է բառացիորեն:

Ֆոտոռեզիստի հեռացման պլազմայի վրա հիմնված մեթոդներ

Պլազման էներգիայի բարձր մակարդակ ունեցող գազի վիճակ է՝ դրա վրա կիրառվող բարձր էլեկտրական լիցքի պատճառով։ Եվ այս ակտիվացված գազը շատ օգտակար է վաֆլի մակերեսի վրա ֆոտոռեսիստը հեռացնելու համար: Պլազմայի միջոցով ֆոտոռեզիստը կարող է փխրուն դառնալ, և դրա մաքրումը շատ ավելի հեշտ է դառնում:

Մենք ունենք երկու տարբեր տեխնիկա՝ օգտագործելով պլազմա՝ ֆոտոռեսիստը հեռացնելու համար՝ չոր փորագրություն և մոխիր:

Չոր փորագրություն. այս տեխնիկայում իրական պլազման, որը փոխազդում է ֆոտոռեսիստի հետ: Պլազման արձագանքում է ֆոտոռեզիստի հետ, որտեղ այն շփվում է: Այս ռեակցիան քայքայում է ֆոտոռեզիստը և այն վերածում գազի։ Այս գազային նյութը կարող է հետագայում մաքրվել վաֆլի մակերևույթից, ինչի հետևանքով բացահայտվում են այն տարածքները, որոնք մեզ անհրաժեշտ են մաքուր և հասանելի առաջընթացի համար:

Ashing — Սա անելու այլ եղանակ է, այս մեթոդով օգտագործվում է ոչ ռեակտիվ պլազմա ֆոտոռեզիստի համար: Փոխարենը պլազման փշրում է ֆոտոռեզիստը փոքրիկ, փոքր կտորների: Այնուհետև այս փոքր կտորները կարելի է լվանալ վաֆլի վրայից: Այս մոտեցումը հարմար է և պաշտպանում է վաֆլիը՝ միաժամանակ հեռացնելով անհարկի ֆոտոռեսիստը:

Օգտագործելով ռեակտիվ պլազմա՝ ֆոտոռեզիստենտի հեռացման համար

Պլազմայի մակերեսային բուժում շատ հզոր գործիք է, որն օգնում է մեզ վաֆլիից հեռացնել ամենակոշտ ֆոտոդիմացկունը: Պլազման ինքնին անհավանական է, բայց ամենալավն այն է, որ մենք կարող ենք այն վերածել գերընտրովի նյութի: Դա նշանակում է, որ այն կարող է կարգավորվել, որպեսզի հատուկ արձագանքի միայն ֆոտոռեսիստին, այլ ոչ թե դրա տակ գտնվող մյուս նյութերին:

Օրինակ. Եթե մենք վաֆլի վրա պատկեր ունենք, որտեղ մետաղը տեղադրված է ֆոտոռեզիստենտի տակ, մենք կարող ենք օգտագործել պլազմայի մի տեսակ, որը արձագանքում է միայն ֆոտոռեզիստորի հետ: Այսպիսով, մենք կարող ենք փորագրել ֆոտոռեզիստը՝ առանց դրա տակ գտնվող մետաղին վնասելու: Այժմ սա շատ կարևոր է, քանի որ մեզ անհրաժեշտ են վաֆլի բոլոր մասերը գործընթացի ընթացքում դրա ամբողջականությունը պահպանելու համար:

Ֆոտոռեզիստը հանելու պլազմային տեխնիկա

Minder-Hightech-ը օգտագործում է նոր դարաշրջանի պլազմային տեխնոլոգիա մեր վաֆլիներից ֆոտոռեզիստենտը հանելու համար: Սա մեզ թույլ է տալիս արտադրել առանց սխալների կիսահաղորդիչներ, որոնք բարձրորակ են:

Արագ, հարմարեցված ձեր կարիքներին Մեր համակարգերը նախագծված են անխափան կերպով ինտեգրվելու ձեր աշխատանքային գործընթացին: Սա ցույց է տալիս, որ մենք ի վիճակի ենք կարճ ժամանակում հանել ֆոտոռեզիստը: Եվ քանի որ մենք արագ ենք, մենք բավարարում ենք մեր հաճախորդների պահանջարկը` մատուցելով հիանալի ապրանքներ, երբ նրանք դրա կարիքն ունեն:

Բայց մեր պլազմային համակարգերը նույնպես շատ ճշգրիտ են՝ իրենց արդյունավետությամբ հանդերձ: Այն, ինչ մեզ տալիս է այս ճշգրտությունը, բացառապես ֆոտոռեսիստը հեռացնելու ունակությունն է: Մեր տեխնոլոգիան թույլ չի տալիս, որ վաֆլի մյուս մասերը վնասվեն մեր գործընթացից, և մենք չենք կարող մեզ թույլ տալ դա անել: Այս մեթոդական պրակտիկան ավելի էական է դառնում մեր կողմից արտադրվող կիսահաղորդիչների որակի համար:

Կիսահաղորդիչների վրա պլազմայի առաջացրած ֆոտոռեսիստի հեռացում

Այսպիսով, մի խոսքով, պլազման գերհզոր ուժ է, որը մեզ հնարավորություն է տալիս շատ արդյունավետ կերպով հեռացնել որոշ ֆոտոդիմացկուն վաֆլի մակերեսից: Մենք Minder-Hightech-ում կիրառում ենք ամենավերջին և լավագույն պլազմային տեխնոլոգիան՝ ճիշտ զրոյական որակի կիսահաղորդիչներ արտադրելու համար: Երբ խոսքը վերաբերում է պլազմային համակարգերին, մեր լուծումները պատրաստված են արագությունը ճշգրտությամբ հավասարակշռելու համար, մինչդեռ դեռ շատ արդյունավետ են: Դա նշանակում է կարողանալ բավարարել մեր հաճախորդների պահանջները, ինչպես նաև որակյալ ապրանքներ մատուցել առանց ձախողման: Դա օգնում է բարելավել կիսահաղորդիչների գործընթացը, երբ մենք օգտագործում ենք պլազմայի հեռացում տեխնոլոգիա, որը մեր կիսահաղորդիչներին հնարավորինս լավ է դարձնում, որպեսզի բոլոր տեսակի էլեկտրոնային սարքերը լինեն հուսալի գաջեթներ: