RTP սարքավորում բարդ կիսահաղորդիչների համար、SlC、LED և MEMS
Արդյունաբերության ծրագրեր
Օքսիդ, նիտրիդների աճ
Օմիկ կոնտակտային արագ խառնուրդ
Սիլիցիդի համաձուլվածքի հալում
Օքսիդացման ռեֆլյուքս
Գալիումի արսենիդի գործընթաց
Այլ արագ ջերմային մշակման գործընթացներ
Feature:
Ինֆրակարմիր հալոգեն լամպի խողովակի ջեռուցում, սառեցում օդային հովացման միջոցով;
PlD ջերմաստիճանի հսկողություն լամպի հզորության համար, որը կարող է ճշգրիտ վերահսկել ջերմաստիճանի բարձրացումը՝ ապահովելով լավ վերարտադրելիություն և ջերմաստիճանի միատեսակություն.
Նյութի մուտքը տեղադրվում է WAFER մակերեսի վրա՝ զտման գործընթացում սառը կետի արտադրությունից խուսափելու և արտադրանքի լավ ջերմաստիճանի միատեսակությունն ապահովելու համար.
Կարելի է ընտրել ինչպես մթնոլորտային, այնպես էլ վակուումային բուժման մեթոդներ՝ մարմնի նախնական մշակմամբ և մաքրմամբ;
Գործընթացային գազերի երկու հավաքածու ստանդարտ են և կարող են ընդլայնվել մինչև 6 պրոցեսի գազերի հավաքածու;
Չափելի մեկ բյուրեղյա սիլիցիումի նմուշի առավելագույն չափը 12 դյույմ է (300x300 մմ);
Երեք անվտանգության միջոցառումները՝ անվտանգ ջերմաստիճանի բացման պաշտպանության, ջերմաստիճանի կարգավորիչի բացման թույլտվության պաշտպանության և սարքավորումների վթարային կանգառի անվտանգության պաշտպանությունը լիովին իրականացվում են՝ գործիքի անվտանգությունն ապահովելու համար.
Թեստային զեկույց.
20-րդ աստիճանի կորերի համընկնում.
20 կորեր 850 ℃ ջերմաստիճանի վերահսկման համար
20 միջին ջերմաստիճանի կորերի համընկնում
1250 ℃ ջերմաստիճանի վերահսկում
RTP ջերմաստիճանի վերահսկում 1000 ℃ գործընթաց
960 ℃ պրոցես, որը վերահսկվում է ինֆրակարմիր պիրոմետրով
LED գործընթացի տվյալներ
RTD Wafer-ը ջերմաստիճանի տվիչ է, որն օգտագործում է հատուկ մշակման տեխնիկա՝ վաֆլի մակերևույթի որոշակի վայրերում ջերմաստիճանի տվիչներ (RTD) տեղադրելու համար, ինչը հնարավորություն է տալիս իրական ժամանակում չափել վաֆլի մակերեսի ջերմաստիճանը:
Վաֆլի որոշակի վայրերում իրական ջերմաստիճանի չափումները և վաֆլի ընդհանուր ջերմաստիճանի բաշխումը կարելի է ստանալ RTD վաֆլի միջոցով; Այն կարող է օգտագործվել նաև ջերմային մշակման գործընթացում վաֆլիների վրա անցողիկ ջերմաստիճանի փոփոխությունների շարունակական մոնիտորինգի համար:
Հեղինակային իրավունք © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Բոլոր իրավունքները պաշտպանված են