Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

հjemէջ
Մեր մասին
MH Equipment
Հաղորդում
Երկիրացի Օգտագործողներ
տեսանյութ
Կապվեք մեզ հետ
Տուն> Վեյֆեր Գրինդեր
  • Մեծ ճշգրտությամբ Քիմիկալ Մեխանիկալ Պլանարիզացիա CMP գործընթաց
  • Մեծ ճշգրտությամբ Քիմիկալ Մեխանիկալ Պլանարիզացիա CMP գործընթաց
  • Մեծ ճշգրտությամբ Քիմիկալ Մեխանիկալ Պլանարիզացիա CMP գործընթաց
  • Մեծ ճշգրտությամբ Քիմիկալ Մեխանիկալ Պլանարիզացիա CMP գործընթաց
  • Մեծ ճշգրտությամբ Քիմիկալ Մեխանիկալ Պլանարիզացիա CMP գործընթաց
  • Մեծ ճշգրտությամբ Քիմիկալ Մեխանիկալ Պլանարիզացիա CMP գործընթաց
  • Մեծ ճշգրտությամբ Քիմիկալ Մեխանիկալ Պլանարիզացիա CMP գործընթաց
  • Մեծ ճշգրտությամբ Քիմիկալ Մեխանիկալ Պլանարիզացիա CMP գործընթաց

Մեծ ճշգրտությամբ Քիմիկալ Մեխանիկալ Պլանարիզացիա CMP գործընթաց

Ապարատի Նկարագրություն

Բարձր ճշգրտություն Քիմիական-մեխանիկական հավասարակշռման (CMP) սարքեր

CMP ճշգրիտ սարքերը արդյունավետ հեռացնում են ալիքային մակերեսների վրա գոտած նյութերը և հասնում են համաշխարհային նանոմասշտաբային հավասարակշռությանը քիմիական կորոզիայի և մեխանիկական գոտումի սիներգետիկ արդյունքով:
Բազմաֆունկցիոնալ քիմիական լվացքի մեքենան, որը հատուկ նախագծված է CMP եւ ծածկույթի լվացքի կիրառությունների համար, որոնք պահանջում են խիստ երկրաչափական ճշգրտություն եւ մակերեւույթի որակ, կարող է հասնել Ra- ի նանոմետրային մակարդ
Այս սարքը կարող է նանոմետրային ճշգրտությամբ լվանալ առանձին մոդելները, ինչպես նաեւ լվանալ մինչեւ 8 դյույմ տրամագծով նուրբ թերթեր: Բացի այդ, այն կարող է օգտագործվել նաեւ ոչ ավանդական լվացման ծրագրերում, ինչպիսիք են կոշտ սուբստրատների լվացումը, Epi մակերեւույթի պատրաստումը եւ կտորների վերամշակման բարելավումը:
CDP շարքի մեքենաները հարմարեցնելու համար տարբեր նյութերի եւ գործընթացների պահանջներին, տեխնիկները հարմարեցում եւ նախագծում են համապատասխան լվացման ձեւանմուշները օգտագործողի տեխնիկական պահանջների համաձայն ՝ ճշգրիտորեն բավարարելու CMP գործընթացների պահանջները: Ձախ նկարում երեւում է 8 դյույմ տրամագծով մեկ վաֆայի հեռավորությունը:
Դուրս գալու համար ճշտացիկ չափումների և կառավարման ապահովման, որոնք կատարվում են CDP մաքինաներում արտադրված աղյուսակների կամ սարքերի վրա, մենք ստեղծել ենք EPD համակարգ, որի համար ստեղծված է CDP սկանավորման գրաֆիկական ծրագիր, որը կարող է աշխատել լապտոպներում: Այս ծրագիրը սկանավորում է և գրաֆիկորեն ցույց է տալիս սարքման պրոցեսը, և ավտոմատ կդադարձնի, երբ հասնում է վերջնական կետին:
Հակասություն գումարելի սարքմանը: CDP սկանավորումը կարող է օգտագործվել նաև որպես անվտանգության հատկություն: Եթե հայտնվում են փոփոխություններ որևէ սկանավորվող պրոցեսային պարամետրում, CDP Scan-ը կարող է աктивացնել ձայնային զարդույց, որով կուղեցնի գումարելի սարքման հակասությունը: Օրինակ՝ եթե փոխվում է պահանջված արժեքից տարբեր բեռնատարի արագությունը: EPD համակարգը կգրավի այս դեպքը, քանի որ սարքման մակերևույթի և սարքվող նյութի միջև շարժի մակարդակը կփոխվի բեռնատարի արագության փոփոխման պատճառով, ինչը կարող է դժվարություն ստեղծել աղյուսակի/C հաջող հարթացմանը: Այս կետում EPD համակարգը կարող է ակտիվացնել ձայնային զարդույց սարքման մակերևույթից հեռացնելուց առաջ, կամ կարող է ստանդարտ դադարում դրվել:
ACP համակարգը կարող է օգտագործվել ավելի լայն կիրառման շրջանակներում, և գրաֆիկը ցույց է տալիս CMP գործընթացի փորձարդյունքները սիլիկոն օքսիդի, մուկուսի, սիլիկոն նիտրիդի, ալյումին մուկուսի, սիլիկոն-գերմանիումի և տունգստենի համար:
Գրաֆիկը ցույց է տալիս, որ CMP գործընթացից հետո WTWNU-ն կարող է հասնել 2.82%-ին:
Ակտիվացում
Սիլիկոնային վահանի հավասարաչափում
II-V միացությունների հավասարաչափում
Օքսիդի հավասարաչափում
Ինֆրակարմիր նյութի հիմքի հավասարացում
Սաֆիր, գալիում նիտրիդ և սիլիկոն կարբիդի հիմքերի հավասարաչափում, EPI հիմքի հավասարաչափում
SOS և SOI վահանների պահպանման մինչև 20 միկրոններին դասավորություն
Հիերարխիկ հակադրամանկարություն կամ FA կիրառություններ
Տехնիկ 특성
Էլեկտրամատակարարում
220v 10A
Վայֆերի չափսեր
4"/100մմ
6"/150մմ
8"/200մմ
12"/300մմ
Աշխատանքի դիսկի տրամագիծ
520մմ, 780մմ
Աշխատանքի դիսկի արագություն
0-120հատ/ր
Ֆիքսատորի արագություն
0-120հատ/ր
Ֆիքսատորի տատանումների հաճախություն
0-30spm
Վայերի հետևանքական ճնշում
0-150պսի
Վայերի կենտրոնական կետի ճնշում
0-50պսի
Ժամանակավոր ժամանակ
0-10 ժ
Հավաքման ալիք
≥2
Սնուցման արագություն
0-150մլ/ր
Պակետավորում և առաքելություն
Կոմպանիայի պրոֆիլ
Minder-Hightech է վաճառող և սերվիսային ներկայացուցիչ կիսահանդեսական և էլեկտրոնային արտադրանքների գործարաններում օգտագործվող համակարգերում։ Երկար 2014-ից ընկալում է տարածել գործարանների համակարգերի մասին՝ առաջարկելով գործարանների համակարգերի մասին՝ գերազանց և վավեր լուծումներ։
Հաճախ տրամադրվող հարցեր
1. Գինի Մասին:
Երբեմն մեր գիները համապատասխան են և կարող են քննարկվել: Գինը փոխվում է սարքի և ձեր սարքի պարամետրերի կամ անհրաժեշտ կայունության կախվածության.

2. Սամպլի Մասին:
Կարող ենք ձեզ առաջարկել սամպլ սարքի սերվիս, բայց կարող է պահանջվել մի քանի վճարում։

3. Վճարման մասին:
Պլանը հաստատելուց հետո, ձեզ պետք է առաջնային վճարում կատարել, և ապա գործ UsersController՝ սկսեն պատրաստել ապարատները։ Ապարատը պատրաստվելուց հետո, երբ դուք վճարում եք մնացորդը, մենք այն ուղարկում ենք։
Ապարատը պատրաստվելուց հետո, երբ դուք վճարում եք մնացորդը, մենք այն ուղարկում ենք։

4. Դուրսագրման մասին:
Ապարատականի ստեղծման վերջում, մենք կուղարկենք դուրսբերման տեսանյութը, դուք նաև կարող եք գալ դեպի կայան և ստուգել ապարատականը։

5. Ինստալյացիա և տեսականում:
Երեք օրում սարքելու հաջողությունը ձեզ տալիս է հավանաբար դադարելու հնարավորություն, մենք կարող ենք ուղարկել ինժեներն սարքելու և դեբագ արելու համար։ Այս սպասարկման ծախսի համար մենք ձեզ կտանք առացկացված գնահատական։

6. Գարանտիայի մասին:
Մեր սարքերը ունեն 12 ամիսանոց warranty period։ Warranty-ից հետո, եթե որևէ մասերն արդյոք վարդագրվեն և պետք է փոխվեն, մենք կավարտենք միայն արժեքի գնահատականը։

Հարցում

Հարցում Email whatsapp Top
×

ԿԱՊԸ ԵՆԴ ՏOUCH