Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Ստացեք գնահատական

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

հjemէջ
Մեր մասին
MH Equipment
Հաղորդում
Երկիրացի Օգտագործողներ
տեսանյութ
Կապվեք մեզ հետ
Տուն> Mask Aligner
  • Համակցման մաքինա / Համակցման մաքինա ֆոտոլիթոգրաֆիա
  • Համակցման մաքինա / Համակցման մաքինա ֆոտոլիթոգրաֆիա
  • Համակցման մաքինա / Համակցման մաքինա ֆոտոլիթոգրաֆիա
  • Համակցման մաքինա / Համակցման մաքինա ֆոտոլիթոգրաֆիա
  • Համակցման մաքինա / Համակցման մաքինա ֆոտոլիթոգրաֆիա
  • Համակցման մաքինա / Համակցման մաքինա ֆոտոլիթոգրաֆիա
  • Համակցման մաքինա / Համակցման մաքինա ֆոտոլիթոգրաֆիա
  • Համակցման մաքինա / Համակցման մաքինա ֆոտոլիթոգրաֆիա
  • Համակցման մաքինա / Համակցման մաքինա ֆոտոլիթոգրաֆիա
  • Համակցման մաքինա / Համակցման մաքինա ֆոտոլիթոգրաֆիա
  • Համակցման մաքինա / Համակցման մաքինա ֆոտոլիթոգրաֆիա
  • Համակցման մաքինա / Համակցման մաքինա ֆոտոլիթոգրաֆիա

Համակցման մաքինա / Համակցման մաքինա ֆոտոլիթոգրաֆիա

Ստանալ ազատ գնահատական
Արտադրանքի նկարագրություն
Mask Aligner Lithography Machine
Mask Aligner-ը հիմնականում օգտագործվում է փոքր և միջին մասշտաբով ինտեգրացված շղթաների, սեմիկոնդուկտորային կոմպոնենտների, օպտոէլեկտրոնային սարքերի, մակերևույթային ակուստիկ սարքերի, բարձրացած ֆիլմերի շղթաների և ուժային էլեկտրոնային սարքերի հետազոտությունների և արտադրության միջոցով:
Մասկային համակցում Հայտնի է նաև որպես. mask alignment exposure machine, exposure system, lithography system, և այլն., դա գլխավոր սարքն է ชิպեր ufacturing-ի համար: Այն օգտագործում է տեխնոլոգիա, որը նման է ֆոտոգրաֆիական տպագրմանը, որպեսզի լուսաբանությամբ տպի մասկի վրա գտնվող մանր նախագծերը սիլիկոնային աղտոցի վրա:
Հիմնականում կազմված է. բարձր ճշգրտությամբ համակցում աշխատանքային стол, երկուական տարբերակված դիտարկման տառալուսավոր միկրոսկոպ, երկուական տարբերակված դիտարկման ա yatանկային միկրոսկոպ, թարգմանական դիգիտալ միջոց, համակարգային հիշողության հիշողություն, բազմակետային լուսաբանության (fly eye) լուսաբանության գլան, PLC կառավարման համակարգ, գազային համակարգ, վակուումային համակարգ, կապույտային վակուումային գլան, secondary anti-vibration workbench և ակցեսուարների տուփ:
Aligner /Alignment Machine photolithography manufacture
Aligner /Alignment Machine photolithography factory
Հատկություն
1. Բարձր հավասարաչափությամբ fly-eye լուսաբանության գլան / ար կանգնացում մեխանիզմ / վակուումային կապույտ լուսաբանության համար վավերություն։ բարձր լուսաբանություն։
2. Համակցում մեթոդը մասկի կապույտությամբ անցկացնում է կայունությունը և ենթադրությունը, որը համոզված է գետի կայունության և ուժի համատեղելիության։
3. Օգտագործում է տարբերակված ուղղագիծ գիդալիներ, բարձր ճշգրտություն, արագ արագություն։
4. Բոլոր մոդելները համապատասխան են աշխատելու բոլոր ստանդարտ ֆոտոռեզիստների հետ, ինչպիսիք են AZ, Shipley, SU 8.
5. Բոլոր մոդելները համակարգի կողմից տրանսֆերված նախագծի որակը սուբստրատին 5 մասկի կիրառություններից հետո պետք է լինի նույնը, ինչ առաջին մասկի կիրառության հետո.
6. Երեսացումը կարելի է կարգավորել 1 վայրկյանից մինչև 1 ժամ: Համակցման ճշգրտությունը 1 µm
Aligner /Alignment Machine photolithography supplier
Aligner /Alignment Machine photolithography details
Aligner /Alignment Machine photolithography details
Aligner /Alignment Machine photolithography factory
Aligner /Alignment Machine photolithography manufacture
Aligner /Alignment Machine photolithography details
Aligner /Alignment Machine photolithography factory
Aligner /Alignment Machine photolithography factory
Aligner /Alignment Machine photolithography manufacture
Aligner /Alignment Machine photolithography details
Տехնիկ 특성
Մոդել
MD-G25A
MD-G25D
MD-G31

MD-G33



Երեսացման տեսակ
Մեկ կողմ

Երկու կողմերից համակցում և երկու կողմերից երեսացում



Երեսացման โրդ
Կոնտակտային, երկար և ոչ կոնտակտային մոտեցում




Արձագանքի գլխի քանակ
1 արձագանքի գլխ

2 արձագանքի գլխ



Światлովսկի տիպ
GCQ350 շարունակային հղում լամպ



LED UV արձագանքի գլխ

Սառեցման եղանակ
Օդի սառեցում




Արձագանքի տարածք
Φ100մմ
110×110մմ
Φ100մմ

150մմ×150մմ



Երեսացման โրդ
Совместим с контактным твердым, мягким




Неоднородность экспонирования
Φ100մմ<±3%<>
≤±3%




Разрешающая способность экспонирования
2μմ
1 μմ




Интенсивность пучка (365 нм)
≥6մագ/սմ²
≤40մագ/սմ²
≥5մագ/սմ²

0～30մագ/սմ²



Լույսի անհավասարություն
≤±4%
≤±3%




UV լույսի առավելագույն խիստ անկյուն
4°
3°




Լուսացումը բազմապատկվում է
≤Φ117մմ
Φ117մմ
≤Φ117մմ

Առաջին և հետո ≥ Φ115մմ



Կողմի սխալների կոմպենսացիայի โրւմ
Արդյունավետ կոմպենսացիա գնդային ձևով

Ավտոմատ հեռացում

3 կետերի արդյունավետ կոմպենսացիա


X և Y առանցքների ճանապարհությունը
±4mm
±5mm
±4mm

±5 mm



θ-ի ճանապարհությունը
±3°
≤5°
≤±5º

≤0.5°



XYZ ենթադրույթի տեղաշարժի լուծում
0.5µm
0.3µm
0.3µm

0.01µm



Միկրոսկոպային համակարգ
Երկու միավոր միկրոսկոպները / Երկու CCD քամերաներ




Ekranas iravoryunqi mer:
15 դюյմ




Սիստեմային լուսավորության բաժանում
2µm
1.5µm
1.5µm

1.5µm



Մասկի և հիմքի չափումների հեռավորություն
0.5 µm
0.3 µm




CCD թարգանի անկյունագծի չափ
1⁄3, (6մմ)



40մմ～110մմ

Կարգավորման աղյուսակի չափեր
≤ 5*5 դյույմ քառակուսի (Կարգավորելի նորմատիվներ)




Հիմունքների չափսեր
Φ 100մմ կամ 100*100մմ քառակուսի
60*49.5մմ քառակուսի
2”-4”

1"x1"-5"x5"



Հիմարկի հաստություն
1-3մմ
≤5 մմ
1-3մմ

≤5 մմ



վակուում բամբեր
Հյութացի անհամեմատ (-0.07～－0.08ՄՊα)




Կլեան սեղմված օդ
≥0.4ՄՊα




Էլեկտրամատակարարում
AC 220Վ±10% 50Հц 1.5ԿՎ




Կլեանրում գրադացիային
Դաս 100




Կլեանրում տեմպերատուրա
25℃±2℃




Կլեանրումի հարթունակություն
≤60%




Կլեանրումի տատանումների ամպլիտուդ
≤4μm




Սարքի չափը
1300 ×720×1600մմ


1500 ×800×1600մմ


Սարքերի կշիռը
200ԿԳ


280կգ


Բարձր ճշգրտության համակարգի ստեղծման ժամանակ պետք է ունենալ почти ճշգրիտ ճշգրտության меխանիկական պրոցես։ Համակարգի մի այլ տեխնիկական խնդիր է համակարգի միկրոսկոպը։ Միկրոսկոփի դիտարկման դաշտի ավելացման համար շատ բարձր մակարդակի լիթոգրաֆիական մաքինաներ օգտագործում են LED արագույթ։ Երկու համակարգ կարող են կոչվել կոնտրոլավոր համակարգեր։ Այն կազմված է երկու դիտարկման դաշտերից, որոնք նայում են միկրոսկոպի մասնիկներին՝ մեկ զույգ ուրիշնիկներով և մեկ զույգ մանրամասնիկներով (լիթոգրաֆիական մաքինաները սովորաբար տալիս են տարբեր մեծացման ուրիշնիկներ և մանրամասնիկներ օգտագործողներին)։ CCD համակարգի առաջին առաջադրանքը է մեծացնել մասկի և մոդելի համակարգերը և դրանց պատկերները ցուցադրել մոնիթորի վրա։
Aligner /Alignment Machine photolithography factory
Aligner /Alignment Machine photolithography factory
Աշխատանքի ստեպը կարևոր մաս է լիթոգրաֆիայի մաքվին-ի համար, որը բաղկացած է մասկի և օրինակի ընդհանուր շարժի ստեպից (XY), մասկի և օրինակի հարաբերական շարժի ստեպից (XY), պտույտային ստեպից, օրինակի հարթացման մեխանիզմից, օրինակի կենտրոնացման մեխանիզմից, վայրի ստեպից, մասկի կլամպից և մասկի հեռացման ստեպից։ Օրինակի հարթացման մեխանիզմը ներառում է գնդակի նստումն ու կիսագնդակը։ Հարթացման գործընթացում, առաջին հաջորդականությամբ, գնդակի նստումն ու կիսագնդակին կիրառվում է ճնշող օդ, ապա՝ կենտրոնացման ձեռնարկի միջոցով, գնդակի նստումը, կիսագնդակը և օրինակի մասը շարժվում են վերև, որպեսզի օրինակի մասը հարթացվի մասկին դեմ, ապա՝ երկու դիրքով եռական սոլենոիդային վալվը փոխանցում է գնդակի նստումը և կիսագնդակը վակուումին համար անցնելու համար՝ հարթացման վիճակը պահպանելու համար։
Aligner /Alignment Machine photolithography details
Aligner /Alignment Machine photolithography supplier
Aligner /Alignment Machine photolithography factory
Aligner /Alignment Machine photolithography details
Aligner /Alignment Machine photolithography factory



Minder-Hightech բերում է ձեզ նորարար տեխնոլոգիա ֆոտոլիթոգրաֆիայի համար Aligner / Alignment Machine-ի միջոցով։

 

Արդյոք դուք հանգեցել եք խանգարումին, որ տպում եք սրահներ ձեր էլեկտրոնային արտադրանքների վրա բավական ճշմարտության չունենալու պատճառով? Minder-Hightech-ի Aligner/Alignment Machine-ի օգնությամբ կարող եք համոզվել, որ ձեր տպագրված սրահների արտադրության ժամանակ ստանաք բարձր մակարդակի ճշմարտություն:

 

Այս հեղինակական ապարատով դուք կարող եք անմիջապես տեղափոխել բարձր լուսավորության պատկերը արտադրանքի վրա ֆոտոլիթոգրաֆիայի միջոցով։ Այս մաքնինա ապահովում է ճշմարտություն մարմնի և պատկերի համատեղելու գործակիցով։

 

Պատկերների տպագրման և բեռնումից հետո, մաքնինան հաշվում է արտադրանքին պահանջվող լուսավորման քանակը և թե ինչպես է մարմինը համատեղված պատկերների հետ։ Այս հաշվարկը կատարվում է օգտագործելով վերջին համակարգային ծրագրավորումը, որը կարող է թարմացվել՝ համապատասխանելու արտադրանքային գործարանի տեխնոլոգիական զարգացմանը։

 

Սա կթողնի ձեզ ստեղծել լայն համապատասխանություն, ներառյալ միկրոշրջանագրերը, ռադիոքանցական (RF) շրջանագրեր և ներդրված շրջանագրեր: Այս միավորը կարող է ստանալ լավագույն սահքի խորություն, ոճի լայնություն և շերտ-դեպի-շերտ համաչափություն՝ տարբեր համարձակ գործընթացների, ինչպիսիք են քիմիական սահքումը և էլեկտրապահելակումը, ավելացմամբ:

 

Մեր արտադրանքի գոյությունը հանգեցնում է իր կարողությանը ստանալ բարձր համաչափություն, որը համոզում է, որ նախագծերը տեղադրված են մեծ ճշգրտությամբ նյութի վրա: Դուք կարող եք հարմարագույն ձևով տպագրել շատ բարդ նախագծեր՝ ոչ մի փոխակերպություն չառաջացնելով:

 

Սա օգտագործողին հարմար է, կոմպակտ և արդյունավետ, ինչ դարձնում է այն համապատասխան տարբեր արտադրանքային արտանահատակների կամ ընկերության չափի համար: Գումարելով, մեր սարքը հանդիսանում է մասնագետական տեխնիկական սպասարկողների հետ ձեռնարկություն և վարժություն վայրում:

 

Minder-Hightech-ի Aligner/Alignment Machine օգտագործում է ֆոտոլիթոգրաֆիական տեխնոլոգիա, որը օգնում է ձեզ ստանալ լավագույն արդյունքներ շրջապատերի տպագրման ժամանակ: Արձանագրեք նոր տեխնոլոգիայի մակարդակ, որը բա hjում է ձեզ բարձր ճշգրտություն և ճշգրտություն, ինչը անհամարժեք է تقليցիական տպագրման մեթոդներին: Minder-Hightech-ի Aligner/Alignment Machine-ը նախատեսված է ձեր արտադրանքային կոմպանիայի համար՝ մնալու համար մեկ քայլով առաջ հաղթահարներից: Կապվեք մեզ այսօր ՝ որպեսզի ստանաք ամենալավ Aligner/Alignment Machine տեխնոլոգիայի առավելությունները աactable առկայում:


Ավելի շատ ապրանքներ

Հարցում

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Սկսածքային POLITICY

Հարցում Email whatsapp Top
×

ԿԱՊԸ ԵՆԴ ՏOUCH