Aligner /Alignment Machine photolithography , China Aligner /Alignment Machine photolithography Manufacturers, Suppliers, Factory

Ապրանքի նկարագրությունը

Mask Aligner Lithography Machine

Mask Aligner-ը հիմնականում օգտագործվում է փոքր և միջին մասշտաբի ինտեգրալ սխեմաների, կիսահաղորդչային բաղադրիչների, օպտոէլեկտրոնային սարքերի, մակերեսային ակուստիկ ալիքային սարքերի, բարակ թաղանթային սխեմաների և ուժային էլեկտրոնային սարքերի մշակման և արտադրության մեջ:
Mask Aligner Նաև հայտնի է որպես՝ դիմակների հավասարեցման բացահայտման մեքենա, մերկացման համակարգ, լիտոգրաֆիայի համակարգ և այլն, չիպերի արտադրության հիմնական սարքավորումն է: Այն օգտագործում է լուսանկարչական տպագրության նման տեխնոլոգիա՝ դիմակի նուրբ նախշերը սիլիկոնային վաֆլի վրա լույսի ազդեցության տակ տպելու համար։
Հիմնականում կազմված է՝ բարձր ճշգրտության դասավորված աշխատասեղան, երկդիտակ առանձնացված տեսադաշտ, ուղղահայաց մանրադիտակ, երկդիտակ առանձնացված տեսադաշտ, հորիզոնական մանրադիտակ, թվային ֆոտոխցիկ, համակարգչային պատկերի հիշողության համակարգ, բազմակետ լույսի աղբյուր (թռչող աչք) լուսարձակման գլխիկ, PLC կառավարման համակարգ, օդաճնշական համակարգ, վակուումային համակարգ, ուղղակիորեն միացված վակուումային պոմպ, երկրորդական հակաթրթռումային աշխատասեղան և աքսեսուարների տուփ

Aligner /Alignment Machine ֆոտոլիտոգրաֆիայի արտադրություն

Aligner /Alignment Machine photolithography factory

Բնութագիր

1. Բարձր միատեսակ թռչող աչքերի բացահայտման գլուխ / օդի ֆլոտացիոն հարթեցման մեխանիզմ / հուսալի վակուումային կռվան բացահայտում: բարձր լուծում:
2. Դիմակով հավասարեցման մեթոդը կայուն է պահում և հիմքի սնուցումը, որը ապահովում է ուղեցույցի ձգողականության և ուժի հետևողականությունը:
3. Օգտագործելով բաց ուղիղ ուղեցույց, բարձր ճշգրտություն, արագ արագություն:
4. Բոլոր մոդելները հարմար են բոլոր ստանդարտ ֆոտոռեզիստների հետ աշխատելու համար: ինչպիսիք են AZ, Shipley, SU 8:
5. Բոլոր մոդելները Համակարգի կողմից սուբստրատի 5-րդ դիմակի հավելվածներին փոխանցված նախշի որակը պետք է լինի նույնը, ինչ առաջին դիմակը կիրառելուց հետո նախշի որակը:
6. Լուսավորման ժամանակը կարգավորելի է 1 վայրկյանից մինչև 1 ժամ: Հավասարեցման ճշգրտությունը 1 մկմ

Aligner /Alignment Machine photolithography մատակարար

Aligner /Alignment Machine ֆոտոլիտոգրաֆիայի մանրամասներ

մասնագիր

մոդել	MD-G25A	MD-G25D	MD-G31		MD-G33
Լուսավորման տեսակը	Մի կողմ			Կրկնակի կողմի հավասարեցում և կրկնակի կողային բացահայտում
Բացահայտման ռեժիմ	Շփվեք կոշտ, փափուկ և ոչ կոնտակտային մոտիկության հետ
Էքսպոզիցիոն գլխի քանակությունը	1 Էքսպոզիցիոն գլուխ			2 Էքսպոզիցիոն գլուխ
Լույսի աղբյուրի տեսակը	GCQ350 գնդաձև սնդիկի լամպ						LED ուլտրամանուշակագույն ճառագայթման գլխիկ
սառեցման մեթոդ	օդի սառեցում
Լուսավորման տարածք	Φ100mm	110 × 110mm	Φ100mm		150mm × 150mm
Բացահայտման ռեժիմ	Համատեղելի է կոնտակտային կոշտ, փափուկ
Լուսավորման անհավասարություն	Φ100 մմ<±3%<>	≤ ± 3%
Լուսավորման լուծում	2μm	1 մկմ
Ճառագայթի ինտենսիվություն (365 նմ)	≥6 մվտ/սմ²	≤40 մվտ/սմ2	≥5 մվտ/սմ2		0-30 մվտ/սմ2
Ճառագայթների անհամասեռություն	≤ ± 4%	≤ ± 3%
Ուլտրամանուշակագույն լույսի առավելագույն շեղման անկյուն	4 °	3 °
Լուսավորման միջակայք	≤Φ117 մմ	Φ117mm	≤Φ117 մմ		Առջևի և հետևի ≥ Φ115 մմ
Սեպ սխալի փոխհատուցման ռեժիմ	Կիսագնդային ավտոմատ փոխհատուցում			Ավտոմատ վերացում		3 միավոր ավտոմատ փոխհատուցում
X և Y առանցքների ճանապարհորդությունը	± 4մմ	± 5մմ	± 4մմ		± 5 մմ
Թ–ի ճանապարհորդությունը	± 3 °	≤5 °	≤±5º		≤0.5 °
XYZ ենթաշերտի տեղաշարժի լուծում	0.5մմ	0.3մմ	0.3մմ		0.01մմ
Մանրադիտակային համակարգ	Երկու մեկ բարելի մանրադիտակ / Երկու CCD տեսախցիկ
Ցուցադրել չափը	15 մատնաչափ
Պատկերային համակարգի լուծում	2մմ	1.5մմ	1.5մմ		1.5մմ
Դիմակ և ենթաշերտի չափման հեռավորությունը	0.5 μմ	0.3 μմ
CCD թիրախային մակերեսի անկյունագծային չափը	1/3, (6 մմ)						40 մմ-110 մմ
Սեղանի չափի կարգավորում	≤ Քառակուսի 5*5 դյույմ (հարմարեցվող բնութագրեր)
Ենթաշերտերի չափը	Φ 100 մմ կամ 100 * 100 մմ քառակուսի	60*49.5մմ քառակուսի	2 ”-4”		1"x1"-5"x5"
Ենթաշերտի հաստությունը	1-3mm	≤5 մմ	1-3mm		≤5 մմ
Վակուումային պոմպ	Յուղազերծ խլացում (-0.07-0.08MPa)
Մաքուր սեղմված օդը	≥0.4 ՄՊա
Էլեկտրամատակարարում	AC 220V±10% 50HZ 1.5KW
Մաքուր սենյակի աստիճան	Class 100
Մաքուր սենյակային ջերմաստիճան	25 ℃ ± 2
Մաքուր սենյակի հարաբերական խոնավությունը	≤60%
Մաքուր սենյակի թրթռման ամպլիտուդը	.4μm
Սարքավորման չափը	1300 × 720 × 1600 մմ				1500 × 800 × 1600 մմ
Սարքավորումների քաշը	200kg				280kg

Բարձր ճշգրտության հավասարեցման համակարգը պետք է ունենա գրեթե կատարյալ ճշգրիտ մեխանիկական գործընթաց: Հարթեցման համակարգի մեկ այլ տեխնիկական խնդիր է հավասարեցման մանրադիտակը: Մանրադիտակի տեսադաշտը բարձրացնելու համար շատ բարձրակարգ լիտոգրաֆիայի մեքենաներ օգտագործում են LED լուսավորություն: Գոյություն ունի հավասարեցման համակարգի երկու հավաքածու՝ կենտրոնացման գործառույթով: Այն հիմնականում բաղկացած է երկու աչքերից և երկու տեսադաշտից, որոնք ուղղված են մանրադիտակի հիմնական մարմնին, մեկ զույգ ակնաբույժ և մեկ զույգ օբյեկտիվ ոսպնյակ (լիտոգրաֆիայի մեքենան սովորաբար օգտվողներին տրամադրում է տարբեր խոշորացումներով ակնոց և օբյեկտիվ ոսպնյակներ): CCD հավասարեցման համակարգի գործառույթն է մեծացնել դիմակի և նմուշի հավասարեցման նշանները և պատկերել դրանք մոնիտորի վրա:

Աշխատանքային մասի փուլը լիտոգրաֆիայի մեքենայի առանցքային մասն է, որը բաղկացած է դիմակի նմուշի ընդհանուր շարժման փուլից (XY), դիմակի նմուշի հարաբերական շարժման փուլից (XY), պտտման փուլից, նմուշի հարթեցման մեխանիզմից, նմուշի կենտրոնացման մեխանիզմից: , վաֆլի փուլը, դիմակի սեղմիչը և հանվող դիմակի փուլը: Նմուշի հարթեցման մեխանիզմը բաղկացած է գնդիկավոր նստատեղից և կիսագնդից: Հավասարեցման գործընթացում սկզբում ճնշում օդը կիրառվում է գնդիկի նստատեղի և կիսագնդի վրա, այնուհետև գնդակի նստատեղը, կիսագունդը և նմուշի կտորը շարժվում են դեպի վեր՝ կենտրոնացող ձեռքի անիվի միջով, որպեսզի նմուշի կտորը կարողանա հավասարեցնել դիմակին, այնուհետև Երկու դիրքի եռակողմ էլեկտրամագնիսական փականը գնդակի նստատեղը և կիսագնդը միացնում է վակուումի, որպեսզի կողպվի՝ հարթեցման վիճակը պահպանելու համար:

Minder-Hightech-ը ձեզ է ներկայացնում ֆոտոլիտոգրաֆիայի առաջադեմ տեխնոլոգիա Aligner/Alignment Machine-ի միջոցով:

Ձեր էլեկտրոնային արտադրանքի վրա սխեմաներ տպելիս դուք պայքարում եք ոչ բավարար ճշգրտության դեմ: Minder-Hightech's Aligner/Alignment Machine-ի միջոցով դուք կարող եք հանգստանալ՝ իմանալով, որ դուք կհասնեք բարձր մակարդակի ճշգրտության ձեր տպագիր սխեմաների արտադրության մեջ:

Այս հեղափոխական տարրի միջոցով դուք կարող եք անխափան կերպով փոխանցել բարձր լուծաչափի պատկերը արտադրանքի վրա՝ օգտագործելով ֆոտոլիտոգրաֆիա: Այս մեքենան երաշխավորում է ճշգրտությունը՝ նյութը պատկերին համապատասխանեցնելու գործառնական համակարգի միջոցով:

Նկարները տպագրվելուց և վերբեռնվելուց հետո մեքենան հաշվարկում է բացահայտման պահանջվող քանակությունը և ինչպես է նյութը համընկնում նկարների հիշատակմանը: Այս հաշվարկը կատարվում է օգտագործելով վերջին համակարգչային ծրագրակազմը, որը կարող է թարմացվել արտադրական արդյունաբերության տեխնոլոգիական զարգացմանը համապատասխանելու համար:

Այն թույլ կտա ստեղծել լայն տեսականի, ներառյալ միկրոսխեմաներ, ռադիոհաճախականության (RF) սխեմաներ և ներկառուցված սխեմաներ: Միավորը կարող է արտադրել լավագույն փորագրման խորությունը, ուղու լայնությունը և շերտ-շերտ հավասարեցումը տարբեր լրացուցիչ պրոցեդուրաների ավելացման միջոցով, ինչպիսիք են քիմիական փորագրումը և էլեկտրապատումը:

Մեր արտադրանքի առավելությունը կայանում է նրանում, որ նա կարող է բարձր հավասարեցում ստեղծել, ինչը երաշխավորում է, որ նախշերը տեղադրվում են նյութի վրա մեծ ճշգրտությամբ: Դուք կարող եք հեշտությամբ տպել բազմաթիվ բարդ նմուշներ՝ առանց որևէ դեֆորմացիայի:

Այն հարմար է օգտագործողի համար, կոմպակտ և արդյունավետ, ինչը հարմար է դարձնում տարբեր արտադրական օբյեկտների կամ ընկերության չափսերի համար: Բացի այդ, մեր սարքը տրամադրում է ձեռքով սպասարկում և տեղում ուսուցում տեխնիկական աջակցության անձնակազմի մեր թիմի հետ:

Minder-Hightech's Aligner/Alignment Machine-ն օգտագործում է ֆոտոլիտոգրաֆիայի տեխնոլոգիա՝ օգնելու ձեզ հասնել լավագույն արդյունքների ձեր սխեմաները տպելիս: Փորձեք նոր մակարդակի տեխնոլոգիա, որն առաջարկում է ձեզ բարձր ճշգրտություն և ճշգրտություն, որը չի կարող համադրվել տպագրության ավանդական մեթոդների հետ: Minder-Hightech's Aligner/Alignment Machine-ն այն է, ինչ անհրաժեշտ է ձեր արտադրական ընկերությանը՝ մրցակիցներից մեկ քայլ առաջ մնալու համար: Կապվեք մեզ հետ այսօր՝ վայելելու շուկայում լավագույն Aligner/Alignment Machine տեխնոլոգիայի առավելությունները: