ASKING DESCUM photoresist remover ICP Dry Plasma Photoresist Removal Machine , Չինաստան ASKING DESCUM photoresist remover ICP Dry Plasma Photoresist Removal Machine Manufacturers, Suppliers, Factory

Նկարագրություն

ICP չոր պլազմայի ֆոտոռեզիստական հեռացման մեքենա

ICP չոր պլազմային ֆոտոռեսիստների հեռացման մեքենան հիմնականում օգտագործվում է պոլիմերների հեռացման, ASHING, DESCUM, ֆոտոռեսիստների հեռացում իոնների իմպլանտացիայից հետո և մակերեսային մնացորդների հեռացման համար: Խոռոչը հարմար է 4-8 դյույմ նմուշների համար, 1-2 կտոր մշակված մեկ պրոցեսի մեջ:

ՄՈԽԽԻՐՈՒՄ
Պոլիմերների հեռացում
Կոշտ դիմակի շերտի չոր հեռացում
Ֆոտոդիմակայության հեռացում իոնային իմպլանտացիայից հետո
Ֆոտոդիմակայության հեռացում BAW/SAW գործընթացում
Հակառեֆլեկտիվ գրաֆիկական թաղանթի չոր մաքրում
Մակերեւույթի մնացորդների հեռացում
Մակերեւույթի մաքրում փորագրումից հետո
DESCUM

ASKING DESCUM photoresist հեռացման ICP Dry Plasma Photoresist Removal Machine մանրամասները

ASKING DESCUM photoresist հեռացում ICP Dry Plasma Photoresist Removal Machine գործարան

մասնագիր

ՊԼԱMAՄԱ			RF	RF
Ուժ	ICP	1000w	1000w
Ուժ		ԲԻԱՍ	600 վտ (տարբերակ)	600 վտ (տարբերակ)
Կիրառելի շրջանակ			4~8 մ	4~8 մ
Մեկ մշակման կտորների հաշվարկ			1	2
Արտաքին տեսքի չափերը			1080x1840x1800mm	1340x2050x1800mm
Համակարգի կառավարում			Արդյունաբերական հսկողության համակարգ	Արդյունաբերական հսկողության համակարգ
Ավտոմատացման մակարդակ			ավտոմատ	ավտոմատ