Հարցում DESCUM լուսաբանական ռեզիստի հեռացման ICP 斡旋 Plasma լուսաբանական ռեզիստի հեռացման մաքինա , China Հարցում DESCUM լուսաբանական ռեզիստի հեռացման ICP 斡旋 Plasma լուսաբանական ռեզիստի հեռացման մաքինա Manufacturers, Suppliers, Factory

Ապարատի Նկարագրություն

ICP կարգավոր պլազմա ֆոտոռեզիստ հեռացման մեքենա

ICP կարգավոր պլազմա ֆոտոռեզիստ հեռացման մեքենան օգտագործվում է բազմության հեռացման համար, ASHING, DESCUM, ֆոտոռեզիստի հեռացում իոնային ներդրման հետևում, և մակերեսի մնացորդների հեռացում։ Գունդը համապատասխանում է 4-8 դյույմամիջին մուտքագրումներին, մի գործողության ժամանակ մշակելով 1-2 հատ։

ASHING
Պոլիմերի հեռացում
Հատուկ շերտի 干货 հեռացում
Իոնային դնումից հետո ֆոտոռեզիստի հեռացում
BAW/SAW գործընթացում ֆոտոռեզիստի հեռացում
Անտիրեֆլեքսիվ գրաֆիկական մակուրդի համար խառնապաշարություն
Մակերևույթի մնացորդների հեռացում
Էտչինգից հետո մակերևույթի կLEANing
DESCUM

ASKING DESCUM photoresist removal ICP Dry Plasma Photoresist Removal Machine details

ASKING DESCUM photoresist removal ICP Dry Plasma Photoresist Removal Machine factory

Տехնիկ 특성

ՊԼԱԶՄԱ			RF	RF
Էներգիա	ICP	1000W	1000W
Էներգիա		BIAS	600w(option)	600w(option)
Օգտագործելու շրջակայք			4~8 դյույմ	4~8 դյույմ
Միայն մշակում սահմանափակություն			1	2
Արտահայտության չափեր			1080x1840x1800mm	1340x2050x1800mm
Սիստեմային կառավարում			Համալիրական կառավարման համակարգ	Համալիրական կառավարման համակարգ
Ավտոմատացման մակարդակ			ավտոմատ	ավտոմատ