Ավտոմատ միապատ սանդվիչի քիմիական մեխանիկական լավագույն հավասարակշռություն CMP , China Ավտոմատ միապատ սանդվիչի քիմիական մեխանիկական լավագույն հավասարակշռություն CMP Manufacturers, Suppliers, Factory

Ապարատի Նկարագրություն

ATOM Single Platen CMP

Մաքինայի 특징

Սարքը շեփումն է և կարող է աջակցել բազմաթիվ գլխեր:
Սարքի պրոցեսային կարողությունը մոտենում է նույն չափի արտադրանքների հիմնական մոդելի մակարդակին:
Գործիքների միջև լավ համատեղափոխություն:

Դիմումի դաշտեր

4-8 դյում -STI, ILD/IMD, TSV, TGV կաթարում և մակերեսի կաթարում նման բաղադրություններից SiC, LT, LN, GaAs և այլն

Техничесկեան պարամետրերը

4 դյում, 6 դյում, 8 դյում գլխեր, բազմատարածության կառավարում
Տիպը Φ20 դյում 508MM Գլան
Գլխի ճնշքի կառավարման ճշգրտություն<0.05PSI
Գլխի և Գլանի պտույտի արագության կառավարման ճշգրտություն<2RPM

1. LoadPort Միավոր

Պորտը կարող է փոխադրվել, որպեսզի Կասետը ներդրվի Qtank-ում, հեռացնելով Slurry կրիստալների ձևավորումը
կաթարված մակերեսի վրա Wafer-ի: Արտակցված է Cassette Mapping ֆունկցիայով.

2. Ռոբոտային նյութերի վերցնող միավոր

Արտակցված է 4-առանցյալ ռոբոտով, որը կարող է ավտոմատացրել wafer-ների տեղափոխումը Cassette-ից կաթարման միավորին.

3. Հետեւեք Լուսանկարչական միավոր

Այս միավորը հագեցած է Platen * 1, Head * 1, PC *
1, Slurry Arm * 1, HCLU * 1 եւ EPD եզրակացության կետ
հայտնաբերման: Այն կարող է հասնել ավտոմատ wafer լիցքավորման եւ բեռնաթափման, բազմա գոտի գլխի վերահսկողության, Slurry
վայրէջքի կետը փոխվում է Recipe պարամետրերով, վերջնական կետի հայտնաբերմամբ եւ այլ գործառույթներով:

CMP լվացքի գլուխ

Այս սարքի վրա տեղադրված լվացքի գլուխները բոլորն էլ մշակված են, նախագծված եւ արտադրված մեր ընկերության կողմից:
Նրանցից 4-դյույմանոց 3-կաղի գլխավորը մեր ընկերության ստեղծած եզակի արտադրանքն է, որը լրացնում է Չինաստանում չկան բազմակաղի 4-դյույմանոց գլխավորի բացը: Մեր ընկերությունը կարող է արագորեն փոփոխել կամ հարմարեցնել գլխավորը ըստ հաճախորդի արտադրանքի բնութագրերի: TGV նուրբ կաղապարով (200 մ) արտադրանքի մշակման ժամանակ գլխի ներքին կառուցվածքը փոփոխվել է նուրբ կաղապարով լվացման պահանջներին համապատասխանելու համար: LN մակերեսային OX լվացման տեխնոլոգիայի զարգացման գործընթացում մեր ընկերությունը խորապես բարելավեց 6-դյույմանոց գլխավորը եւ հաջողությամբ բավարարեց հաճախորդի արտադրանքի պահանջները:

Դիմումներ

프로그레시브 IC հարթացում և լեզվագիտական գործընթաց;

TGV / TSV գործընթաց;

Սմարտ Կատ և Pre bonding CMP;

SIC հիմքի լեզվագիտական / գալիում արսենիդ լեզվագիտական.

Տехնիկ 특성

Պորտ	Քանակ * 1, Q-տանկով
Ռոբոտ	Քանակ * 1, շեղողական փոխանցումի համար
ՀCLU	Քանակ * 1, ավտոմատ բեռնում և դուրս բեռնում շեղողականների համար
Լեզվագիտական գլուխ	Քանակ * 13 սենյակի կառավարում, կառավարման ճշգրտություն 0.1PSI, կարող է սպասել 400-1200 ՄԻԿՐՈՄԵՏՐ շեղողականների գործողություններ։
Երկարացնող գլխի արագություն	5-150RPM
Փայլեցնող սկավառակ	Քանակ * 1 Երկարացնող Դիսկի Ծավալ 508մմ, Երկարացնող Պադի Արագություն 10-150rpm.
Կտրելու ձեռնարկ	Քանակ * 1 երկարացնող պադ։ Երկարացնող պադը կարող է երկարացնել oline (համատեղ) կամ offline (երկարացման հետո)։ Կտրելու ձեռնարկը հավաքված է կտրելու առանցքով, որը կարող է պտտվել և շարժվել վերև և ներքև, իսկ արագությունը և ներքև ճնշումը կարող է կառավարվել։ Կտրելու գործիքը տեղադրված է կտրելու առանցքի վրա և կարող է արագորեն հանվել։ Երկարացնող պադի տարբեր տիպերին համապատասխան, տարբեր տիպերի համաձայնոցների գործիքներ են տեղադրված, ներառյալ համաձայնոցների սուրներ, արարող օղակներ և արարող դիսկեր։
UPA երկարացնող գլխի օդի ճնշումի կառավարման միավոր	Քանակ * 13 ZONE կարգավորելի է լավագույն մակերևույթի հարթացման արդյունքի համար
Լեզվացման հեղուկի սպառող качուն	Քանակ * 2. Պերիստալտիկ качուններ օգտագործվում են հեղուկի սպառման համար, կարգավորված են 2 պերիստալտիկ качուններ՝ տարբեր լեզվացման հեղուկներ տալու համար լեզվացման շրջանակին։ Յուրաքանչյուր качուն կարող է օգտագործվել պրոցեսի ցանկացած քայլում։ հեղուկներ տալու համար լեզվացման շրջանակին։ Յուրաքանչյուր качուն կարող է օգտագործվել պրոցեսի ցանկացած քայլում։
Սլարի ձեռն	Քանակ * 1-ը կարող է կառավարել սլարի նախատեսված կետը և կարող է լցնել լեզվացման պադը։
Օպերացիոն կառավարման համակարգը կարող է իրականացնել օգտագործողի մակարդակի կառավարում, օրինակ՝ օպերատորի โրդ, պահուստի ուղղություն և տեխնիկական ուղղություն, և տարբեր ուղղությունները կառավարվում են գաղտնաբառերով։ Համակարգի սոֆտվերը կարող է խմբագրել պրոցեսի յուրաքանչյուր քայլի պրոցեսային պարամետրերը և հարթացնել և լեզվացնել սենսորի մակերևույթի փաթեթը պրոգրամմին համաձայն։ Կարող է հետադարձ կապով մոնիտոր արարած սարքերի պարամետրերը, և սոֆտվերը կարող է ավտոմատ պահել տարբեր պրոցեսային տվյալներ։ Արտակարգ կանգնում կարգավորված է լեզվացնել սենսորի մակերևույթի փաթեթը պրոգրամմին համաձայն։ Կարող է հետադարձ կապով մոնիտոր արարած սարքերի պարամետրերը, և սոֆտվերը կարող է ավտոմատ պահել տարբեր պրոցեսային տվյալներ։ Արտակարգ կանգնում կարգավորված է պրոցեսային տվյալներ։ Արտակարգ կանգնում կարգավորված է կոճակ, որը օգտագործվում է նպատակահայտ դրությունից դուրս գալու և կատարել կառավարման էլեկտրական ուժի սահք։

Պակետավորում և առաքելություն

Կոմպանիայի պրոֆիլ

Հաճախ տրամադրվող հարցեր

1. Գինի Մասին:
Երբեմն մեր գիները համապատասխան են և կարող են քննարկվել: Գինը փոխվում է սարքի և ձեր սարքի պարամետրերի կամ անհրաժեշտ կայունության կախվածության.

2. Սամպլի Մասին:
Կարող ենք ձեզ առաջարկել սամպլ սարքի սերվիս, բայց կարող է պահանջվել մի քանի վճարում։

3. Վճարման մասին:
Պլանը հաստատելուց հետո, ձեզ պետք է առաջնային վճարում կատարել, և ապա գործ UsersController՝ սկսեն պատրաստել ապարատները։ Ապարատը պատրաստվելուց հետո, երբ դուք վճարում եք մնացորդը, մենք այն ուղարկում ենք։
ապարատը պատրաստվելուց հետո, երբ դուք վճարում եք մնացորդը, մենք այն ուղարկում ենք։

4. Դուրսագրման մասին:
Ապարատականի ստեղծման վերջում, մենք կուղարկենք դուրսբերման տեսանյութը, դուք նաև կարող եք գալ դեպի կայան և ստուգել ապարատականը։

5. Ինստալյացիա և տեսականում:
Երեք օրում սարքելու հաջողությունը ձեզ տալիս է հավանաբար դադարելու հնարավորություն, մենք կարող ենք ուղարկել ինժեներն սարքելու և դեբագ արելու համար։ Այս սպասարկման ծախսի համար մենք ձեզ կտանք առացկացված գնահատական։

6. Գարանտիայի մասին:
Մեր սարքերը ունեն 12 ամիսանոց warranty period։ Warranty-ից հետո, եթե որևէ մասերն արդյոք վարդագրվեն և պետք է փոխվեն, մենք կավարտենք միայն արժեքի գնահատականը։

Սկզբնական էջ

Մեր մասին

MH Equipment

Հաղորդում

Երկիրացի Օգտագործողներ

Տեսանյութ

Կապվեք մեզ հետ

Ավտոմատ միապատ սանդվիչի քիմիական մեխանիկական լավագույն հավասարակշռություն CMP

Մաքինայի 특징

Դիմումի դաշտեր

Техничесկեան պարամետրերը

1. LoadPort Միավոր

2. Ռոբոտային նյութերի վերցնող միավոր

3. Հետեւեք Լուսանկարչական միավոր

Ավելի շատ ապրանքներ

MD-FS շարքի կապացիտորների վորոշման մաքինա

MD-FDS շարքի ավտոմատ կապացիտորների վորոշման մաքինա

MD-EFS շարքի կապացիտորների վորոշման մաքինա

MD-EDFS շարքի ֆիլմ կապացիտորների վորոշման մաքինա

Հարցում

Articles

Products

Get In Touch

Ավտոմատ միապատ սանդվիչի քիմիական մեխանիկական լավագույն հավասարակշռություն CMP

Մաքինայի 특징

Դիմումի դաշտեր

Техничесկեան պարամետրերը

1. LoadPort Միավոր

2. Ռոբոտային նյութերի վերցնող միավոր

3. Հետեւեք Լուսանկարչական միավոր

Ավելի շատ ապրանքներ

Հարցում

Articles

Products

Get In Touch

ԿԱՊԸ ԵՆԴ ՏOUCH