Automatic Single Platen Wafer Chemical Mechanical Polisher CMP , Չինաստան Automatic Single Platen Wafer Chemical Mechanical Polisher CMP Արտադրողներ, մատակարարներ, գործարան

Նկարագրություն

ATOM Single Platen CMP

Մեքենայի առանձնահատկությունները

Սարքը ճկուն է և կարող է աջակցել մի քանի գլուխների:
Սարքավորման գործընթացի հնարավորությունը մոտ է նույն չափի արտադրանքի հիմնական մոդելի մակարդակին:
Միջսարքի գործընթացի լավ հետևողականություն:

Դիմում Fields

4-8 դյույմ STI, ILD/IMD, TSV, TGV փայլեցում և միացությունների մակերեսային փայլեցում, ինչպիսիք են SiC, LT, LN, GaAs և այլն:

Տեխնիկական պարամետրերը

4 դյույմ, 6 դյույմ, 8 դյույմ գլուխներ, բազմազոնային կառավարում
Ֆ20 դյույմ 508 մմ ափսեի տեսակը
Գլխի ճնշման վերահսկման ճշգրտությունը<0.05PSI
Գլխի և ափսեի պտտման արագության վերահսկման ճշգրտություն<2RPM

արտադրանքի ավտոմատ մեկ տախտակ վաֆլի քիմիական մեխանիկական փայլեցնող cmp-53

1. LoadPort միավոր

Նավահանգիստը կարող է շրջվել՝ ձայներիզը Qtank-ի մեջ ընկղմելու համար՝ խուսափելով Slurry բյուրեղների ձևավորումից
Վաֆլի փայլեցված մակերեսը: Հագեցած է Cassette Mapping ֆունկցիայով:

արտադրանքի ավտոմատ մեկ տախտակ վաֆլի քիմիական մեխանիկական փայլեցնող cmp-54

2. Ռոբոտնյութերի որոնման միավոր

Հագեցած է 4 առանցքանի ռոբոտով, այն կարող է ավտոմատ կերպով վաֆլիներ փոխանցել Կասետից փայլեցնող սարք:

արտադրանքի ավտոմատ մեկ տախտակ վաֆլի քիմիական մեխանիկական փայլեցնող cmp-55

3. Փայլեցնող միավոր

Այս միավորը հագեցած է Platen * 1, Head * 1, PC *
1, Slurry Arm * 1, HCLU * 1 և EPD վերջնակետ
հայտնաբերում. Այն կարող է հասնել վաֆլի ավտոմատ բեռնման և բեռնաթափման, բազմագոտի գլխի հսկողության, Slurry-ի
վայրէջքի կետը փոխվում է Recipe-ի կարգավորումներով, վերջնակետի հայտնաբերմամբ և այլ գործառույթներով:

արտադրանքի ավտոմատ մեկ տախտակ վաֆլի քիմիական մեխանիկական փայլեցնող cmp-56

CMP Polisher ղեկավար

Այս սարքի վրա կազմաձևված փայլեցնող գլուխները բոլորն էլ անկախ մշակված, նախագծված և արտադրված են մեր ընկերության կողմից:
Դրանցից 4 դյույմանոց 3-խոռոչի գլուխը մեր ընկերության կողմից ստեղծված եզակի արտադրանք է, որը լրացնում է Չինաստանում 4 դյույմանոց ոչ մի քանի խոռոչի գլխիկի բացը: Մեր ընկերությունը կարող է արագ փոփոխել կամ հարմարեցնել Ղեկավարը՝ ըստ հաճախորդի արտադրանքի բնութագրերի: TGV բարակ թաղանթով (200um) արտադրանքի մշակման ժամանակ գլխի ներքին կառուցվածքը փոփոխվել է բարակ թաղանթի փայլեցման պահանջներին համապատասխան: LN մակերեսի OX փայլեցման տեխնոլոգիայի մշակման ընթացքում մեր ընկերությունը խորապես թարմացրել է 6 դյույմանոց գլխիկը և հաջողությամբ բավարարել հաճախորդի արտադրանքի պահանջները:

արտադրանքի ավտոմատ մեկ տախտակ վաֆլի քիմիական մեխանիկական փայլեցնող cmp-57

Ծրագրեր

Ավանդական IC հարթեցման փայլեցման գործընթաց;

TGV/TSV գործընթաց;

Խելացի կտրում և նախնական կապակցում CMP;

SIC ենթաշերտի փայլեցում/գալիումի արսենիդային փայլեցում:

արտադրանքի ավտոմատ մեկ տախտակ վաֆլի քիմիական մեխանիկական փայլեցնող cmp-58

մասնագիր

Նավահանգիստ	Քանակ * 1, Q-tank-ով
Մարդու վարքը	Քանակ * 1, վաֆլի փոխանցման համար
HCLU	Քանակ * 1, վաֆլի ավտոմատ բեռնման և բեռնաթափման համար
Փայլեցնող գլուխ	Քանակ * 13 խոռոչի հսկողություն, 0.1PSI հսկողության ճշգրտություն, կարող է աջակցել 400-1200 UM վաֆլի գործողություններ:
Փայլեցնող գլխի արագություն	5-150RPM
Փայլեցնող սկավառակ	Քանակ * 1 փայլեցնող սկավառակի չափ 508 մմ, փայլեցման բարձիկի արագություն 10-150 պտ/րոպ.
Կտրող թեւ	Քանակ * 1 փայլեցնող բարձիկ։ Փայլեցնող բարձիկը կարելի է փայլեցնել առցանց (միաժամանակ) կամ օֆլայն (փայլեցնելուց հետո): Հարդարումը թեւը հագեցած է կտրող լիսեռով, որը կարող է պտտվել և շարժվել վեր ու վար, իսկ արագությունն ու անկման ուժը կարելի է կառավարել: Այն կտրող գործիքը տեղադրված է կտրող լիսեռի վրա և կարող է արագ լինել հեռացվել է. Համաձայն փայլեցնող բարձիկների տարբեր տեսակների, կազմաձևվում են տարբեր տեսակի հագնվելու գործիքներ, ներառյալ վիրակապը խոզանակներ, ադամանդե օղակներ և ադամանդե սկավառակներ:
UPA փայլեցնող գլխի օդի ճնշման կառավարման միավոր	Քանակ * 13Zone կարգավորելի մակերեսի ավելի լավ հարթեցման էֆեկտի համար
Փայլեցնող հեղուկի մատակարարման պոմպ	Քանակ * 2. Պերիստալտիկ պոմպերը օգտագործվում են հեղուկի մատակարարման համար, 2 պերիստալտիկ պոմպերով, որոնք կազմաձևված են տարբեր փայլեցման համար: հեղուկներ փայլեցնող սկավառակի վրա: Յուրաքանչյուր պոմպ կարող է օգտագործվել գործընթացի ցանկացած փուլում:
Սլյուռ Արմ	Քանակը * 1 կարող է վերահսկել ցեխի վայրէջքի կետը և կարող է մաքրել փայլեցնող բարձիկը:
Գործողության կառավարման համակարգը կարող է հասնել օգտագործողի մակարդակի վերահսկման, ինչպիսիք են օպերատորի ռեժիմը, պահպանման ռեժիմը և տեխնիկական ռեժիմը և var ious ռեժիմները վերահսկվում են գաղտնաբառերով: Համակարգի ծրագրաշարը կարող է խմբագրել գործընթացի յուրաքանչյուր քայլի գործընթացի պարամետրերը և հարթեցնել և փայլեցրեք բարակ թաղանթը չիպի մակերեսին ըստ ծրագրի: Այն կարող է վերահսկել սարքավորումների շահագործման կարգավիճակը, մոնիտորը գործընթացի պարամետրերը իրական ժամանակում, և ծրագրաշարը կարող է ավտոմատ կերպով պահել գործընթացի տարբեր տվյալներ: Ապահովված է վթարային կանգառով կոճակ, որն օգտագործվում է սարքավորումների շահագործումն անմիջապես դադարեցնելու և հսկիչ հզորությունը անջատելու համար:

Փաթեթավորում և առաքում

արտադրանքի ավտոմատ մեկ տախտակ վաֆլի քիմիական մեխանիկական փայլեցնող cmp-59

արտադրանքի ավտոմատ մեկ տախտակ վաֆլի քիմիական մեխանիկական փայլեցնող cmp-60

Կազմակերպության ինֆորմացիա անձնագիրը

FAQ

1. Գնի մասին:
Մեր բոլոր գները մրցունակ են և սակարկելի: Գինը տատանվում է՝ կախված ձեր սարքի կոնֆիգուրացիայից և հարմարեցման բարդությունից:

2. Նմուշի մասին.
Մենք կարող ենք ձեզ համար տրամադրել օրինակելի արտադրության ծառայություններ, բայց դուք կարող եք որոշակի վճարներ տրամադրել:

3. Վճարման մասին:
Պլանի հաստատումից հետո դուք նախ պետք է մեզ ավանդ վճարեք, և գործարանը կսկսի պատրաստել ապրանքները: Այն բանից հետո, երբ
սարքավորումները պատրաստ են, և դուք վճարում եք մնացորդը, մենք կառաքենք այն:

4. Առաքման մասին.
Սարքավորումների արտադրության ավարտից հետո մենք ձեզ կուղարկենք ընդունման տեսանյութը, և դուք կարող եք նաև գալ կայք՝ սարքավորումները ստուգելու համար:

5. Տեղադրում և վրիպազերծում.
Սարքավորումը ձեր գործարան հասնելուց հետո մենք կարող ենք ուղարկել ինժեներներ՝ սարքավորումները տեղադրելու և վրիպազերծելու համար: Մենք ձեզ կտրամադրենք առանձին գնանշում այս ծառայության վճարի համար:

6. Երաշխիքի մասին.
Մեր սարքավորումն ունի 12 ամիս երաշխիքային ժամկետ։ Երաշխիքային ժամկետից հետո, եթե որևէ դետալ վնասված է և փոխարինման կարիք ունի, մենք կգանձենք միայն ինքնարժեքը: