RTD Վաֆերը ջերմության սենսոր են, որոնք օգտագործում են հատուկ մշակողական տեխնոլոգիաներ դեպի ջերմության սենսորների (RTDs) ներդրում վաֆերի մակերևույթի որոշակի տեղերում, թույլատրելով վաֆերի մակերևույթի ջերմությունը չափել իրական ժամանակում:
Իրական ջերմության չափումներ վաֆերի որոշակի տեղերում և վաֆերի ընդհանուր ջերմության բաշխումը կարող է ստացվել RTD Վաֆերի միջոցով: Դա նաև կարող է օգտագործվել վաֆերի ժառանգման գործընթացի ընթացքում տարածվող ջերմության փոփոխությունների անընդհատ հետազոտման համար: