ICP dry Plasma Removal of Photoresist / Plasma Photoresist remover (PR) machine for semiconductor wafer , Չինաստան ICP dry Plasma Removal of Photoresist / Plasma Photoresist remove (PR) machine for semiconductor wafer Manufacturers, Suppliers, Factory

Նկարագրություն

ICP PLASMA Remove Photoresist Machine

ՄՈԽԽԻՐՈՒՄ
Պոլիմերների հեռացում
Կոշտ դիմակի շերտի չոր հեռացում
Ֆոտոդիմակայության հեռացում իոնային իմպլանտացիայից հետո
Ֆոտոդիմակայության հեռացում BAW/SAW գործընթացում
Հակառեֆլեկտիվ գրաֆիկական թաղանթի չոր մաքրում
Մակերեւույթի մնացորդների հեռացում
Մակերեւույթի մաքրում փորագրումից հետո
DESCUM

ICP չոր պլազմայի ֆոտոռեզիստական հեռացման մեքենան հարմար է DESCUM-ի համար (նախամշակում, ֆոտոռեզիստական մնացորդի հեռացում) Պոլիմերների հեռացում (PI, BCB, PBO) Իոնների իմպլանտացիայից, ֆոտոռեզիստենտի հեռացումից և այլն, խոռոչը հարմար է 8 դյույմանոց նմուշների համար (4): -6 դյույմ համատեղելի)

ICP dry Plasma Removal of Photoresist / Plasma Photoresist հեռացման (PR) մեքենա կիսահաղորդչային վաֆլի մանրամասների համար

ICP dry Plasma Removal of Photoresist / Plasma Photoresist հեռացման (PR) մեքենա կիսահաղորդչային վաֆլի մատակարարի համար

ICP չոր պլազմայի հեռացում ֆոտոռեսիստ / պլազմայի ֆոտոռեզիստի հեռացման (PR) մեքենա կիսահաղորդչային վաֆլի արտադրության համար

ICP dry Plasma Removal of Photoresist / Plasma Photoresist հեռացման (PR) մեքենա կիսահաղորդչային վաֆլի գործարանի համար

մասնագիր

ՊԼԱMAՄԱ			RF	RF
Ուժ	ICP	1000w	1000w
Ուժ		ԲԻԱՍ	600 վտ (տարբերակ)	600 վտ (տարբերակ)
Կիրառելի շրջանակ			4-8 դյույմ	4-8 դյույմ
Մեկ մշակման կտորների հաշվարկ			1	2
Արտաքին տեսքի չափերը			1080x1840x1800mm	1340x2050x1800mm
Համակարգի կառավարում			Արդյունաբերական հսկողության համակարգ	Արդյունաբերական հսկողության համակարգ
Ավտոմատացման մակարդակ			ավտոմատ	ավտոմատ