կառուցվածք |
պարզաբանել |
Բացահայտելով սալիկը |
Էքսպոզիցիոն տարածք՝ սալաքար, ենթաշերտի տեղադրման տարածք |
Օպտիկական համակարգ |
Լազերային արտանետումների կաղապարման տարածք |
Բնապահպանական վերահսկողության համակարգ |
Վերահսկեք սարքի ներքին ջերմաստիճանը և դրական ճնշումը |
Պլատֆորմ համակարգ |
Վերահսկում է բացահայտման աղյուսակի շարժումը՝ բացահայտման ուղու աշխատանքը ավարտելու համար |
Control համակարգը |
Ամբողջ սարքավորումների կառավարման համակարգ |
Ոչ. |
միջավայր |
Պահանջել |
1 |
Լույսի աղբյուրի միջավայր |
Դեղին լույս |
2 |
ջերմաստիճան |
22 ℃ ± 2 |
3 |
Խոնավություն |
50% ± 10% |
4 |
Մաքրություն |
1000 |
5 |
ADC |
0.6±0.1Mpa, 200LPM, չոր, մաքուր օդ |
6 |
Սնուցման սարքեր |
220 ~ 240 Վ, 50/60 Հց, 2.5 ԿՎտ, հողային լարը պետք է հիմնավորված լինի. |
7 |
հովացման ջրի |
Ջերմաստիճանը՝ 10℃ ~ 20℃ Ճնշում: 0.3 ՄՊա ~ 0.5 ՄՊա Հոսքի արագություն՝ 20 լ/րոպե Ճնշման տարբերություն՝ 0.3 ՄՊա Վերցրեք տրամաչափը՝ Rc3/8 |
8 |
Վայրը, |
Մակարդակ: ± 3 մմ / 3000 մմ ցնցում: VC-B առանցքակալ: 750 կգ / ㎡ |
10 |
Ինտերնետ |
Մեկ ցանցային նավահանգիստ |
11 |
Machine չափը |
1300 * 1100 * 2100mm |
12 |
Սարքի քաշը |
1500kg |
Ոչ. |
Նախագիծ |
Հատուկ. |
Դիտողություն անել |
1 |
որոշում |
0.6um/կամ այլ պահանջ |
AZ703, AZ1350 |
2 |
CDU |
±10%@1ում |
|
3 |
Ենթաշերտի հաստությունը |
0.2 մմ-4 մմ |
|
4 |
Ամսաթվերի ցանցի ճշգրտությունը |
60nm |
|
5 |
Կափարիչ |
± 500nm |
130mmx130mm |
6 |
Կարի ճշգրտությունը |
± 200nm |
AZ703 |
7 |
ՄԱՔՍ ազդեցության չափը |
190X190mm |
|
8 |
Ընդունակությունը |
≥300 մմ2/րոպե |
≤50 մջ/սմ2; |
9 |
Լույսի աղբյուր |
LD 375 նմ |
|
10 |
լույսի հզորություն |
6W |
|
11 |
Էներգիայի միատեսակություն |
≥ 95% |
|
12 |
թեթեւ կյանք |
10000hr |
Հեղինակային իրավունք © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Բոլոր իրավունքները պաշտպանված են