Վակուում պլազմայի հիմնական միավոր (100) |
||
Սարքի չափը |
L 1000×W 900×H 1750mm |
|
Քաշը |
500կգ |
|
Հարկավոր է էլեկտրական ներդրում: |
AC380V, 50/60Hz, 5 գծեր, 25A (C-ից ավել բաց տիպ) |
|
Պլազմայի գեներատորի նորմատիվ: |
||
Էներգիա |
ռադիո հաճախություն |
միջնակարգ հաճախություն |
0~600Վ |
0-1000Վ |
|
հաճախությունը տարածվող |
13.56Mhz |
40 Կ Հց |
Վակուումային համակարգ |
||
վակուում բամբեր |
Օվերֆլայտ պատշաճի պոմպ (օիլ պոմպ): 60 m3/h |
|
դատարկության տունել |
Ամբողջությամբ ռուստավորող գիծ, ինչպես նաև բարձր ուժով դատարկության կանացիկ |
|
Մատerial որակը |
alufer |
|
backpageսինթիկս |
25մմ |
|
ստիպում |
Բարձրագույն միջավայրական հաղորդագրության ստորագրություն |
|
/Internal բարձրությունը և չափերը/ |
450*450*500mm (լայն * բարձր * խորացուն) |
|
Էլեկտրական սալ эффեկտիվ չափեր |
322*351mm (լայն * խորացուն) |
|
Ազատ տարածքի միջակայք |
20մմ |
|
Ելեկտրոպլատին դիսպոզիցիա |
orizontal ադամանապլատ |
|
Սկուտեղներ |
Ստանդարտ սետ, նյութը optional (aluminum, steel wire mesh) |
|
աշխատանքային տարածք |
8 շերտ |
|
Պրոցեսային գազ |
||
Հոսանքի միջակայք |
0~300SCCM |
|
Պրոցեսային գազի ճանապարհ |
Ստանդարտը կարող է բավարարել երկու տարբերակների, կարելի է նաև պատutzerելու. Պրոցեսային գազի կանալն կառուցված է ֆերրոֆլոնից |
|
նավար |
||
SC |
PLC |
|
փոխադարձ โրդ |
7-ինչ 터քսկրին |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved