Վակուոմ պլազմայի հիմնական միավորը (100) |
||||
Սարքի չափը |
L 1000×W 900×H 1750mm |
|||
քաշը |
500կգ |
|||
Հարկավոր է էլեկտրական ներդրում: |
AC380V, 50/60Hz, 5 գծեր, 25A (C-ից ավել բաց տիպ) |
|||
Պլազմայի գեներատորի նորմատիվ: |
||||
էներգիա |
ռադիո հաճախություն |
միջնակարգ հաճախություն |
||
0~600Վ |
0-1000Վ |
|||
հաճախությունը տարածվող |
13.56Mhz |
40 Կ Հց |
||
Վակուումային համակարգ |
||||
վակուում բամբեր |
Օվերֆլայտ պատշաճի պոմպ (օիլ պոմպ): 60 m3/h |
|||
դատարկության տունել |
Ամբողջությամբ ռուստավորող գիծ, ինչպես նաև բարձր ուժով դատարկության կանացիկ |
|||
մատerial որակը |
alufer |
|||
backpageսինթիկս |
25մմ |
|||
ստիպում |
Բարձրագույն միջավայրական հաղորդագրության ստորագրություն |
|||
/Internal բարձրությունը և չափերը/ |
450*450*500mm (լայն * բարձր * խորացուն) |
|||
Էլեկտրական սալ эффեկտիվ չափեր |
322*351mm (լայն * խորացուն) |
|||
Ազատ տարածքի միջակայք |
20մմ |
|||
Ելեկտրոպլատին դիսպոզիցիա |
Orizontal ադամանապլատ |
|||
սկուտեղներ |
Ստանդարտ սետ, նյութը optional (aluminum, steel wire mesh) |
|||
աշխատանքային տարածք |
8 շերտ |
|||
պրոցեսային գազ |
||||
Հոսանքի միջակայք |
0~300SCCM |
|||
Պրոցեսային գազի ճանապարհ |
Ստանդարտը կարող է բավարարել երկու տարբերակների, կարելի է նաև պատutzerելու. Պրոցեսային գազի կանալն կառուցված է ֆերրոֆլոնից |
|||
նավար |
||||
SC |
PLC |
|||
փոխադարձ โրդ |
7-ինչ 터քսկրին |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved