|
Վակուում պլազմայի հիմնական միավոր （150） |
||
|
Սարքի չափը |
L 1100×W 940×H 1755մմ |
|
|
Քաշը |
600 կգ |
|
|
Հարկավոր է էլեկտրական ներդրում: |
AC380V, 50/60Hz, 5 գծեր, 25A (C-ից ավել բաց տիպ) |
|
|
Պլազմայի գեներատորի նորմատիվ: |
||
|
Էներգիա |
ռադիո հաճախություն |
միջնակարգ հաճախություն |
|
0~1000W |
0-2000W |
|
|
հաճախությունը տարածվող |
13.56Mhz |
40 Կ Հց |
|
Վակուումային համակարգ |
||
|
վակուում բամբեր |
Leap մոնոպոլ кач VSV 65 + Bowse Lots Pump BSJ 70 |
|
|
դատարկության տունել |
Ամբողջությամբ ռուստավորող գիծ, ինչպես նաև բարձր ուժով դատարկության կանացիկ |
|
|
Մատerial որակը |
alufer |
|
|
backpageսինթիկս |
25մմ |
|
|
ստիպում |
Բարձրագույն միջավայրական հաղորդագրության ստորագրություն |
|
|
/Internal բարձրությունը և չափերը/ |
500*500*600mm （กว้าง * สูง * ลึก） |
|
|
Էլեկտրական սալ эффեկտիվ չափեր |
372（W） X 451(D)mm |
|
|
Ազատ տարածքի միջակայք |
24mm |
|
|
Ելեկտրոպլատին դիսպոզիցիա |
orizontal ադամանապլատ |
|
|
Սկուտեղներ |
Ստանդարտ սետ, նյութը optional (aluminum, steel wire mesh) |
|
|
աշխատանքային տարածք |
8 շերտ |
|
|
Պրոցեսային գազ |
||
|
Հոսանքի միջակայք |
0~300SCCM |
|
|
Պրոցեսային գազի ճանապարհ |
Ստանդարտը կարող է բավարարել երկու տարբերակների, կարելի է նաև պատutzerելու. Պրոցեսային գազի կանալն կառուցված է ֆերրոֆլոնից |
|
|
Կառավարման համակարգ |
||
|
SC |
PC կառավարում |
|
|
փոխադարձ โրդ |
Windows ինտերֆեյս |
|
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
