Վակուումային պլազմայի հիմնական միավորը (150) |
||||
Սարքի չափը |
L 1100×W 940×H 1755մմ |
|||
քաշը |
600 կգ |
|||
Հարկավոր է էլեկտրական ներդրում: |
AC380V, 50/60Hz, 5 գծեր, 25A (C-ից ավել բաց տիպ) |
|||
Պլազմայի գեներատորի նորմատիվ: |
||||
էներգիա |
ռադիո հաճախություն |
միջնակարգ հաճախություն |
||
0~1000W |
0-2000W |
|||
հաճախությունը տարածվող |
13.56Mhz |
40 Կ Հց |
||
Վակուումային համակարգ |
||||
վակուում բամբեր |
Leap մոնոպոլ кач VSV 65 + Bowse Lots Pump BSJ 70 |
|||
դատարկության տունել |
Ամբողջությամբ ռուստավորող գիծ, ինչպես նաև բարձր ուժով դատարկության կանացիկ |
|||
մատerial որակը |
alufer |
|||
backpageսինթիկս |
25մմ |
|||
ստիպում |
Բարձրագույն միջավայրական հաղորդագրության ստորագրություն |
|||
/Internal բարձրությունը և չափերը/ |
500*500*600mm (กว้าง * สูง * ลึก) |
|||
Էլեկտրական սալ эффեկտիվ չափեր |
372(W) X 451(D)mm |
|||
Ազատ տարածքի միջակայք |
24mm |
|||
Ելեկտրոպլատին դիսպոզիցիա |
Orizontal ադամանապլատ |
|||
սկուտեղներ |
Ստանդարտ սետ, նյութը optional (aluminum, steel wire mesh) |
|||
աշխատանքային տարածք |
8 շերտ |
|||
Պրոցեսային գազ |
||||
Հոսանքի միջակայք |
0~300SCCM |
|||
Պրոցեսային գազի ճանապարհ |
Ստանդարտը կարող է բավարարել երկու տարբերակների, կարելի է նաև պատutzerելու. Պրոցեսային գազի կանալն կառուցված է ֆերրոֆլոնից |
|||
Կառավարման համակարգ |
||||
SC |
PC կառավարում |
|||
փոխադարձ โրդ |
Windows ինտերֆեյս |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved