|
Վակումային պլազմայի հոստ （200） |
||
|
Սարքի չափը |
1050×1700×1050մմ(լայնություն, բարձրություն և խորություն) |
|
|
Քաշը |
800կգ |
|
|
պահանջվող էլեկտրակարգ |
AC380V,50/60Hz,5կոտորակ, 30A |
|
|
Սպեցիֆիկացիոն տվյալներ 플라զմա գեներատորի համար |
||
|
համակարգային էլեկտրական ուժ |
ռադիո հաճախություն |
Եթե |
|
0~1000W |
0-2000W |
|
|
Էլեկտրաէներգիայի հաճախություն |
13.56Mhz |
40 KHz |
|
Վակուումային համակարգ |
||
|
վակուում բամբեր |
Feiyue միածանց кач VSV100+Both Roots кач BSJ70 |
|
|
անջատող գործառույթ |
всички нержавеящи оцелови тръби и високопрочни вакуумни беличкови съединения |
|
|
Նյութ |
Ալյումինե Ալյո |
|
|
backpageսինթիկս |
25մմ |
|
|
ստիպում |
Բարձրագույն կարգի համալսարանային փակում |
|
|
Տարածքի ներքին չափումներ |
600×600×600մմ(กว×H×D) |
|
|
Ադամանապլատնի эффեկտիվ չափ |
472 X 451մմ (W×D) |
|
|
տարածք կա |
35mm |
|
|
Ադամանապլատի դիսպոզիցիա |
orizontal ադամանապլատ |
|
|
աշխատանքային piring |
Եრկու տիպից մեկը ստանդարտ է, և նյութը ընտրելի է (ալյումինի, metall ցանց) |
|
|
Աշխատանքային տարածություն |
8 հասցեր |
|
|
Պրոցեսային գազ |
||
|
Հոսանքի միջակայք |
0~300SCCM |
|
|
Պրոցեսային գազային շղթա |
Հավաքված O2, Ar, N2 եռականուն գազ |
|
|
Կառավարման համակարգ |
||
|
սիստեմային կառավարում |
PC կառավարում |
|
|
փոխադարձ โրդ |
Windows ինտերֆեյս |
|
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
