Վակուումային պլազմայի հոստինգի սարքը(200) |
||||
Սարքի չափը |
1050×1700×1050մմ (լայնություն, բարձրություն և խորություն) |
|||
քաշը |
800կգ |
|||
պահանջվող էլեկտրակարգ |
AC380V,50/60Hz,5կոտորակ, 30A |
|||
Սպեցիֆիկացիոն տվյալներ 플라զմա գեներատորի համար |
||||
համակարգային էլեկտրական ուժ |
ռադիո հաճախություն |
Եթե |
||
0~1000W |
0-2000W |
|||
Էլեկտրաէներգիայի հաճախություն |
13.56Mhz |
40 KHz |
||
Վակուումային համակարգ |
||||
վակուում բամբեր |
Feiyue միածանց кач VSV100+Both Roots кач BSJ70 |
|||
անջատող գործառույթ |
Всички нержавеящи оцелови тръби и високопрочни вакуумни беличкови съединения |
|||
նյութ |
Ալյումինե Ալյո |
|||
backpageսինթիկս |
25մմ |
|||
ստիպում |
Բարձրագույն կարգի համալսարանային փակում |
|||
Տարածքի ներքին չափումներ |
600×600×600մմ(กว×H×D) |
|||
Ադամանապլատնի эффեկտիվ չափ |
472 X 451մմ (W×D) |
|||
տարածք կա |
35mm |
|||
Ադամանապլատի դիսպոզիցիա |
Orizontal ադամանապլատ |
|||
աշխատանքային piring |
Եრկու տիպից մեկը ստանդարտ է, և նյութը ընտրելի է (ալյումինի, metall ցանց) |
|||
Աշխատանքային տարածություն |
8 հասցեր |
|||
Պրոցեսային գազ |
||||
Հոսանքի միջակայք |
0~300SCCM |
|||
Պրոցեսային գազային շղթա |
Հավաքված O2, Ar, N2 եռականուն գազ |
|||
Կառավարման համակարգ |
||||
սիստեմային կառավարում |
PC կառավարում |
|||
փոխադարձ โրդ |
Windows ինտերֆեյս |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved