|
Վակուումային պլազմայի հիմնական միավորը (60)
|
||||
|
Սարքի չափը
|
L 950×W 900×H 1650մմ
|
|||
|
Քաշը
|
350 կգ
|
|||
|
Հարկավոր է էլեկտրական ներդրում:
|
AC380V, 50/60Hz, 5 գիծ, 16A (C-ից վեր բոլորը բաց տիպի համար):
|
|||
|
Պլազմայի գեներատորի նորմատիվ:
|
||||
|
Էներգիա
|
ռադիո հաճախություն
|
միջնակարգ հաճախություն
|
||
|
0~600Վ
|
0-1000Վ
|
|||
|
հաճախությունը տարածվող
|
13.56Mhz
|
40 Կ Հց
|
||
|
Վակուումային համակարգ
|
||||
|
վակուում բամբեր
|
Երկուշարժ պատրաստիչ 唧筒 (օիլ պատրաստիչ): 40մ3/ժ
|
|||
|
դատարկության տունել
|
Ամբողջությամբ ռուստավորող գիծ, ինչպես նաև բարձր ուժով դատարկության կանացիկ
|
|||
|
Մատerial որակը
|
Ալյումինի համալloyություն (պատվերական ռուստավորող դեպի քավիտի)
|
|||
|
backpageսինթիկս
|
25մմ
|
|||
|
ստիպում
|
Բարձրագույն միջավայրական հաղորդագրության ստորագրություն
|
|||
|
/Internal բարձրությունը և չափերը/
|
375*375*430մմ (լայնք * բարձրություն * խորություն)
|
|||
|
Էլեկտրական սալ эффեկտիվ չափեր
|
247*281մմ (լայնք * խորություն)
|
|||
|
Ազատ տարածքի միջակայք
|
22mm
|
|||
|
Ելեկտրոպլատին դիսպոզիցիա
|
orizontal layout, can be active extraction
|
|||
|
Սկուտեղներ
|
Ստանդարտ սետ, նյութը optional (aluminum, steel wire mesh)
|
|||
|
աշխատանքային տարածք
|
6 շերտ
|
|||
|
Պրոցեսային գազ
|
||||
|
Հոսանքի միջակայք
|
0~300SCCM
|
|||
|
Պրոցեսային գազի ճանապարհ
|
Ստանդարտը կարող է բավարարել երկու տարբերակների, կարելի է նաև պատutzerելու. Պրոցեսային գազի կանալն կառուցված է ֆերրոֆլոնից
|
|||
|
նավար
|
||||
|
SC
|
PLC
|
|||
|
փոխադարձ โրդ
|
7-ինչ 터քսկրին
|
|||
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
