Վակուումային պլազմայի հիմնական միավորը (60) |
||||
Սարքի չափը |
L 950×W 900×H 1650մմ |
|||
քաշը |
350 կգ |
|||
Հարկավոր է էլեկտրական ներդրում: |
AC380V, 50/60Hz, 5 գիծ, 16A (C-ից վեր բոլորը բաց տիպի համար): |
|||
Պլազմայի գեներատորի նորմատիվ: |
||||
էներգիա |
ռադիո հաճախություն |
միջնակարգ հաճախություն |
||
0~600Վ |
0-1000Վ |
|||
հաճախությունը տարածվող |
13.56Mhz |
40 Կ Հց |
||
Վակուումային համակարգ |
||||
վակուում բամբեր |
Երկուշարժ պատրաստիչ 唧筒 (օիլ պատրաստիչ): 40մ3/ժ |
|||
դատարկության տունել |
Ամբողջությամբ ռուստավորող գիծ, ինչպես նաև բարձր ուժով դատարկության կանացիկ |
|||
մատerial որակը |
Ալյումինի համալloyություն (պատվերական ռուստավորող դեպի քավիտի) |
|||
backpageսինթիկս |
25մմ |
|||
ստիպում |
Բարձրագույն միջավայրական հաղորդագրության ստորագրություն |
|||
/Internal բարձրությունը և չափերը/ |
375*375*430մմ (լայնք * բարձրություն * խորություն) |
|||
Էլեկտրական սալ эффեկտիվ չափեր |
247*281մմ (լայնք * խորություն) |
|||
Ազատ տարածքի միջակայք |
22mm |
|||
Ելեկտրոպլատին դիսպոզիցիա |
Orizontal layout, can be active extraction |
|||
սկուտեղներ |
Ստանդարտ սետ, նյութը optional (aluminum, steel wire mesh) |
|||
աշխատանքային տարածք |
6 շերտ |
|||
պրոցեսային գազ |
||||
Հոսանքի միջակայք |
0~300SCCM |
|||
Պրոցեսային գազի ճանապարհ |
Ստանդարտը կարող է բավարարել երկու տարբերակների, կարելի է նաև պատutzerելու. Պրոցեսային գազի կանալն կառուցված է ֆերրոֆլոնից |
|||
նավար |
||||
SC |
PLC |
|||
փոխադարձ โրդ |
7-ինչ 터քսկրին |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved