1. Պաշտոնագրի ռեժիմը՝ Բեռնող ռոբոտը ավտոմատացված ձևով բեռնում է վայրենքները A-B (վերակիրառելի) վայրենքի տուփից նախնական դիրքավորման
աշխատանքային սեղան, և կամերայի դիրքի վահանումի միջոցով և ավտոմատ պտույտային համակարգի կարգավորումով, հասցենում է վահանումի նախնական դիրքավորումը: Ավտոմատացված ռոբոտական համակարգը ապա բեռնում է նախնական դիրքավորված վահանումները դիրքավորման աշխատանքային սեղանի վրա: Համակարգային պատկերի ճանաչումից և ավտոմատ դիրքավորման համակարգի կարգավորման միջոցով, հասնում ենք ավտոմատ դիրքավորմանը մասկի և վահանումների պատկերների միջև: Կարելի է նաև կատարել մեկ արտացոլում առանց պատկերների դիրքավորումից: Ավտոմատ արտացոլումից գերացոլումի համակարգով, արտացոլումավոր ռոբոտական համակարգը ավտոմատորեն տեղադրում է վահանումները C-D (վերակիրառելի) վահանումի արկում:
2. Արտացոլման տիրույթ՝ 160 × 160 մմ;
3. Արտացոլման արագացման անհավասարություն՝ ≤ 3%;
4. Արտացոլման ENSITY՝ 0~≥ 40մագ/սմ2 կարգավորելի (ճառագայթի անկյուն 2 °);
5. UV ճառագայթի անկյուն՝ ≤ 3 °;
6. Երկարական ճառագայթի կենտրոնական ալիքաերկարություն՝ 365նմ;
7. UV աղբյուրի կյանքը՝ ≥ 20000 ժամ;
8. Բաժանման կարողություն՝ 0~≥ 1000մկմ կարգավորելի;
9. Դիրքավորման ճշգրտություն՝ ≤ ± 1.5 μ M;
10. Երևույթի ճշգրտությունը. Կոնտակտային երևույթ ± 1 μ m: մոտ երևույթի սահքը՝ 20 μ M ճառագայթային անկյուն՝ 2 ° ≤ ± 2 μ M
11. Երևույթի մեթոդներ. Հարդ կոնտակտ, .soft contact, և մոտ երևույթ
12. Երևույթի โրւմը. Դուք կարող եք ընտրել միանգամից երևույթի կամ offset երևույթի միջև
13. Նախնական դիրքավորման պատկերի ճանաչում և ավտոմատ պտույտի համակարգ (ներառյալ նախնական դիրքավորման աշխատանքային стол): պտույտի անկյուն Q ≥ ± 180 °, պտույտի ճշգրտություն Q ≤ 0.01 °;
14. Պատկերի ճանաչում և ավտոմատ համակարգավորումի համակարգ (ներառյալ UVW համակարգավորման աշխատանքային стол): համակարգավորման միջակայք X Y ≥ ± 5mm, պտույտի անկյուն Q ≥ ± 3 °, և միկրոսկոպի երկու լենզերը կառավարվում են երկու XYZ էլեկտրական պլատֆորմաներով.
15. Mask չափսերը. 5 " × 5 " և 7" × 7 ";
16. Wafer չափսերը. 4 " և 6";
17. Վերևի և ստորում ֆիլմային բокսի աշխատանքային ստացիոնարները. Երկու աշխատանքային ստացիոնարներ;
18. RowAtնի պատված օդավոր արկ
19. Loading և unloading երկու արագացքի ռոբոտական արագացք. Z ≥ 350mm, R135mm;
20. Վաֆերի քանակը վաֆերի տուփում. Որոշվում է հաճախորդի վաֆերի տուփի վաֆերի քանակի հիման վրա:
21. Դիրքային սահմանագրի բարձրացում. Z ≥ ± 25մմ;
22. Եքսպոզիցիայի ժամանակ. Կարելի է կարգավել 0-ից 999,9 վայրկյան.
23. Ծառայության ռիթմ. >120 հատ ժամ անգամ;
24. Էլեկտրաէներգիայի նախատեսում. Միահարթ AC220V 50Hz, էներգիայի ծախս ≤ 3KW;
25. Անտառային օդի ճնշումը. ≥ 0.4MPa;
26. Վակուումի մակարդակը. -0.07MPa~-0.09MPa;
27. Չափերը. 1400 * 1000 * 2100մմ;
28. משקלը. Համարյալորեն 400կգ