Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

հjemէջ
Մեր մասին
MH Equipment
Հաղորդում
Երկիրացի Օգտագործողներ
տեսանյութ
Կապվեք մեզ հետ
Տուն> Mask Aligner
  • MDHS-AL8 8
  • MDHS-AL8 8

MDHS-AL8 8" Ավտոմատացված միակողմանի տպագրության մաքինա

Ապարատի Նկարագրություն

MDHS-AL8 8" Ավտոմատացված միակողմանի տպագրության մաքինա

1. Պաշտոնագրի ռեժիմը՝ Բեռնող ռոբոտը ավտոմատացված ձևով բեռնում է վայրենքները A-B (վերակիրառելի) վայրենքի տուփից նախնական դիրքավորման
աշխատանքային սեղան, և կամերայի դիրքի վահանումի միջոցով և ավտոմատ պտույտային համակարգի կարգավորումով, հասցենում է վահանումի նախնական դիրքավորումը: Ավտոմատացված ռոբոտական համակարգը ապա բեռնում է նախնական դիրքավորված վահանումները դիրքավորման աշխատանքային սեղանի վրա: Համակարգային պատկերի ճանաչումից և ավտոմատ դիրքավորման համակարգի կարգավորման միջոցով, հասնում ենք ավտոմատ դիրքավորմանը մասկի և վահանումների պատկերների միջև: Կարելի է նաև կատարել մեկ արտացոլում առանց պատկերների դիրքավորումից: Ավտոմատ արտացոլումից գերացոլումի համակարգով, արտացոլումավոր ռոբոտական համակարգը ավտոմատորեն տեղադրում է վահանումները C-D (վերակիրառելի) վահանումի արկում:
2. Արտացոլման տիրույթ՝ 160 × 160 մմ;
3. Արտացոլման արագացման անհավասարություն՝ ≤ 3%;
4. Արտացոլման ENSITY՝ 0~≥ 40մագ/սմ2 կարգավորելի (ճառագայթի անկյուն 2 °);
5. UV ճառագայթի անկյուն՝ ≤ 3 °;
6. Երկարական ճառագայթի կենտրոնական ալիքաերկարություն՝ 365նմ;
7. UV աղբյուրի կյանքը՝ ≥ 20000 ժամ;
8. Բաժանման կարողություն՝ 0~≥ 1000մկմ կարգավորելի;
9. Դիրքավորման ճշգրտություն՝ ≤ ± 1.5 μ M;
10. Երևույթի ճշգրտությունը. Կոնտակտային երևույթ ± 1 μ m: մոտ երևույթի սահքը՝ 20 μ M ճառագայթային անկյուն՝ 2 ° ≤ ± 2 μ M
11. Երևույթի մեթոդներ. Հարդ կոնտակտ, .soft contact, և մոտ երևույթ
12. Երևույթի โրւմը. Դուք կարող եք ընտրել միանգամից երևույթի կամ offset երևույթի միջև
13. Նախնական դիրքավորման պատկերի ճանաչում և ավտոմատ պտույտի համակարգ (ներառյալ նախնական դիրքավորման աշխատանքային стол): պտույտի անկյուն Q ≥ ± 180 °, պտույտի ճշգրտություն Q ≤ 0.01 °;
14. Պատկերի ճանաչում և ավտոմատ համակարգավորումի համակարգ (ներառյալ UVW համակարգավորման աշխատանքային стол): համակարգավորման միջակայք X Y ≥ ± 5mm, պտույտի անկյուն Q ≥ ± 3 °, և միկրոսկոպի երկու լենզերը կառավարվում են երկու XYZ էլեկտրական պլատֆորմաներով.
15. Mask չափսերը. 5 " × 5 " և 7" × 7 ";
16. Wafer չափսերը. 4 " և 6";
17. Վերևի և ստորում ֆիլմային բокսի աշխատանքային ստացիոնարները. Երկու աշխատանքային ստացիոնարներ;
18. RowAtնի պատված օդավոր արկ
19. Loading և unloading երկու արագացքի ռոբոտական արագացք. Z ≥ 350mm, R135mm;
20. Վաֆերի քանակը վաֆերի տուփում. Որոշվում է հաճախորդի վաֆերի տուփի վաֆերի քանակի հիման վրա:
21. Դիրքային սահմանագրի բարձրացում. Z ≥ ± 25մմ;
22. Եքսպոզիցիայի ժամանակ. Կարելի է կարգավել 0-ից 999,9 վայրկյան.
23. Ծառայության ռիթմ. >120 հատ ժամ անգամ;
24. Էլեկտրաէներգիայի նախատեսում. Միահարթ AC220V 50Hz, էներգիայի ծախս ≤ 3KW;
25. Անտառային օդի ճնշումը. ≥ 0.4MPa;
26. Վակուումի մակարդակը. -0.07MPa~-0.09MPa;
27. Չափերը. 1400 * 1000 * 2100մմ;
28. משקלը. Համարյալորեն 400կգ
MDHS-AL8 8" Fully automatic single-sided lithography machine supplier
Այս մաքնին բաղկացած է LED فوقiolet եքսպոզիցիայի գլխից, պատկերի ճանաչումից և ավտոմատ պտույտի համակարգից, նախնական դիրքի աշխատանքային սահմանագրից, պատկերից նմանական ճանաչումից և ավտոմատ համակցման համակարգից, համակցման աշխատանքային սահմանագրից, բեռնումի ռոբոտներից, արտանումի ռոբոտներից, շերտերից և էլեկտրոնային կառավարման սարքերից՝ նախապատրաստված ավտոնոմ ակտիվացումներից։
Տехնիկ 특성
1. Երեսանիշի գլխավոր մաս: Մեկ LED անհրաժեշտ երեսանիշի գլխավոր մաս (365նմ);
2. Նկարի ճանաչում և պատվերական դիրքային աշխատանքային стол:
1) 1 դիտարկող (1.3 միլիոն պիքսել)
2) Կենտրոնական դիրքային սարք
3) 1 դիրքային հավատանքի բացակայություն (օգտագործում է սերվո մոտոր)
4) 1 դիրքային համակարգի սետ
3. Նկարի ճանաչում և ավտոմատ դիրքային համակարգ:
1) 2 դիտարկող (5 միլիոն պիքսել բարձր հաճախության)
2) 2 օպտիկական լենզեր (4x բարձր սահմանում)
3) Օգտակար համակարգ
4) Երկու կառավարիչ (PLC-ի կողմից կառավարվող)
5) Երկու համակարգի դիրքային պլատֆորմայի համակարգ (օգտագործելով 5-շարժի ստեփերի մոտոր)
6) Համակարգի շարժական համակարգ
7) Վերևի սալի սարքը օգտագործում է մոտոր բարձրացման և ներդաշնակեցման համար
7) Պրոգրամային ապահովը օգտագործում է LabVIEW Professional Edition-ի վերջին տարբերակը
4. Բեռնում և թարմացում մեխանիկական արագություն:
1) X Y. Z ավտոմատ շարժական մեխանիզմի համակարգ
2) Երկու արագության ռոբոտիկական արագություն (բեռնող և թարմացող արագություններ)
5. Wafer տուփի անշարժ մեխանիզմ:
1) AB կոդը նշանակում է ներդրման ֆիլմի տուփի անշարժ դիրք
2) CD կրումնային ֆիլմի տուփի պայմանական դիրքն է
3) G կրումնային ֆիլմի NG դիրքի պայմանական դիրքն է
6. Կամերայի պայմանական պլատֆորմ՝
7. Дύо խումբ Y.Z էլեկտրոնային կարգավորման մեխանիզմներ (սերվոմոտորներով կառավարվող)
8. Ռեք և էլեկտրոնային կառավարման կոնսոլ՝
1) 1 ինդուստրիալ համակարգչի
2) Երկու խումբ PLC-ի
3) Երկու խումբ մագնիսական վալվեր և կառավարման համակարգ
4) Երկու խումբ թվային պարագասական գործիքներ
5) Երկու խումբ կառավարման կոնսոլ
8. Երկար վերջնական ստորագրություններ՝
1) Տրաքեալին՝ 15 մետր
2) Երկու սոլենոիդային վալվեր
3) Վակուումային պամպ՝ 1 միավոր
9. Տեխնիկական տվյալներ՝
1) Եრկու օգտագործման ձեռնարկ
2) Երկու համապատասխանության ստորագրություն
10. Լրացուցիչ
Սարքերի սոֆտվերը պետք է հավաքվի SECS հաղորդագրության պրոտոկոլով, և գնորդը պարունակում է դինամիկ գրադարան, որը կարող է համապատասխանել գնորդի MES համակարգի հետ, ավտոմատացրելով արտադրանքի փունջի համարը, աշխատանքի համարը և գործողության վիճակը և բեռնատրամադրելով դրանց։ Համապատասխանաբար, այն ունի մասկային տարածքի QR կոդի որոնման ֆունկցիան, որը համեմատում է դրան MES համակարգի մասկային տարածքի QR կոդի հետ և պարունակում է սխալ մասկային տարածքի վերցնելուց պահում։
Պակետավորում և առաքելություն
MDHS-AL8 8" Fully automatic single-sided lithography machine manufacture
MDHS-AL8 8" Fully automatic single-sided lithography machine supplier
Կոմպանիայի պրոֆիլ

Հարցում

Հարցում Email whatsapp Top
×

ԿԱՊԸ ԵՆԴ ՏOUCH