Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Ստացեք գնահատական

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

հjemէջ
Մեր մասին
MH Equipment
Հաղորդում
Երկիրացի Օգտագործողներ
տեսանյութ
Կապվեք մեզ հետ
Տուն> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma
  • MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma
  • MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma
  • MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma

MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma

Ստանալ ազատ գնահատական
Ապարատի Նկարագրություն

MDICP-5000F Ավտոմատացված ICP կորում մաքսային

MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

Երբեք աշխատանք

Համակարգը երկու սենյակով վակուում համակարգ է: Առաջին սենյակը՝ ինյեկցիայի և նմուշների սենյակն է, իսկ մյուսը՝ կորումի սենյակը: Վակուումի փակագծերը տեղադրված են ինյեկցիայի և նմուշների սենյակի միջև և կորումի սենյակը, ինչպես նաև ինյեկցիան և նմուշների տրանսպորտացիան կատարվում է մանիպուլատորի միջոցով:
Ապարատուրը կազմված է ներդառնող համակարգից, գազային շղթայից, էլեկտրոնային համակարգից, կառավարման համակարգից, հորումների համակարգից, ֆիլմի ներմուծման և դուրսբերման մեխանիզմից, ալարմային համակարգից և այլն.

Վակուումային համակարգ

Համակարգը կազմված է մոլեկուլային անտառուն 600 Լ/Ս արժանքով + ներդառնող տարածական անտառուն՝ որը արժանցնում է արտագրության սենսորը բարձր ներդառությանը: Մոլեկուլային անտառուն և արտագրության սենսորի միջև տեղադրված է էլեկտրոնային ճնշումի կառավարման վալվ: Տարածական անտառունը արտագրության սենսորի նախնական անտառուն է, իսկ մոլեկուլային անտառունի առաջին փուլի անտառունը: Օգտագործվում է մեխանիկական անտառուն՝ արժանքով L/S, որը ներդառնում է նմուշների սենսորը: Մեխանիկական անտառունի և ներդառող սենսորի միջև օգտագործվում են անունական ստալեսի գործակիցներ, իսկ տեղադրված է էլեկտրոմագնիտական պարբերական անդամ:

Կանոնավոր ճնշումի կառավարման համակարգ

Ապարատը հավաքված է ներքին ստորագրող հաստատուն ճնշման կառավարման համակարգով, և էլեկտրական կարգավորելի դերադրում է տեղադրված օդի արտագրման տուփում։ Ֆիլմի չափումների (ներմուծված մասեր) միջոցով՝ կարգավորելի դերադրումը կառավարվում է, որպեսզի հաստատուն ճնշում հասնենք արտագրման սենյակում, որոնք բարձրացնում են տեխնոլոգիական կայունությունը։

Կանոնավոր ճնշումի կառավարման համակարգ

Ապարատը հավաքված է ներքին ստորագրող հաստատուն ճնշման կառավարման համակարգով, և էլեկտրական կարգավորելի դերադրում է տեղադրված օդի արտագրման տուփում։ Ֆիլմի չափումների (ներմուծված մասեր) միջոցով՝ կարգավորելի դերադրումը կառավարվում է, որպեսզի հաստատուն ճնշում հասնենք արտագրման սենյակում, որոնք բարձրացնում են տեխնոլոգիական կայունությունը։

Գազային ցիրկուիտի համակարգ

Երկու համակարգավորվող RF հաստատուններ։

զարդարական համակարգ

Սարքերի վերաբերյալ ան전ության պահանջներ։
Տехնիկ 특성
Անուն
Spc
Բրենդ
Համար./Ծավ.
Նշան
Կայման սենյակ, օդի արտագրման տուփ, նայումների պատուհան, նախնական ինտերֆեյս և այլն
Ստանդարտ
JSWN
1
Հանգույցների դիմադրություն
Կառուցավորություն, էլեկտրոնային արկան, ստիցման միջոցներ, ստանդարտ մասեր և այլն
Ստանդարտ
JSWN
1
Սիստեմային դարաշուն էջինգ ստորագրության համար
Ստանդարտ
JSWN
1
Հանգույցների դիմադրություն
Էջինգ էլեկտրոդների և հուղարկման սիստեմ
Ստանդարտ
JSWN
1
Հանգույցների դիմադրություն
Մոլեկուլային բացարձակ (բացարձակումը 600 Լ/վ)
FF620/150
KYKY
1
Հանգույցների դիմադրություն
Ելքային բացարձակ (բացարձակումը 9 Լ/վ)
XDS-35I
EDWARDS
1
Հանգույցների դիմադրություն
Ռեկուպերացիոն բացարձակ (բացարձակումը 9 Լ/վ)
TRP-36
BWVAC
1
Էլեկտրոնական կառավարման գետաբաժակ
DCQ-150
JSWN
1
Հանգույցների դիմադրություն
Պնեվմատիկ սալիցիդային փակիչ
KF40
JSWN
3
Հանգույցների դիմադրություն
Ֆիլմային համաչափ
KF16
INFICON
1
Հանգույցների դիմադրություն
Հավասարակշռված հոսքի կառավարիչ
D07
Sevenstar
4
Հանգույցների դիմադրություն
Պարագայուման դիաֆրագմանային վալվե
1⁄4″ VCR
-
4
Հանգույցների դիմադրություն
Անոթային տունել, տունելի միացող, և.տ.
1⁄4″ VCR
-
4
Հանգույցների դիմադրություն
RF հասանելիությունը / ավտոմատացված համապատասխանում
-
Չինաստան ( facultative CROWN1310 )
1
RF հասանելիությունը / ավտոմատացված համապատասխանում
-
Չինաստան ( facultative CROWN1310 )
1
Սովորական վակուումի մատակարար
ZDF
RB
1
IPC
2U
Չինաստան
1
LCD հպման էկրան
17inch
Չինաստան
1
PLC Կառավարման Համակարգ
S7-200
Siemens
1
Էլեկտրական շաftsի կառավարման համակարգ
Ստանդարտ
JSWN
1
Լավացուցիչ ջրի հայտնաբերում և տունելային համակարգ
Ստանդարտ
JSWN
1
Կոմպրեսորային օդի հայտնաբերում և տունելային համակարգ
Ստանդարտ
JSWN
1
Լավացուցիչ շրջանափոխ ջրի մաքինա
HX
Չինաստան
1
Եթերացուցիչ ներդրման սենյակ
Ստանդարտ
JSWN
1
Վակուում անգամ
SMC
SMC
1
Մանիպուլյատորի կառավարման համակարգ
SMC
SMC
1

Տեխնիկական պարամետր հասցե

1. Սահմանափակ վակուում: Էջչման սենյակ 9.0×10-5Pa (ներքին լավագույնը ≤55%)
Ինجեկցիայի և նմուշների սենյակ 6.0×10-1Pa
2. Էջչման նյութ: Ⅲ, Ⅴ նյութեր, Si, SiO2 և այլն
3. Էջչման արագություն: ~ 1μ/րոպե
4. Էջչման հավասարակշռություն: ≤±5％(φ125mm մասշտաբում)
6. Էլեկտրոդի չափսերը: φ200mm
Պակետավորում և առաքելություն
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
Դուք ձեր ապրանքների ամանորոշության ավելի բարդ հաստատությունը համար, մենք կարող ենք առաջարկել մասնագիտական, միրուցականորեն համարժեք, հարմար և արդյունավետ պակետավորման ծառայություններ։
Կոմպանիայի պրոֆիլ
Մենք ունենք 16 տարի փորձ ավարտական սales-ներում: Մենք կարող ենք առաջարկել ձեզ One-stop Սեմիկոնդուկտորների Front-end և Back end Package Line ավարտական սպասարկման մասին պրոֆեսիոնալ լուծում Չինաստանից։
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma supplier

Ավելի շատ ապրանքներ

Հարցում

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Սկսածքային POLITICY

Հարցում Email whatsapp Top
×

ԿԱՊԸ ԵՆԴ ՏOUCH