Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Սկզբնական էջ
Մեր մասին
MH Equipment
Հաղորդում
Երկիրացի Օգտագործողներ
Տեսանյութ
Կապվեք մեզ հետ
Տուն> Mask Aligner
  • MDLB-ASD2C2D Ավտոմատ Կովերինգ և Տարածում Մաքինա
  • MDLB-ASD2C2D Ավտոմատ Կովերինգ և Տարածում Մաքինա

MDLB-ASD2C2D Ավտոմատ Կովերինգ և Տարածում Մաքինա

Ապարատի Նկարագրություն

MDLB-ASD2C2D Ավտոմատ Կովերինգ և Տարածում Մաքինա

Ապարատը օգտագործում է անդարձակայությամբ ստիրլես արծաթի համակարգ, և ներքին և դուրսին փայտամետաղն են ստիրլես արծաթի արտացոլով տախտակներ: Ապարատի տանողության հետ հավասարակշռություն ունի վերացական ուղեցուցակներ և հորիզոնական կարգավորման հնարավորություն: Վերևում տեղավորված է 3 գույնով սիգնալային աշտարակ՝ որը հավաքում է բուզեր: Ապարատի վերին մասում տեղավորված է կառավարման համակարգը և FFU-ն, միջին մասում՝ գործարքի միավորը, իսկ ստորին մասում՝ քիմիական կանալների համակարգը: Բոլոր մասերը, որոնք ուղիղ կոնտակտում են քիմիական նյութերի հետ, պատրաստված են քիմիական անոճությամբ նյութերից, ինչպիսիք են SUS304, PP, PTFE և այլն: Պարագազային կանալները պատրաստված են PU կանալներից, իսկ քիմիական կանալները՝ անոճությամբ PFA կանալներից: Սարքի հոդվածի համակարգի հոդվածի մարմնի համար օգտագործվում է 17 դюյմանոց 터치սկրին՝ որը կարող է իրականացնել ֆունկցիաներ, ինչպիսիք են սարքի հոդվածի կառավարում, բանաձևերի կարգավորում և գրանցումների հարցում: SPIN միավորը և այլ գործարքի սենյակները հավաքված են:
Jaune լուսի համար դեպի հեշտ սարքերի պահպանում։ Սարքերի վարկածը ցույց է տրված նկարում 1.1.1-ում, իսկ սարքերի դասավորությունը՝ նկարում 1.1.2-ում։
MDLB-ASD2C2D Automatic Coating and Developing Machine supplier
MDLB-ASD2C2D Automatic Coating and Developing Machine details
Տехնիկ 특성
ծՐԱԳՐԻ
Մատակարարումներ
remarks


1


Սարքերի ամփոփում
Սարքի անվանումը՝ Կամավոր ավտոմատ հավասարաչափ գլյուկի զբաղեցնող մաքինա
Սարքի մոդել՝ MD-2C2D6
Պրոցեսավորման վայրիկների նորմատիվ՝ համապատասխանում է 4/6-inch ստանդարտ վայրիկներին
Հավասարաչափ գլյուկի պրոցեսավորման հոսք՝ անգամանոցի կտրում → կենտրոնացում → հավասարաչափ գլյուկ (ցուցալից ցուցման վրա → հավասարաչափ գլյուկ → կраկերից հեռացում, հետևյալ
լվացում) → ջերմ սալ → սառույցի սալ → անգամանոցի դիրք
Զբաղեցնող պրոցեսավորման հոսք՝ անգամանոցի կտրում → կենտրոնացում → զբաղեցնում (զբաղեցնող լուծույթ → դեսիոնացված ջուր, հետևյալ լվացում →
նիտրոգենի անջատում) → ջերմ սալ → սառույցի սալ → անգամանոցի դիրք
Ընդհանուր չափերը (մոտեղականապես)՝ 2100mm (W) * 1800mm (D) * 2100mm (H)
Քիմիկալական արկանի չափերը (մոտեղականապես)՝ 1700(W) * 800(D) * 1600mm (H)
Ընդամենը կշիռը (մոտեղ): 1000կգ
Աշխատանքային սահմանափակության բարձրություն: 1020 ± 50մմ


2
Կասետային միավոր
Քանակը: 2
Համապատասխան չափսեր: 4/6 դյույմ
Կասետային հայտարարում: միկրոսահմանի հայտարարություն
Ելակեցում հայտարարում: Այո, վերացանցային սենսոր


3


ռոբոտ
Քանակը: 1
Տիպը: Երկու արագի վակուումներով ադսորպցիայի ռոբոտ
Դաշտային ազատություն: 4-առանցք (R1, R2, Z, T)
Արտադրիչի նյութը՝ կերամիկ
Հիմքի ամրացման եղանակ՝ վակուումի արգելման եղանակով
Կարտեզային ֆունկցիա՝ Այո
Պարունակության ճշգրտություն՝ ± 0.1մմ


4
Կենտրոնացման միավոր
Քանակը՝ 1 համար
Según la alineación óptica opcional
Կենտրոնացման եղանակ՝ մեխանիկական կենտրոնացման եղանակ
Կենտրոնացման ճշգրտություն՝ ± 0.2մմ


5


Երկարություն և հավասարակշռություն միավոր
Քանակը. 2 սետ (հետո են տրված կառուցվածքները յուրաքանչյուր միավորի համար)
Առագի պտույտների արագություն. -5000դ/ր~5000դ/ր
բեռնուղի դիվանդակ
Առագի պտույտների ճշգրտություն. ± 1դ/ր (50դ/ր~5000դ/ր)
Ամենափոքր կարգավորման քայլը՝ առագի պտույտների արագության համար. 1դ/ր
Ամենամեծ արագացումը՝ առագի պտույտների համար. 20000դ/ր
բեռնուղի դիվանդակ
Կորողության արանջ. 1 սետ
Ֆոտոռեզիստի խողովակի ճանապարհ. 2 ճանապարհ
Ֆոտոռեզիստի գունդի տրամագիծ. 2.5մմ
Ֆոտոռեզիստի անհատականություն. 23 ± 0.5 ℃
ընտրովի
Կարգավոր ցուցչի համար: Այո
RRC: Այո
Պու斐ն: Այո, 200մլ
Կոլե դուրս բросելու մեթոդը: կենտրոնական և սկանավորող բրոսումը ընտրելի է
Եզրային հանքարձակման արագույթ: 1 տող
Եզրային հանքարձակման ցուցչի տրամագիծը: 0.2մմ
Եզրային հանքարձակման հեռացման հեռացման հեռացումը: հավասարակշռված հեռացում
Եզրային հանքարձակման հեռացման հեռացման հասցեի միջակայքը: 5-50մլ/րոպե
Վերադարձնող կանալ: 2 ճանապարհ (4/6 դյույմ յուրաքանչյուրից 1 անցք)
Վերադարձնող հեռացման հեռացումը: հավասարակշռված հեռացում
Վերադարձնող հեռավարի հոսքի մակարդակը՝ 20-200մլ/րոպե
Չիպի այգնացումը՝ փոքր տարածքի վակուումային այգնացման Chuck-ով
Վակուումի ճնշումի աזהմանակ՝ թվային վակուումային ճնշումի սենսոր
Chuck-ի նյութը՝ PPS
Կանաչի նյութը՝ PP
Կանաչի գազային արտասահմանումը՝ թվային ճնշումի սենսորով


6


Արտանորոգման միավոր
Սահմանափակում՝ այո
Քանակը. 2 սետ (հետո են տրված կառուցվածքները յուրաքանչյուր միավորի համար)
Առագի պտույտների արագություն. -5000դ/ր~5000դ/ր
բեռնուղի դիվանդակ
Առագի պտույտների ճշգրտություն. ± 1դ/ր (50դ/ր~5000դ/ր)
Ամենափոքր կարգավորման քայլը՝ առագի պտույտների արագության համար. 1դ/ր
Ամենամեծ արագացումը՝ առագի պտույտների համար. 20000դ/ր
բեռնուղի դիվանդակ
Արտանորոգման բարձ՝ 1 տող
Արտանորոգման կանալ՝ 2-ական (վանդակաձև/սյունաձև ցուցակ)
Фильтраցիա դեվելոպերի: 0.2մկմ
Տեմպերատուրային կառավարում դեվելոպերի: 23 ± 0.5 ℃
ընտրովի
Դեվելոպերի լուծույթի հոսքի միջակայքը: 100~1000մլ/րոպե
Ռեժիմ շարժում դեվելոպերի բարձրության: անշարժ կետ կամ սկանավորում
Ֆյուզինգ արագույթ: 1 սետ
Դեսիոնացված ջրի կանալ: 1 ցիկլուս
Դեսիոնացված ջրի ցուցակի տրամագույն: 4մմ (ներքին տրամագիծ)
Դեսիոնացված ջրի հոսքի միջակայքը: 100~1000մլ/րոպե
Նիտրոգենի չափատուրի կանալ: 1 ցիկլուս
Նիտրոգենի ցուցակի տրամագույն: 4մմ (ներքին տրամագիծ)
Ազոտի հոսանքի միջակայքը. 5-50լ/ր
Դեվելոպեր, դեսիոնացված ջուր, ազոտի հոսանքի մոնիթորինգ. ֆլոատ ֆլոոմետր
Վերադարձնող կանալ: 2 ճանապարհ (4/6 դյույմ յուրաքանչյուրից 1 անցք)
Վերադարձնող հեռացման հեռացումը: հավասարակշռված հեռացում
Վերադարձնող հեռավարի հոսքի մակարդակը՝ 20-200մլ/րոպե
Չիպի այգնացումը՝ փոքր տարածքի վակուումային այգնացման Chuck-ով
Վակուումի ճնշումի աזהմանակ՝ թվային վակուումային ճնշումի սենսոր
Chuck-ի նյութը՝ PPS
Chuck-ի նյութը՝ PPS
Կանաչի նյութը՝ PP
Կանաչի գազային արտասահմանումը՝ թվային ճնշումի սենսորով


7


Կպչող միավոր
Քանակը: 2
ընտրովի
Տեմպերատուրայի միջակայքը. սենյակային տեմպերատուր~180 ℃
Տեմպերատուրայի հավասարաչափություն. Սենյակային տեմպերատուր~120 ℃± 0.75 ℃
120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃
(Հանեք 10մմ կраունից, բացի էջեկտորի սանդալի խոռոչից)
Նվազագույն կարգավորման քանակ. 0.1 ° C
Տեմպերատուրայի կառավարման մեթոդ. PID կարգավորում
PIN բարձրության միջակայքը. 0-20մմ
PIN նյութը: մարմնի SUS304, PIN ստեղն PI
Հանգիստ բաժանում: 0.2մմ
Ավելացուցակային խոստացում: դրական և բացասական շեղում խոստացում
Սպառման եղանակը: Բացակոչում, 10 ± 2մլ/րոպե
Տանձավազակի գործակից հանգիստ: -5-20KPa


8


Դաշտավոր միավոր
Քանակ: 10
دانگambi միջավայրի միջակայքը: սենյակի ջերմաստիճանը~250 ℃
Տեմպերատուրայի հավասարաչափություն. Սենյակային տեմպերատուր~120 ℃± 0.75 ℃
120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃
(Հանեք 10մմ կраունից, բացի էջեկտորի սանդալի խոռոչից)
Əնդ.minimum կարգավորման քանակը: 0.1 ℃
Տեմպերատուրայի կառավարման մեթոդ. PID կարգավորում
PIN բարձրության միջակայքը. 0-20մմ
PIN նյութը: մարմնի SUS304, PIN ստեղն PI
Հանգիստ բաժանում: 0.2մմ
Ավելացուցակային խոստացում: դրական և բացասական շեղում խոստացում


9
차가운 판 유닛
Քանակը: 2
온도 범위: 15-25 ℃
냉각 방법: 상온 순환펌프 냉각


10


화학 공급
포토레지스트 저장: 공기식 접착제 펌프 * 4 세트 (선택적 탱크 또는 전기 접착제 펌프)
접착제 분사량: 최대 12ml 세션당, 정확도 ± 0.2ml
엣지 제거/후세척/RRC 공급: 18L 압력 탱크 * 2 (자동 보충)
엣지 제거/후세척/RRC 액체 수준 모니터링: 광전 센서
포토레지스트 액체 수준 모니터링: 광전 센서
균일한 접착제 폐수 배출: 10L 폐수 탱크
Համարողի համակարգ: 18L ճնշումից տանկ * 4 (Պահվում է քիմիական արկումում մեքենայի դուրս)"
Դեստիլացիայի ջրի համակարգ: factory direct supply
Համարողի մակության մոնիտորինգ: ֆոտոէլեկտրոնային սենսոր
Համարողի արտանախատը: factory waste discharge
Tackifier-ի համակարգ: 10L ճնշումից տանկ * 1, 2L ճնշումից տանկ * 1
Tackifier-ի մակության մոնիտորինգ: ֆոտոէլեկտրոնային սենսոր


11


կառավարման համակարգ
Կառավարման մեթոդ: PLC
Մարդ-մաքինայի գործարկման ինտերֆեյս: 17 դюյմ տաք էկրան
Անընդհատ էլեկտրական համակարգ (UPS): Այո
Սահմանեք արժեքավորության բանաձևեր սարքիչների, տեխնիկների և ադմինիստրատորների համար
Սիգնալային թավարի տիպը՝ կարմիր, դեղին, կանաչ 3 գույներով


12
Սիստեմի հավիանալիության ցուցանշատիկներ
Աշխատաժամեր՝ ≥95%
MTBF՝ ≥ 500h
MTTR՝ ≤ 4h
MTBA՝ ≥24h
Դիստրիբուցիայի գործառույթը՝ ≤ 1/10000


13
Այլ Ֆունկցիաներ
Դեղին լուս՝ 4 սետ (դիրք՝ գլյուկի միջացումի և զարգացման միավորի վրա)
THC՝ Այո, 22.5 ℃± 0.5 ℃, 45% ± 2%
ընտրովի
FFU՝ 100-րդ դաս, 5 սետ (պրոցեսային միավոր և ROBOT տարածք)
Պակետավորում և առաքելություն
MDLB-ASD2C2D Automatic Coating and Developing Machine manufacture
MDLB-ASD2C2D Automatic Coating and Developing Machine manufacture
Կոմպանիայի պրոֆիլ
Մենք ունենք 16 տարի փորձ ավարտական սales-ներում: Մենք կարող ենք առաջարկել ձեզ One-stop Սեմիկոնդուկտորների Front-end և Back end Package Line ավարտական սպասարկման մասին պրոֆեսիոնալ լուծում Չինաստանից։

Հարցում

Հարցում Email Whatsapp Top
×

ԿԱՊԸ ԵՆԴ ՏOUCH