|
նախագիծ
|
Տեխնիկական
|
դիտողություններ
|
||
|
1 |
Սարքավորումների ակնարկ |
Սարքավորման անվանումը՝ լիովին ավտոմատ միատեսակ սոսինձ մշակող մեքենա
|
||
|
Սարքավորման մոդել՝ MD-2C2D6
|
||||
|
Վաֆլի մշակման բնութագրերը. համատեղելի է 4/6 դյույմանոց ստանդարտ վաֆլիների հետ
|
||||
|
Միատեսակ սոսինձի ընթացքը. Ծաղկի զամբյուղի կտրում → կենտրոնացում → միասնական սոսինձ (կաթում → միատեսակ սոսինձ → եզրերի հեռացում, ետ
լվացում) → տաք ափսե → սառը ափսե → զամբյուղի տեղադրում Մշակման գործընթացի հոսք. Ծաղիկների զամբյուղի կտրում → կենտրոնացում → մշակում (մշակման լուծույթ → դեոնացված ջուր, հետևի լվացում → ազոտի չորացում) → տաք ափսե → սառը ափսե → զամբյուղի տեղադրում |
||||
|
Ընդհանուր չափս (մոտավորապես)՝ 2100 մմ (Վտ) * 1800 մմ (Դ) * 2100 մմ (Հ)
|
||||
|
Քիմիական պահարանի չափը (մոտավորապես) 1700 (Վտ) * 800 (D) * 1600 մմ (H)
|
||||
|
Ընդհանուր քաշը (մոտավորապես): 1000 կգ
|
||||
|
Աշխատանքային նստարանի բարձրությունը՝ 1020 ± 50 մմ
|
||||
|
2 |
Կասետային միավոր
|
Քանակ: 2
|
||
|
Համատեղելի չափս՝ 4/6 դյույմ
|
||||
|
Կասետի հայտնաբերում. միկրոանջատիչի հայտնաբերում
|
||||
|
Դուրս սահելու հայտնաբերում. Այո, ռեֆլեկտիվ սենսոր
|
||||
|
3 |
մարդու վարքը |
Քանակ: 1
|
||
|
Տեսակը՝ կրկնակի թև վակուումային կլանող ռոբոտ
|
||||
|
Ազատության աստիճան՝ 4 առանցք (R1, R2, Z, T)
|
||||
|
Մատների նյութը՝ կերամիկա
|
||||
|
Ենթաշերտի ամրագրման եղանակը՝ վակուումային կլանման մեթոդ
|
||||
|
Քարտեզագրման գործառույթ՝ այո
|
||||
|
Դիրքորոշման ճշգրտություն՝ ± 0.1 մմ
|
||||
|
4 |
Կենտրոնացման միավոր
|
Քանակ: 1 հավաքածու
|
Ընտրովի օպտիկական հավասարեցում
|
|
|
Հավասարեցման մեթոդ՝ մեխանիկական հավասարեցում
|
||||
|
Կենտրոնացման ճշգրտությունը՝ ± 0.2 մմ
|
||||
|
5 |
Սոսինձի միասնական միավոր |
Քանակ՝ 2 հավաքածու (հետևյալը կազմաձևերն են յուրաքանչյուր միավորի համար)
|
||
|
Spindle-ի պտտման արագությունը՝ -5000rpm~5000rpm
|
տանող պարապ
|
|||
|
Spindle պտտման ճշգրտությունը՝ ± 1rpm (50rpm~5000rpm)
|
||||
|
Ափի պտտման արագության նվազագույն ճշգրտում` 1 rpm
|
||||
|
Ափի պտտման առավելագույն արագացում՝ 20000 պտ/վրկ
|
տանող պարապ
|
|||
|
Կաթող թեւ՝ 1 հավաքածու
|
||||
|
Ֆոտոռեզիստական խողովակի երթուղի` 2 երթուղի
|
||||
|
Ֆոտոռեզիստական վարդակի տրամագիծը՝ 2.5 մմ
|
||||
|
Ֆոտոռեզիստական մեկուսացում` 23 ± 0.5 ℃
|
կամավոր կերպով ընտրած
|
|||
|
Խոնավեցնող վարդակ: Այո
|
||||
|
RRC: Այո
|
||||
|
Բուֆեր: Այո, 200 մլ
|
||||
|
Սոսինձը հանելու եղանակը. կենտրոնական անկումը և սկանավորման անկումը պարտադիր չեն
|
||||
|
Եզրերի հեռացման թեւը` 1 հավաքածու
|
||||
|
Եզրերի հեռացման վարդակի տրամագիծը՝ 0.2 մմ
|
||||
|
Եզրերի հեռացման հեղուկի հոսքի մոնիտորինգ՝ լողացող հոսքաչափ
|
||||
|
Եզրից հեռացնող հեղուկի հոսքի միջակայքը՝ 5-50 մլ/րոպե
|
||||
|
Հետլվացման խողովակ՝ 2 ճանապարհ (4/6 դյույմ յուրաքանչյուրը 1 ալիքով)
|
||||
|
Հետլվացման հոսքի մոնիտորինգ. լողացող հոսքաչափ
|
||||
|
Լվացքի հեղուկի հոսքի միջակայքը՝ 20-200 մլ/րոպե
|
||||
|
Չիպերի ամրագրման մեթոդ. փոքր տարածքի վակուումային կլանման Չակ
|
||||
|
Վակուումային ճնշման ազդանշան՝ թվային վակուումային ճնշման սենսոր
|
||||
|
Chuck Նյութը՝ PPS
|
||||
|
Բաժակի նյութը՝ PP
|
||||
|
Գավաթի արտանետման մոնիտորինգ՝ թվային ճնշման սենսոր
|
||||
|
6 |
Զարգացող միավոր |
Փեղկ: այո
|
||
|
Քանակ՝ 2 հավաքածու (հետևյալը կազմաձևերն են յուրաքանչյուր միավորի համար)
|
||||
|
Spindle-ի պտտման արագությունը՝ -5000rpm~5000rpm
|
տանող պարապ
|
|||
|
Spindle պտտման ճշգրտությունը՝ ± 1rpm (50rpm~5000rpm)
|
||||
|
Ափի պտտման արագության նվազագույն ճշգրտում` 1 rpm
|
||||
|
Ափի պտտման առավելագույն արագացում՝ 20000 պտ/վրկ
|
տանող պարապ
|
|||
|
Զարգացնող թեւ՝ 1 հավաքածու
|
||||
|
Զարգացող խողովակաշար՝ երկկողմանի (հովհարաձև/սյունաձև վարդակ)
|
||||
|
Մշակողի ֆիլտրացում՝ 0.2 մմ
|
||||
|
Մշակողի ջերմաստիճանի հսկողություն՝ 23 ± 0.5 ℃
|
կամավոր կերպով ընտրած
|
|||
|
Մշակող լուծույթի հոսքի միջակայք՝ 100~1000մլ/րոպե
|
||||
|
Զարգացող թեւի շարժման ռեժիմը՝ ֆիքսված կետ կամ սկանավորում
|
||||
|
Միաձուլման թեւ՝ 1 հավաքածու
|
||||
|
Դիոնացված ջրատար՝ 1 շղթա
|
||||
|
Դիոնացված ջրի վարդակ տրամագիծը՝ 4 մմ (ներքին տրամագիծ)
|
||||
|
Դիոնացված ջրի հոսքի միջակայք՝ 100~1000մլ/րոպե
|
||||
|
Ազոտի չորացման խողովակաշար՝ 1 շղթա
|
||||
|
Ազոտի վարդակի տրամագիծը՝ 4 մմ (ներքին տրամագիծ)
|
||||
|
Ազոտի հոսքի միջակայքը՝ 5-50լ/րոպե
|
||||
|
Մշակող, դեիոնացված ջուր, ազոտի հոսքի մոնիտորինգ՝ լողացող հոսքաչափ
|
||||
|
Հետլվացման խողովակ՝ 2 ճանապարհ (4/6 դյույմ յուրաքանչյուրը 1 ալիքով)
|
||||
|
Հետլվացման հոսքի մոնիտորինգ. լողացող հոսքաչափ
|
||||
|
Լվացքի հեղուկի հոսքի միջակայքը՝ 20-200 մլ/րոպե
|
||||
|
Չիպերի ամրագրման մեթոդ. փոքր տարածքի վակուումային կլանման Չակ
|
||||
|
Վակուումային ճնշման ազդանշան՝ թվային վակուումային ճնշման սենսոր
|
||||
|
Chuck Նյութը՝ PPS
|
||||
|
Chuck Նյութը՝ PPS
|
||||
|
Բաժակի նյութը՝ PP
|
||||
|
Գավաթի արտանետման մոնիտորինգ՝ թվային ճնշման սենսոր
|
||||
|
7 |
Կպչող միավոր |
Քանակ: 2
|
կամավոր կերպով ընտրած
|
|
|
Ջերմաստիճանի միջակայք՝ սենյակային ջերմաստիճան~180℃
|
||||
|
Ջերմաստիճանի միատեսակություն. Սենյակի ջերմաստիճան ~ 120 ℃± 0.75 ℃
120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ (Հեռացրեք 10 մմ եզրից, բացառությամբ էժեկտորի քորոցի անցքի) |
||||
|
Կարգավորման նվազագույն չափը՝ 0.1 °C
|
||||
|
Ջերմաստիճանի վերահսկման մեթոդ՝ PID կարգավորում
|
||||
|
PIN բարձրության միջակայքը՝ 0-20 մմ
|
||||
|
PIN նյութ՝ մարմին SUS304, PIN քորոց գլխարկ PI
|
||||
|
Թխելու բացը` 0.2 մմ
|
||||
|
Գերջերմաստիճանի ազդանշան՝ դրական և բացասական շեղումների ազդանշան
|
||||
|
Մատակարարման եղանակը՝ փրփրացող, 10 ± 2 մլ/րոպե
|
||||
|
Խցիկի շահագործման վակուումը՝ -5-20KPa
|
||||
|
8 |
Տաք ափսեի միավոր |
Քանակ: 10
|
||
|
Ջերմաստիճանի միջակայք՝ սենյակային ջերմաստիճան~250℃
|
||||
|
Ջերմաստիճանի միատեսակություն. Սենյակի ջերմաստիճան ~ 120 ℃± 0.75 ℃
120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (Հեռացրեք 10 մմ եզրից, բացառությամբ էժեկտորի քորոցի անցքի) |
||||
|
Կարգավորման նվազագույն չափը՝ 0.1 ℃
|
||||
|
Ջերմաստիճանի վերահսկման մեթոդ՝ PID կարգավորում
|
||||
|
PIN բարձրության միջակայքը՝ 0-20 մմ
|
||||
|
PIN նյութ՝ մարմին SUS304, PIN քորոց գլխարկ PI
|
||||
|
Թխելու բացը` 0.2 մմ
|
||||
|
Գերջերմաստիճանի ազդանշան՝ դրական և բացասական շեղումների ազդանշան
|
||||
|
9 |
Սառը ափսեի միավոր
|
Քանակ: 2
|
||
|
Ջերմաստիճանի միջակայք՝ 15-25 ℃
|
||||
|
Սառեցման մեթոդ՝ մշտական ջերմաստիճանի շրջանառվող պոմպի սառեցում
|
||||
|
10 |
Քիմիական մատակարարում |
Photoresist պահեստավորում. օդաճնշական սոսինձի պոմպ * 4 հավաքածու (ըստ ցանկության բաք կամ էլեկտրական սոսինձի պոմպ)
|
||
|
Սոսինձի տարածման ծավալը՝ առավելագույնը 12 մլ մեկ նստաշրջանի համար, ճշգրտությունը ± 0.2 մլ
|
||||
|
Եզրերի հեռացում/հետևի լվացում/RRC մատակարարում՝ 18լ ճնշման բաք * 2 (ավտոմատ լիցքավորում)
|
||||
|
Եզրերի հեռացում/հետևի լվացում/RRC հեղուկի մակարդակի մոնիտորինգ՝ ֆոտոէլեկտրական սենսոր
|
||||
|
Ֆոտոռեզիստական հեղուկի մակարդակի մոնիտորինգ՝ ֆոտոէլեկտրական սենսոր
|
||||
|
Սոսինձի միատեսակ թափոնային հեղուկի արտահոսք՝ 10լ թափոնային հեղուկի բաք
|
||||
|
Մշակողի մատակարարում. 18 լ ճնշման բաք * 4 (Պահվում է մեքենայից դուրս քիմիական պահարանում)
|
||||
|
Դիոնացված ջրամատակարարում. գործարանային ուղղակի մատակարարում
|
||||
|
Հեղուկի մակարդակի մոնիտորինգի մշակում. ֆոտոէլեկտրական սենսոր
|
||||
|
Մշակողի թափոնների արտահոսք. գործարանի թափոնների արտահոսք
|
||||
|
Կպչող սարքի մատակարարում` 10լ ճնշման բաք * 1, 2լ ճնշման բաք * 1
|
||||
|
Կպչող սարքի մակարդակի մոնիտորինգ՝ ֆոտոէլեկտրական սենսոր
|
||||
|
11 |
կառավարման համակարգ |
Վերահսկման մեթոդ՝ PLC
|
||
|
Մարդկային մեքենայի շահագործման ինտերֆեյս՝ 17 դյույմ սենսորային էկրան
|
||||
|
Անխափան սնուցման աղբյուր (UPS). Այո
|
||||
|
Սահմանեք գաղտնագրման թույլտվությունները սարքի օպերատորների, տեխնիկների, ադմինիստրատորների համար
|
||||
|
Ազդանշանի աշտարակի տեսակը՝ կարմիր, դեղին, կանաչ 3 գույն
|
||||
|
12 |
Համակարգի հուսալիության ցուցանիշներ
|
Գործարկման ժամանակը՝ ≥95%
|
||
|
MTBF՝ ≥ 500 ժ
|
||||
|
MTTR՝ ≤ 4 ժամ
|
||||
|
MTBA՝ ≥24ժ
|
||||
|
Կոտրվածության մակարդակը՝ ≤ 1/10000
|
||||
|
13 |
Այլ գործառույթներ
|
Դեղին լույս՝ 4 հավաքածու (դիրքը՝ սոսինձի խառնման և մշակման միավորի վերևում)
|
||
|
THC: Այո, 22.5 ℃± 0.5 ℃, 45% ± 2%
|
կամավոր կերպով ընտրած
|
|||
|
FFU: Դաս 100, 5 հավաքածու (գործընթացի միավոր և ROBOT տարածք)
|
||||
Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.
Հեղինակային իրավունք © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Բոլոր իրավունքները պաշտպանված են
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
