ՏԻՊ |
MDPS-560 II |
||
Հիմնական Սպայտերինգ Սեղան |
պիրուսական վակումնային սեղան, չափսերը՝ Φ560×350մմ |
||
Նմուշային Ընդունման Սեղան |
գլանային և աفقային տիպ, չափսերը՝ Φ250մմ×420մմ |
||
Սարքման Համակարգ |
անկախ բաղադրական մոլեկուլային սարքիչ և մեխանիկական սարքիչների ուղեծրույց հիմնական սպայտերինգ սեղանի և նմուշային ընդունման սեղանի համար: |
||
Վերջնական Վակում |
Հիմնական Սպայտերինգ Սեղան |
≤6.67×10-6Pa(հետո արդյունավետության և դեգազացիայից հետո) |
|
Նմուշային Ընդունման Սեղան |
≤6.67×10-4 Па (հետո արդյունավետության և գազացուցակի արդյունավետության) |
||
Վակուոմսի վերականգման ժամանակ |
Հիմնական Սպայտերինգ Սեղան |
6.6×10-4 Па 40 րոպեից հետո (բացառությամբ կարճ ժամանակ օդում ծածելուց և չափագրված նիտրոգենով լցվելուց հետո) |
|
Նմուշային Ընդունման Սեղան |
6.6×10-3 Па 40 րոպեից հետո (բացառությամբ կարճ ժամանակ օդում ծածելուց և չափագրված նիտրոգենով լցվելուց հետո) |
||
Մագնիտրոնային թարգետային մոդուլ |
5 հաստատուն մագնիտային թարգետներ՝ չափանիշ Φ60 մմ (մեկը կարող է սպատերել ֆերրոմագնիտային նյութեր): բոլոր թարգետները կարող են RF սպատերել և DC սպատերելու համատեղելիություն; թարգետի և նմուշի միջև հեռավորությունը կարելի է կարգավորել 40 մմ-ից 80 մմ-ին: |
||
Ջերմաստիճանային ջրասառուցված պտույտային սահմանափակում |
Նմուշի կառուցում |
Шесть ստացիոնարներ՝ մեկ ստացիոնարում տեղադրված է ջերմաստիճանային ուղեծիր, իսկ մյուսները ջրասառուցված նմուշի ստացիոնարներ են: |
|
Ընդհանուր չափ |
Φ30մմ, վեց նկար. |
||
Ռուստինգ ռեժիմ |
0-360°, փոխադարձաբար շարժվում է: |
||
Ջերմաստիճան |
Սպասարկելի ջերմաստիճանը՝ 600℃±1℃ |
||
Արտադրյալի բացասական հոսք |
-200V |
||
Գազային ցիրկուիտի համակարգ |
2-ի միջոցով มวลային հոսքի կառավարիչ (MFC) |
||
Նմուշային Ընդունման Սեղան |
Նմուշների սենյակ |
Վեց նմուշ միաժամանակ |
|
Աննեյլեր |
Սահմանափիս ջերմացում 800℃±1℃ |
||
Վերականգնող Թարգետ Մոդուլ |
Վերականգնող կաթարում |
||
Մագնիսական Օրինակների Տրանսպորտացիայի Սիստեմ |
Օգտագործվում է օրինակների տրանսպորտացիայի համար միջև կաթարման սենյակը և օրինակների մուտքագրման սենյակը։ |
||
Կոմպյուտերային Կառավարման Սիստեմ |
Օրինակի պտույտ, բաֆերի բացում և փակում, և թարգետի դիրքի կառավարում |
||
Հատված 坪 |
Հիմնական Սետ |
2600×900մմ2 |
|
Էլեկտրական արկղ |
700×700մմ2(երկու հավաքածու) |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved