1. Կիրառելի վայֆեր՝ 12’’ վայֆեր & 8’’ վայֆեր
2. Գնդակի չափսը՝ ф60[մկմ]~ ф760 [մկմ]、ф30 [մկմ] Լաբորատորիական թեստի մակարդակում
3. Վայֆերի Բումպ՝
a). Նվազագույն Բումպի հեռավորություն՝ 100 [մկմ]
b). Նվազագույն Բումպի հիմքի չափս՝ 85 [մկմ]
c). Мաքս. թումբ հաշվի: 2.2KK [նեղացույցներ]
*Տվյալները կախված են սարքի պայմաններից
4. 12” Վաֆերի դեպք:
a). Մին. հաստություն: 200[μm]՝ լաբորատորիայի փորձագրական մակարդակում 100[μm]
b). Մաքս Կորում 酎լություն: 6 [mm]/凹դեպք, 3 [mm]/凸դեպք
5. Գնդակների մուտքագրման կարողություն
a). Flux տպագրման ճշգրտություն
Over ф75[um] Գնդակ: +25[um]
Less than ф75[μml Գնդակ: +1/3 of ball diameter
b). Գնդակների մուտքագրման ճշգրտություն
Վերաբերյալ ф75[մկմ] գնդի::±25[մկմ]
Less than ф75[μml Գնդակ: +1/3 of ball diameter
Սպեցիալ դեպքում, մենք կարող ենք հասնել՝ +13μm
c). Գնդի մուտքագրման NG հարաբերությունը՝ փոքր է 30 [ppm]-ից