1. Կիրառելի վաֆլի՝ 12'' վաֆլի & 8'' վաֆլի
2. Գնդիկի չափսը՝ ф60[um]~ ф760 [um]、ф30 [um] լաբորատոր թեստի մակարդակում
3. Վաֆլի բախվել:
ա). Min. Անջատման բարձրությունը՝ 100 [um]
բ). Min. Հարթակի չափը՝ 85 [um]
գ). Մաքս. Բշտիկների քանակը՝ 2.2 ԿԿ [կապին]
*Տվյալները ենթակա են սարքի պայմաններին
4. 12” վաֆլի պատյան:
ա). Min. Հաստությունը՝ 200 [μm], 100 [μm] լաբորատոր փորձարկման մակարդակով
բ). Առավելագույն շեղման հանդուրժողականություն՝ 6 [մմ]/պատյան, 3 [մմ]/պատյան
5. Գնդակի տեղադրման ունակություն
ա). Flux տպագրության ճշգրտություն
Ավելի քան ф75[um] գնդակ՝ +25[um]
ф75[մմլ-ից պակաս Գնդիկ՝ գնդակի տրամագծի +1/3
բ). Գնդակի տեղադրման ճշգրտություն
Ավելի քան ф75[um] գնդակ::±25[um]
ф75[մմլ-ից պակաս Գնդիկ՝ գնդակի տրամագծի +1/3
Հատուկ դեպքերի համար մենք կարող ենք հասնել՝ +13 մկմ
գ). Գնդիկի տեղադրման NG հարաբերակցությունը` 30-ից պակաս [ppm]