Այս սարքը մեր ษուականությունն է զարգացրել հատուկ լիթոգրաֆիայի մաքնինային օգտագործման 특성ների համար՝ տարբեր համալսարաններում և հետազոտական ինստիտուտներում։ Սա հիմնականում օգտագործվում է փոքր և միջին չափատոմսի ինտեգրացված շղթաների, կիստավոր բաղադրությունների, օպտոէլեկտրոնական սարքերի և մակերեսային ձայնային սարքերի արտադրության և զարգացման համար։ Ընդհանուր տեխնիկական ցուցանշումները պահպանելով, մենք օպտիմիզացիաներ կատարել ենք սարքի որոշ կառուցվածքների և բաղադրիչների վրա, կրճատել ենք որոշ անհրաժեշտ մեխանիկական գործողությունները, և համոզվել ենք, որ սարքի խափանակները նվազագույն մակարդակում են, ինչը նաև ապահովում է սարքի կայուն և վստահելի աշխատանքը:
Տехնիկ 특성
Հիմնական տեխնիկական պարամետրեր
1. Արտացոլումը՝ մի կողմից: 2. Արտացոլման մակերեսը՝ 110×110 մմ։ 3. Արտացոլման անհավասարությունը՝ ≤±3%։ 4. Արտացոլման ինտենսիվությունը՝ 0-30մագ/սմ2 կարգավորելի։ 5. UV ճառագայթի անկյունը՝ ≤3°։ 6. UV ճառագայթի կենտրոնական ալիքի երկարությունը՝ 365նմ։ 7. UV ճառագայթի աղբյուրի կյանքը՝ ≥500 ժամ։ 8. Էլեկտրոնային շերտի օգտագործում։ 9. Արտացոլման լուծումը՝ 1 μm: 10.Միկրոսկոպային սկանավորման տիրույթը՝ X: ±15մմ Y: ±15մմ; 11.Կոորդինատային համաձայնության տիրույթը՝ X, Y կարգավորումը ±4մմ; Q-ուղղության կարգավորումը ±3°; 12.Գրավյուրի ճշգրիտություն՝ 1 μ: օգտագործողի "տարբերակ"ի և "քարտեզ"ի ճշգրիտությունը պետք է համաձայնացվի պետության կանոններին, և միջավայրը, ջերմաստիճանը, խորությունը և ավազները կարող են կառուցվել։ Օգտագործվում է ներմուծված դրական ֆոտոռեզիստ, և սեփական ֆոտոռեզիստի հաստատությունը կարող է կառուցվել։ Ավելին, սկզբնական և վերջնական գործընթացները առաջացուցիչ են։ 13.Բաժանման քանակը՝ 0~50 μm կարգավորելիս։ 14.Երարկության մեթոդ՝ մոտեցված երարկություն, որը կարող է իրականացնել սեղմական կոնտակտ, գեղեցիկ կոնտակտ և միկրոնորոշակից կոնտակտ։ 15.Քառակուսին գտնելու բանաձև՝ օդ
Պակետավորում և առաքելություն
Կոմպանիայի պրոֆիլ
Մենք ունենք 16 տարի փորձ ավարտական սales-ներում: Մենք կարող ենք առաջարկել ձեզ One-stop Սեմիկոնդուկտորների Front-end և Back end Package Line ավարտական սպասարկման մասին պրոֆեսիոնալ լուծում Չինաստանից։
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
