1. Էքսպոզիցիոն տեսակը՝ միակողմանի:
2. Էքսպոզիցիոն տարածք՝ 110×110 մմ:
3. Անհավասար բացահայտման լուսավորություն. ≤±3%:
4. Մերկացում ինտենսիվությունը:0-30mw/cm2 կարգավորելի.
5.Ուլտրամանուշակագույն ճառագայթման անկյուն՝ ≤3°:
6. Ուլտրամանուշակագույն լույսի կենտրոնական ալիքի երկարությունը՝ 365 նմ:
7.Ուլտրամանուշակագույն լույսի աղբյուրի կյանքի տևողությունը՝ ≥500 ժամ:
8. Էլեկտրոնային կափարիչի ընդունում:
9. Էքսպոզիցիոն թույլատրելիություն՝ 1 մկմ;
10.Միկրոսկոպիկ սկանավորման տիրույթ:X:±15mm Y:±15mm;
11.Հավասարեցման տիրույթ:X,Y ճշգրտում±4մմ;Q-ուղղության ճշգրտում±3°;
12. Փորագրության ճշգրտություն. 1 μ Օգտագործողի «տարբերակի» և «չիպի» ճշգրտությունը պետք է համապատասխանի ազգային կանոնակարգերին,
և շրջակա միջավայրը, ջերմաստիճանը, խոնավությունը և փոշին կարող են խստորեն վերահսկվել: Օգտագործվում է ներմուծված դրական ֆոտոռեզիստ, և միասնական ֆոտոռեզիստենտի հաստությունը կարող է բ.խստորեն վերահսկվում է: Բացի այդ, առջևի և հետևի գործընթացները առաջադեմ են.
13. Բաժանման գումարը; 0~50 մկմ կարգավորելի;
14. Էքսպոզիցիոն մեթոդ՝ փակ ազդեցություն, որը կարող է հասնել կոշտ շփման, փափուկ շփման և միկրո ուժի շփման ազդեցության; 15.Քառակուսի գտնելու բանաձև՝ օդ