1. Երկայնքի տեսակը՝ մի կողմից երկայնք
2. Երկայնքի տիրույթը՝ 110X110մմ;
3. Երկայնքի հավասարաչափությունը՝ ≥ 97%-ից;
4. Երկայնքի ինտենսիվությունը՝ 0-30մագ/սմ2 կարգավորելի է;
5. UV ճառագայթի անկյունը՝ ≤ 3 °
6. Անตราվիոլետյան ճառագայթի կենտրոնական ալիքի երկարությունը՝ 365նմ;
7. UV ճառագայթի աղբյուրի կյանքը՝ ≥ 20000 ժամ;(2 տարի գաFizz保证金)
8. Էլեկտրոնային շերտի օգտագործում;
9. Երկայնքի լուծումը՝ 1 μ M
10.Կամերայի դիտարկման տիրույթը՝ ± 15մմ Y՝ ± 15մմ
11. Կոորդինացման տիրույթը՝ X՝ ± 4մմ, Y՝ ± 4մմ, Q՝ ±3°.
12. Կոորդինացման ճշգրիտություն՝ 1մկմ (լավ պայմաններում).
13. Հեռացման տիրույթ՝ 0-50մկմ հաստատելի։
14. Եքսպոզիցիայի մեթոդ՝ կոնտակտային եքսպոզիցիա (կոնտակտային/.soft/micro touch)
15. Բալանսավորման մեթոդ՝ օդային հավասարակշռություն։
16. Միկրոսկոպային համակարգ՝ dual field of view CCD համակարգ, օբյեկտիվ լենզ՝ 1.6X~10X, կոմպյուտերային պատկերի մշակման համակարգ, 19" LCD դիսպլեյ, ընդհանուր մեծացում՝ 91-570x, օբյեկտիվի հեռավորություն՝ 50-120մմ։
17. Մասկի չափսեր՝ 127*127մմ; 102*102մմ
18. Սահմանափակի չափսեր՝ Φ102մմ; Φ76մմ
19. Սահմանափակի հաստություն՝ ≤1մմ
20. Եքսպոզիցիայի ժամանակ՝ 0-999.9 վայրկյան հաստատելի։
21. Энерգիա: 220Վ 50Հց 1.5կվ.
22. օդի աղբյուրը? 0.4Մպա
23. հանգույցի մեծությունը՝ -0.07ՄՊա~-0.09ՄՊա