1. DDevice-ն կարող է վակումի միջոցով արգելել 5"X5" քառակուսի մասկ, չունենալով հատուկ պայմաններ սալի հաստության վերաբերյալ (շարժվում է 1-ից 3մմ միջակայքում):
2. DDevice-ն կարող է կիրառվել ф 100մմ շրջանաձև սալի վրա:
3. Սալի հաստություն ≤ 5մմ;
4. Illuminate-ինգ:
Light source: GCQ350Z ultra-high pressure mercury direct current mercury lamp is used.
Lighting range: ≤ ф 117mm Exposure area: ф 100mm
stay ф Within a range of 100mm, the unevenness of exposure is ≤ ± 3%, and the exposure intensity is>6mw/cm2 (this indicator is measured using a UV light source I-line 365nm).
5. This device adopts an imported time relay to control the pneumatic shutter, ensuring accurate and reliable operation.
6. This machine is a contact exposure machine that can achieve:
7. Hard contact exposure: Use pipeline vacuum to obtain high vacuum contact, vacuum ≤ -0.05MPa
8. Երկար կոնտակտային վերացում: Կոնտակտային ճնշումը կարող է բարձրացնել վակուումը -0.02ՄՊա և -0.05ՄՊա միջակայքում:
9. 徼կրանց կոնտակտային վերացում: Ավելի քիչ է, քան երկար կոնտակտ, վակուում ≥ -0.02ՄՊա:
10. Վերացումի լուսանկարություն: Այս սարքի հարդ կոնտակտային վերացման լուսանկարությունը կարող է հասնել 1 μ-ից ավել (օգտագործողի „սալիկ“ և „պլաստինա“ ճշգրտությունը պետք է համապատասխանի պետական կանոնավորումներին, իսկ միջավայրը, ջերմությունը, տաքությունը և ավազը կարող են խիստ կառավարվել։ Օգտագործվում է ներմուծված դրական ֆոտորեզիստ, իսկ սահմանափակ ֆոտորեզիստի հասարակությունը կարող է խիստ կառավարվել։ Ավանդական են նաև առաջին և հետագա գործընթացները):
11. Համակարգում ենդանի: Նаблюдательная համակարգը բաղկացած է երկու ՍیԴ-ի դիտարկող սարքերից, որոնք մուտքագրված են երկու միապատ միկրոսկոպներին և կապված են դիսպլեյին տեսական կաբելով:
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
