1.Սարքավորումների համար պահանջվող էներգիա՝ հիմնական էլեկտրամատակարարում. 220V, 50HZ, էներգիայի սպառում≤1.5KW;
2.Հագեցած է վակուումային պոմպով 220Վ սնուցմամբ;
3.Չափս և քաշ՝ Չափս՝1200(երկարություն)×720(լայնություն)×1500(բարձր): Քաշը ≤170 կգ;
4. Տեղադրեք մեքենայի մարմինը հատուկ աշխատասեղանի վրա;
5. Էքսպոզիցիոն տեսակը՝ կոնտակտային տեսակ, ափսեի հավասարեցում, երկկողմանի բացահայտում;
6. Էքսպոզիցիոն տարածք:φ100 մմ;
7. Անհավասար ազդեցություն. ≤±3%;
8. ազդեցության ինտենսիվությունը՝ ≥5 մվտ/սմ2;
9. Էքսպոզիցիոն թույլատրելիություն՝ 2 մկմ;
10. Էքսպոզիցիոն ռեժիմ. կրկնակի միակողմանի միաժամանակյա բացահայտում;
11. Հավասարեցման միջակայք. X: ± 5 մմ Y: ± 5 մմ;
12.Փորագրության ճշգրտությունը՝ 2μm;
13. Պտտման միջակայք. Q- ուղղության ռոտացիայի ճշգրտում≤±5°;
14.Միկրոսկոպիկ համակարգ՝ կրկնակի տեսադաշտի CCD համակարգ, օբյեկտիվ ոսպնյակ 1.6X~10X, համակարգչային պատկերի մշակման համակարգ, 19"LCD մոնիտոր;
15. Դիմակի չափսը՝ վակուումային կլանման ընդունակ