PECVD Պլազմայի ուժեղացված քիմիական գոլորշիների նստեցման սարքավորում / Բարձր ջերմաստիճանի PECVD գործընթաց, Չինաստան PECVD Պլազմայի ուժեղացված քիմիական գոլորշի նստեցման սարքավորում / Բարձր ջերմաստիճանի PECVD գործընթաց Արտադրողներ, մատակարարներ, գործարան

Նկարագրություն

PECVD Պլազմային ուժեղացված քիմիական գոլորշիների նստեցման սարքավորում

◆ Գործընթացի ժամանակի, ջերմաստիճանի, գազի հոսքի, փականի գործողության և ռեակցիայի պալատի ճնշման լիովին ավտոմատ կառավարումն իրականացվում է
արդյունաբերական համակարգիչ.
◆ Ներմուծված ճնշման կառավարման համակարգը և փակ հանգույց համակարգը ընդունված են՝ բարձր կայունությամբ:
◆ Ներմուծված կոռոզիակայուն չժանգոտվող պողպատից խողովակների կցամասերը և փականները օգտագործվում են գազի շղթայի օդային խստությունն ապահովելու համար:
◆ Այն ունի կատարյալ ազդանշանային գործառույթ և անվտանգության կողպեքի սարք:
◆ Այն ունի ծայրահեղ բարձր ջերմաստիճանի ազդանշան և ցածր ջերմաստիճանի ազդանշան, MFC ազդանշան, արձագանքման պալատի ճնշման ազդանշան, ՌԴ ազդանշան, ցածր սեղմված օդի ճնշման ազդանշան, ցածր N2 ճնշման ազդանշան և ցածր հովացման ջրի հոսքի ազդանշան:
◆ Գոյություն ունեցող PECVD-ն ունի արդիականացումից հետո SiO2 ֆիլմի աճեցման ֆունկցիա, որը լուծում է մարտկոցի մոդուլի PID խնդիրը: SiNxOy ֆիլմը կարող է աճել (հետ պասիվացման գործընթաց), որը կարող է մեծապես բարելավել մարտկոցի փոխակերպման արդյունավետությունը:

PECVD Պլազմայի ուժեղացված քիմիական գոլորշիների նստեցման սարքավորում / Բարձր ջերմաստիճանի PECVD գործընթացի մատակարար

PECVD Պլազմայի ուժեղացված քիմիական գոլորշիների նստեցման սարքավորում / Բարձր ջերմաստիճանի PECVD գործընթացի մանրամասներ

PECVD Պլազմայի ուժեղացված քիմիական գոլորշիների նստեցման սարքավորում / Բարձր ջերմաստիճանի PECVD պրոցեսի գործարան

Տիպ

◆ Բեռնման քանակ՝ 384 հատ/նավակ (125 * 125); 336 հատ/նավակ (156 * 156)
◆ Մաքրման սեղանի մաքրություն՝ 100 աստիճան (10000 աստիճան բույս)
◆ Ավտոմատացման աստիճան. ջերմաստիճանի և գործընթացի ավտոմատ վերահսկում:
◆ Չիպերի ուղարկման և ընդունման ռեժիմ՝ փափուկ վայրէջքի տեսակ, կայուն և հուսալի բնութագրերով, առանց սողացող, ճշգրիտ դիրքավորում, մեծ կրող հզորություն և երկար սպասարկման ժամկետ:

մասնագիր

Մեկ խողովակի առավելագույն բեռնում	384 հատ/նավ (125125) 336 հատ/նավ (156156)
Գործընթացի ինդեքս	± 3% պլանշետում, ± 3% պլանշետների միջև, ± 3% խմբաքանակների միջև
աշխատանքային ջերմաստիճանը	200 ~ 500 ℃
Ջերմաստիճանի գոտու ճշգրտությունը և երկարությունը (ստատիկ փակ խողովակի փորձարկում)	1200 մմ±1℃
Գազի հոսքի ճշգրտությունը	± 1% FS
Օդային միացման համակարգի օդային խստությունը	1×10-7Pa.m³/S
վերահսկել	Լիովին ներմուծված ավտոմատ ճնշման փակ կարգավորող համակարգ, ռեակցիայի վակուումի ճշգրիտ վերահսկում; 40KHz բարձր հաճախականության հզորություն մատակարարում; Արհեստավոր նավակի փափուկ վայրէջք; Ամբողջական թվային հսկողություն, կատարյալ և անվտանգ գործընթացի վերահսկման պաշտպանություն:
1 խողովակ, 2 խողովակ, 3 խողովակ և 4 խողովակ կամընտիր են; Ավտոմատ բեռնման մանիպուլյատորը ընտրովի է, իսկ սարքավորումների կատարումը և գործընթացի կատարումը կարող է համեմատելի լինել աշխարհի լավագույն նմանատիպ սարքավորումների հետ:

Փաթեթավորում և առաքում

PECVD Պլազմայի ուժեղացված քիմիական գոլորշիների նստեցման սարքավորում / Բարձր ջերմաստիճանի PECVD գործընթացի արտադրություն

Ձեր ապրանքների անվտանգությունն ավելի լավ ապահովելու համար կտրամադրվեն մասնագիտական, էկոլոգիապես մաքուր, հարմարավետ և արդյունավետ փաթեթավորման ծառայություններ:

Կազմակերպության ինֆորմացիա անձնագիրը

Մենք ունենք սարքավորումների վաճառքի 16 տարվա փորձ։ Մենք կարող ենք ձեզ տրամադրել մեկանգամյա կիսահաղորդչային առջևի և հետևի փաթեթային սարքավորումների մասնագիտական լուծում Չինաստանից: