Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Ստացեք գնահատական

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

հjemէջ
Մեր մասին
MH Equipment
Հաղորդում
Երկիրացի Օգտագործողներ
տեսանյութ
Կապվեք մեզ հետ
Տուն> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • PECVD Պլազմայի ավարտական քիմիական գործառույթի սարքերի սարք / Մեծ ջերմության PECVD գործընթաց
  • PECVD Պլազմայի ավարտական քիմիական գործառույթի սարքերի սարք / Մեծ ջերմության PECVD գործընթաց
  • PECVD Պլազմայի ավարտական քիմիական գործառույթի սարքերի սարք / Մեծ ջերմության PECVD գործընթաց
  • PECVD Պլազմայի ավարտական քիմիական գործառույթի սարքերի սարք / Մեծ ջերմության PECVD գործընթաց
  • PECVD Պլազմայի ավարտական քիմիական գործառույթի սարքերի սարք / Մեծ ջերմության PECVD գործընթաց
  • PECVD Պլազմայի ավարտական քիմիական գործառույթի սարքերի սարք / Մեծ ջերմության PECVD գործընթաց

PECVD Պլազմայի ավարտական քիմիական գործառույթի սարքերի սարք / Մեծ ջերմության PECVD գործընթաց

Ստանալ ազատ գնահատական
Ապարատի Նկարագրություն

PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment

◆ Պրոցեսի ժամանակի, ջերմության, գազային հոսքի, դիրքի գործողության և ռեակցիայի սենյակի ճնշումի լրիվ ավտոմատացումը իրականացվում է
գործարարական կոմպյուտերով.
◆ Արտանուշ սեղմության կառավարման համակարգ և փակ ցիկլային համակարգ է օգտագործվել, որը ունի բարձր կայունություն:
◆ Օգտագործվում են արտանուշ կորոզիային պայմանավոր չափով անկումող ակուստիկ խողովակներ և դիրքավորումներ՝ գազային ցիկլի անջատումների ապահովման համար:
◆ Դա ունի կامل ալարմացիայի ֆունկցիա և ան전անության կապույտ սարք:
◆ Դա ունի գերբարձր ջերմության ալարմացիա և տեքստային ջերմության ալարմացիա, MFC ալարմացիա, ռեակցիային սենյակի սեղմության ալարմացիա, RF ալարմացիա, սեղմած օդի սեղմության ալարմացիա, N2 սեղմության ալարմացիա, ու նաև հունարանի հոսանքի ալարմացիա:
◆ Հինց առկա գոյացված PECVD-ն ունի SiO2 մամուլի աճման ֆունկցիան, որը լուծում է բատարեական մոդուլի PID խնդիրը: SiNxOy մամուլը կարող է աճել (հետևանիշների պասիվացիայի գործընթաց), որը կարող է շատ բարձրացնել բատարեական տեղափոխման արդյունավետությունը:
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process supplier
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process details
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process factory

ՏԻՊ

◆ Բեռնականության քանակը՝ 384 հատ/գավան (125 * 125); 336 հատ/գավան (156 * 156):
◆ Պարագայում աղանդի կաթարթությունը՝ 100 մակարդակ (10000 մակարդակի արագացում):
◆ Ավտոմատացման մակարդակը՝ ջերմության և գործընթացի ավտոմատ կառավարում:
◆ Ships and takes chips in soft landing mode: characterized by stability and reliability, no creeping, accurate positioning, high load capacity, and long service life.
Տехնիկ 특성
Մաքսիմալ բեռնում տուբու մեջ
384 հատ/գավան (125*125)
336 հատ/գավան (156*156)
Տեխնոլոգիական ինդեքս
± 3% աղյուրում, ± 3% միջև աղյուրներում, ± 3% միջև ցիկլերում
աշխատանքային ջերմաստիճան
200~500℃
Հավասարություն և ջերմաստիճանի โซնի երկարություն (ստատիկ փակ տուբ թեստ)
1200մմ±1℃
Գազային հոսքի հավասարություն
±1%FS
Աիր շրջանագծի համակարգի աիրվոր փակություն
1×10-7Pa.m³/S
Կառավարում
Կամալիստ ներդրված ավտոմատ ճնշումի փակ ցիկլային կարգավորման համակարգ, ռեակցիայի վակուումի ճշգրիտ կառավարում; 40KHz բարձր հաճախության ուժ
պարտադրություն; Երկայնքի գեղեցիկ նախնական պարտադրություն; Լրիվ թվային կառավարում, կامل և աمنական պրոցեսի կառավարման պահպանում։
1 տուբ, 2 տուբեր, 3 տուբեր և 4 տուբեր են ընտրելիք; Ավտոմատ բեռնումի մանիպուլյատորը նաև ընտրելիք է, իսկ սարքի արդյունավետությունը
և պրոցեսի արդյունավետությունը կարող է համեմատվել աշխարհի գլխավոր նմանատիպ սարքերի հետ։
Պակետավորում և առաքելություն
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process factory
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process manufacture
Դուք ձեր ապրանքների ամանորոշության ավելի բարդ հաստատությունը համար, մենք կարող ենք առաջարկել մասնագիտական, միրուցականորեն համարժեք, հարմար և արդյունավետ պակետավորման ծառայություններ։
Կոմպանիայի պրոֆիլ
Մենք ունենք 16 տարի փորձ ավարտական սales-ներում: Մենք կարող ենք առաջարկել ձեզ One-stop Սեմիկոնդուկտորների Front-end և Back end Package Line ավարտական սպասարկման մասին պրոֆեսիոնալ լուծում Չինաստանից։

Ավելի շատ ապրանքներ

Հարցում

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Սկսածքային POLITICY

Հարցում Email whatsapp Top
×

ԿԱՊԸ ԵՆԴ ՏOUCH