պաշտոն |
MD150-RIE |
MD200-RIE |
MD200C-RIE |
||
Ապրանքի չափը |
≤6 դյույմ |
≤8 դյույմ |
≤8 դյույմ |
||
RF ուժի источник |
0-300W/500W/1000W կարգավորելի, ավտոմատ համապատասխանում |
||||
Մոլեկուլային գազատրոս |
-/620(Լ/վ)/1300(Լ/վ)/Պահանջագիր |
Անտիսեպտիկ 620(Լ/վ)/1300(Լ/վ)/Պահանջագիր |
|||
Սկիզբնական գազատրոս |
Ռոտացիոնալ գազատրոս/չափազանց գազատրոս |
Չափազանց գազատրոս |
|||
Պրոցեսի ճնշում |
Անկառուցված ճնշում/0-1Torr կառուցված ճնշում |
||||
Գազի տեսակ |
Հ/ՉՀ4/Օ2/Ն2/Ար/ՍՖ6/ԿՖ4/ ՉՀՖ3/Կ4Ֆ8/ՆՖ3/Պահանջագիր (嵗 9 ալիքներ, առանց կորոզիային և տոկսիկ գազերի) |
H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr (մինչև 9 կանալ) |
|||
գազային միջակայք |
0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/ստորագրված |
||||
Բեռնացում/Արտահանում |
Այո/Ոչ |
(YES) ԱՅՈՒ actionTypes |
|||
Նմանակի ջերմաստիճանի կառավարում |
10°C~Սենյակային ջերմաստիճան/-30°C~100°C/Ստորագրված |
-30°C~100°C/Ստորագրված |
|||
Հելիումի հետ կուլինգ |
Այո/Ոչ |
(YES) ԱՅՈՒ actionTypes |
|||
Պրոցեսի բարձրության գաղափարական գործողություն |
Այո/Ոչ |
(YES) ԱՅՈՒ actionTypes |
|||
Բարձրության պատահանդերի ջերմաստիճանի կառավարում |
Չորացում/Տանգարանի տեմպ~60/120°C |
Տանգարանի տեմպ-60/120°C |
|||
Կառավարման համակարգ |
Ավտոմատ/սեփական |
||||
Եթելում նյութ |
Սիլիկոն հիմնված: Si/SiO2/SiNx··· IV-IV: SiC Մագնիսական նյութեր/համադրություններ を超え metall: Ni/Cr/Al/Au..... Օրգանիկ նյութ: PR/PMMA/HDMS/Օրգանիկ ֆիլմ...... |
Silicone-ակունքների: Si/SiO2/SiNx...... III-V(նշ.3): InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI (նշ.3): CdTe...... Մագնիսական նյութեր/համադրություններ Մետալական նյութ՝ Ni/Cr/A1/Au...... Օրգանիկ նյութ՝ PR/PMMA/HDMS /օրգանիկ մակերևույթ... |
|||
Այն կիրառվում է բարդ մաterials-ների համար, ինչպիսիք են որոշ մետաղները (օրինակ, Ni / Cr) և կերամիկան, և նյութերի նախագծային գրավումը իրականացվում է ֆիզիկական հարվածմամբ: |
Այն օգտագործվում է օրգանիկ միացությունների համար, ինչպիսիք են photoresist (PR) / PMMA / HDMS / polymer-ը հանելու և |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
