կետ | MD150-RIE | MD200-RIE | MD200C-RIE | ||
Ապրանք չափը | ≤6 դյույմ | ≤8 դյույմ | ≤8 դյույմ | ||
ՌԴ էներգիայի աղբյուր | 0-300W/500W/1000W Կարգավորելի, ավտոմատ համապատասխանեցում | ||||
Մոլեկուլային պոմպ | -/620(Լ/վ)/1300(Լ/վ)/Պատվերով | Հակասեպտիկ620(L/s)/1300(L/s)/Custom | |||
Առաջնային պոմպ | Մեխանիկական պոմպ/չոր պոմպ | Չոր պոմպ | |||
Գործընթացի ճնշում | Չվերահսկվող ճնշում/0-1Torr վերահսկվող ճնշում | ||||
Գազի տեսակը | H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3 / C4F8 / NF3 / Պատվերով (Մինչև 9 ալիք, առանց քայքայիչ և թունավոր գազերի) | H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) | |||
Գազի միջակայք | 0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom | ||||
LoadLock | Այո Ոչ | Այո | |||
Ժամանակի վերահսկման նմուշ | 10°C~Սենյակի ջերմաստիճան/-30°C~100°C/Պատվերով | -30°C~100°C /Պատվերով | |||
Հետևի հելիումի սառեցում | Այո Ոչ | Այո | |||
Գործընթացի խոռոչի երեսպատում | Այո Ոչ | Այո | |||
Խոռոչի պատի ջերմաստիճանի վերահսկում | Ոչ/Սենյակի տարածք~60/120°C | Սենյակի ջերմաստիճանը-60/120°C | |||
Control System | Ավտո / մաքսային | ||||
Փորագրման նյութ | Սիլիկոնային հիմքով: Si/SiO2/SiNx: IV-IV՝ SiC Մագնիսական նյութեր/համաձուլվածքային նյութեր Մետաղական նյութ՝ Ni/Cr/Al/Au: Օրգանական նյութ՝ PR/PMMA/HDMS/Օրգանական ֆիլմ: | Սիլիկոնային հիմքով` Si/SiO2/SiNx: III-V (注3): InP/GaAs/GaN: IV-IV՝ SiC II-VI (注3): CdTe: Մագնիսական նյութեր/համաձուլվածքային նյութեր Մետաղական նյութ՝ Ni/Cr/A1/Au. Օրգանական նյութ՝ PR/PMMA/HDMS /օրգանական ֆիլմ: | |||
Հարմար է միկրոալիքային սարքերի, էներգիայի սարքերի և այլնի համար:
Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE) մեքենան գերժամանակակից տեխնոլոգիա է, որը կարող է անհավատալի ճշգրտությամբ փորագրել և վերլուծել տարբեր տեսակի նյութեր: Այս մեքենան նախատեսված է տարբեր արդյունաբերություններում օգտագործելու համար, որտեղ պարբերաբար պահանջվում է միկրոֆրաֆրիկա կամ փորագրում: Այն պատրաստված է բարձրորակ նյութերից, որոնք այն դարձնում են դիմացկուն, հուսալի և կարող են գերազանց արդյունքներ տալ:
Արդյունավետ է ՌԴ պլազմային գեներատորով հագեցած: RIE համակարգը օգտագործում է ինդուկտիվ միացում՝ սնուցվող բենզինից պլազմա ստանալու համար: Այս տեխնիկան ստեղծում է բարձր խտության պլազմա, որը մեծացնում է արտադրանքի հետ կապված փորագրման արագությունը: RIE մեքենայի փորագրման գործընթացը արդյունավետ է, ճշգրիտ և բարձր վերահսկելի, ինչը թույլ է տալիս հասնել հատուկ խորության: Այս հատկությունը եզակի է, այն հիանալի ընտրություն է հետազոտական կամ արդյունաբերական աշխատանքների համար:
Մեքենան ունի լայն տեսականի, ներառյալ միկրոէլեկտրոնիկա, MEMS արտադրություն և կիսահաղորդչային արտադրություն: Այս մեքենան կարևոր դեր է խաղում կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ սիլիցիումի, գալիումի արսենիդի և գերմանիումի կիսահաղորդչային նյութերի փորագրման և միկրոհաստոցների մշակման գործում: Minder-High-tech RIE սարքը լրացուցիչ ստեղծվել է MEMS արդյունաբերության մեջ՝ փափուկ և նյութեր պատրաստելու համար, որոնք կոշտ են, ինչպես պոլիիմիդը, սիլիցիումի երկօքսիդը և սիլիցիումի նիտրիդը: Բացի այդ, այն հասանելի է ձախողումների վերլուծության համար այն ոլորտներում, որոնք կապված են ծառայությունների և ապրանքների հետ, որոնք էլեկտրոնային են:
Ներառում է տարբեր հատկանիշներ, որոնք հեշտացնում են դրա օգտագործումը: Սա օգտագործողի համար հարմար ծրագրաշար է, որը օպերատորին ապահովում է սարքում օգտագործվող փորագրման պարամետրերի ամբողջական վերահսկում: Մեքենայի կարգավորումները պահվում են նրա հիշողության մեջ, այն կարող է պահել ավելի քան 100 պարամետրերի հավաքածու: Այն ունի հպում, որը թույլ է տալիս օպերատորին սահմանել այնպիսի պարամետրեր, ինչպիսիք են գազի շարժը, հզորության հաստությունը և ճնշումը: Minder-High-tech RIE մեքենան ունի նաև ջերմաստիճանի վերահսկման հատկություն, որն ապահովում է նյութերի փորագրումը ճիշտ ջերմաստիճանում և դադարեցնում դրանց վնասումը:
Կատարյալ ընկերությունների համար, որոնք պահանջում են հուսալի և արդյունավետ մեքենա, կարող են ճշգրիտ և ճշգրիտ արդյունքներ ապահովել: Այս սարքը նախագծվել է բարձրակարգ տեխնոլոգիայով, և դրա մակարդակը շատ է: Դրա բազմակողմանիությունը և օգտագործողի համար հարմար առանձնահատկությունները դարձնում են այն ընտրությունը, որը շատ լավ հետազոտական և արդյունաբերական ծրագրեր է տարբեր ոլորտներում:
Այն նաև ունի խափանումների վերլուծության արդյունավետ համակարգ, որը հնարավորություն է տալիս մեքենային հնարավորինս շուտ հայտնաբերել և շտկել մեխանիկական խնդիրները: Այս համակարգը ապահովում է, որ RIE մեքենան պահպանում է բարձր որակ և հուսալիություն իր կյանքի ողջ ցիկլի ընթացքում: Ցանկացած արդյունաբերության համար, որը պահանջում է ճշգրիտ և արդյունավետ փորագրում կամ միկրոֆաբրիկացիա, Minder-High-tech RIE մեքենան կատարյալ լուծում է:
Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.
Հեղինակային իրավունք © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Բոլոր իրավունքները պաշտպանված են
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
