Ավտոմատացված RTP արագ ջերմային մշակություն դաշտավորների համար SlC LED MEMS , China Ավտոմատացված RTP արագ ջերմային մշակություն դաշտավորների համար SlC LED MEMS Manufacturers, Suppliers, Factory

Ապարատի Նկարագրություն

Արագ ջերմական մշակում

Ապահովելու համար RTP սարքեր բարդ կիստեմային համակարգերի համար, SlC, LED և MEMS

Հատկություն

* Արկղային ինֆրակարմիր լամպի տուբերով հավացում, դուրսգրում օդավոր հավացումով;
* PlD ջերմաստիճանի կառավարում լամպի ուժի համար, որը կարող է ճշգրիտ կառավարել ջերմաստիճանի բարձրացումը, համոզեցնում լինելով լավ վարկածային և ջերմաստիճանի հավասարաչափություն;
* Տվյալների մուտքը կայացված է WAFER-ի մակերևույթի վրա, որպեսզի հանգունելի գումարումի ընթացքում խուսափ կետերի առաջացումը հանգեցվի և համոզեցնենք արտադրանքի լավ ջերմաստիճանի հավասարաչափությունը;
* Կարելի է ընտրել ամբիենտ և վակուումային մշակումի եղանակները՝ մարմնի առաջնային մշակումով և պարագանումով;
* Երկու գումարելի պրոցեսային գազեր են ստանդարտ և կարելի է expend ավելացնել մինչև վեց գումարելի պրոցեսային գազեր;
* Համարյալ միակ կրիստալային սիլիցիումի մոդելի առավելագույն չափսը 12 դюյմ (300x300 մմ);
* Գերազանց ապահովված են երեք անվտանգության ապահովման անվտանգությունները՝ անվտանգ ջերմաստիճանի բացման պահպանում, ջերմաստիճանի կառավարիչի բացման թույլատրությունը և սարքի արտաքին դադարումը՝ սարքի անվտանգությունը համոզեցնելու համար;

Փորձարկման հաշվետվություն

20-րդ աստիճանի կորերի համընկալություն

850 ℃-ի ջերմության կառավարման համար 20 կորեր

20 միջին ջերմության կորերի համընկալություն

1250 ℃ ջերմության կառավարում

RTP ջերմության կառավարում 1000 ℃ պրոցես

960 ℃ պրոցես, ինֆրակարմիր պիրոմետրով կառավարվող

LED պրոցեսի տվյալներ

RTD Վաֆերը ջերմության սենսոր են, որոնք օգտագործում են հատուկ մշակողական տեխնոլոգիաներ դեպի ջերմության սենսորների (RTDs) ներդրում վաֆերի մակերևույթի որոշակի տեղերում, թույլատրելով վաֆերի մակերևույթի ջերմությունը չափել իրական ժամանակում:

Իրական ջերմության չափումներ վաֆերի որոշակի տեղերում և վաֆերի ընդհանուր ջերմության բաշխումը կարող է ստացվել RTD Վաֆերի միջոցով: Դա նաև կարող է օգտագործվել վաֆերի ժառանգման գործընթացի ընթացքում տարածվող ջերմության փոփոխությունների անընդհատ հետազոտման համար:

Տехնիկ 특성

Պակետավորում և առաքելություն

Կոմպանիայի պրոֆիլ

Մենք ունենք 16 տարի փորձ սարքավորման համարակալության վաճառում: Մենք կարող ենք առաջարկել ձեզ կինգրական լուծում Սեմիկոնդուկտորների առաջին և վերջնական փաթեթային սարքավորման համակարգերի համար!